① Der Reinraum ist ein großer Energieverbraucher.Der Energieverbrauch umfasst den Strom-, Wärme- und Kühlbedarf der Produktionsanlagen im Reinraum, den Stromverbrauch, den Wärmeverbrauch und die Kühllast des Reinigungsklimasystems sowie den Stromverbrauch der Kühleinheit und der Abgasbehandlung.Der Stromverbrauch und der Wärmeverbrauch des Geräts, der Stromverbrauch, der Wärmeverbrauch und die Kühllast der Herstellung und des Transports verschiedener hochreiner Substanzen, der Stromverbrauch, der Wärmeverbrauch, der Kühl- und Beleuchtungsstromverbrauch verschiedener öffentlicher Einrichtungen.Der Energieverbrauch eines Reinraums bei gleicher Fläche ist zehnmal so hoch wie der eines Bürogebäudes oder sogar höher.Einige Reinräume in der Elektronikindustrie erfordern große Räume, große Flächen und große Volumina.Mit der Entwicklung von Wissenschaft und Technologie werden häufig groß angelegte Präzisionsproduktionsgeräte eingesetzt, die in mehrere Prozesse für die kontinuierliche Produktion integriert sind, um die großen und hochzuverlässigen Leistungsanforderungen der Produktion elektronischer Produkte zu erfüllen.Zu diesem Zweck muss es in einem großen Gebäudebereich, einem sauberen Produktionsbereich und einer oberen und unteren Technologie angeordnet werden.Das „Mezzanine“ ist ein großer Raum und ein kombiniertes Großraum-Reinraumgebäude.
② Entsprechende Transportleitungen und notwendige Abgasbehandlungsanlagen werden häufig in Reinräumen der Elektronikindustrie errichtet.Diese Abgasbehandlungsanlagen verbrauchen nicht nur Energie, sondern erhöhen auch die Luftzufuhrmenge des Reinraums.Reinräume für elektronische Produkte verbrauchen viel Energie.Die für eine saubere Produktionsumgebung notwendigen Luftreinigungsanlagen, einschließlich Reinigungsklimaanlagen sowie Kühl- und Heizsysteme, verbrauchen viel Energie.Wenn die Anforderungen an die Luftreinheit aufgrund des Zufuhrvolumens sauberer Luft und des großen Frischluftvolumens streng sind, ist der Energieverbrauch hoch und das Gerät ist fast das ganze Jahr über Tag und Nacht ununterbrochen in Betrieb.
③Kontinuität der Nutzung verschiedener energieverbrauchender Einrichtungen.Um die Gleichmäßigkeit der Luftreinheitsgrade in verschiedenen Reinräumen, die Stabilität verschiedener Funktionsparameter in Innenräumen und die Anforderungen von Produktproduktionsprozessen sicherzustellen, arbeiten viele Reinräume normalerweise 24 Stunden am Tag und in der Nacht online.Aufgrund des kontinuierlichen Betriebs des Reinraums müssen Stromversorgung, Kühlung, Heizung usw. entsprechend den Anforderungen des Produktproduktionsprozesses oder den Produktionsplanvereinbarungen im Reinraum geplant werden, und verschiedene Energiequellen können zeitnah bereitgestellt werden.Beim Energieverbrauch verschiedener Arten von Reinräumen verändert sich neben der Energieversorgung von Produktproduktionsanlagen und Kühlwasser, hochreinen Stoffen, Chemikalien und Spezialgasen, die eng mit der Produktvielfalt zusammenhängen, auch die Energieversorgung im Reinraum mit der Produktvielfalt und dem Produktionsprozess.Ein großer Teil des Gesamtenergieverbrauchs entfällt auf den Strom- und Kühlenergieverbrauch (Wärmeenergie) von Kühlmaschinen und Reinigungsklimaanlagen.
④ Entsprechend den Anforderungen des Produktproduktionsprozesses und den Anforderungen an die Umweltkontrolle von Reinräumen besteht im Winter, in der Übergangssaison oder im Sommer ein Bedarf an sogenannter „Wärmeenergie auf niedrigem Niveau“ mit einer Temperatur unter 60℃.Beispielsweise erfordert die Reinigungsklimaanlage die Zufuhr von Warmwasser unterschiedlicher Temperatur, um die Frischluft im Freien im Winter und in der Übergangszeit zu erwärmen, die Wärmezufuhr ist jedoch in den verschiedenen Jahreszeiten unterschiedlich.In Reinräumen wird für die Herstellung elektronischer Produkte meist eine große Menge reines Wasser verwendet.Der stündliche Verbrauch an reinem Wasser bei der Herstellung von integrierten Schaltkreischips und TFT-LCD-Panels beläuft sich auf Hunderte Tonnen.Um die erforderliche Qualität an reinem Wasser zu erhalten, wird üblicherweise die RO-Umkehrosmose-Technologie eingesetzt.RO-Geräte erfordern, dass die Wassertemperatur bei etwa 25 °C gehalten wird, und müssen häufig Warmwasser mit einer bestimmten Temperatur liefern.Untersuchungen einiger Unternehmen zeigen, dass in Reinräumen in den letzten Jahren nach und nach Wärmeenergie auf niedrigem Niveau, beispielsweise die Kondensationswärme von Kältemaschinen, zur Bereitstellung von Warmwasser mit niedriger Temperatur um 40 °C genutzt wurde, wodurch die ursprüngliche Nutzung von Niedertemperatur-Warmwasser ersetzt wurde -Druckdampf oder Hochtemperatur-Heißwasser zum Erhitzen/Vorwärmen und erzielte offensichtliche Energieeinsparungen und wirtschaftliche Vorteile.Daher verfügen Reinräume sowohl über die „Ressourcen“ von Wärmequellen auf niedriger Ebene als auch über den Bedarf an Wärmeenergie auf niedriger Ebene.Dies ist eines der wichtigen Merkmale von Reinräumen, die geringe Wärmeenergie integrieren und nutzen, um den Energieverbrauch zu senken.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 14. November 2023