1. Reinräume verbrauchen viel Energie. Ihr Energieverbrauch umfasst den Strom-, Wärme- und Kältebedarf der Produktionsanlagen im Reinraum, den Stromverbrauch, den Wärmeverbrauch und die Kühlleistung der Reinigungsklimaanlage, den Stromverbrauch der Kühleinheit und der Abluftbehandlung. Hinzu kommen der Stromverbrauch und der Wärmeverbrauch der Geräte, der Stromverbrauch, der Wärmeverbrauch und die Kühlleistung für die Herstellung und den Transport verschiedener hochreiner Substanzen sowie der Stromverbrauch, der Wärmeverbrauch, die Kühlleistung und die Beleuchtung verschiedener öffentlicher Einrichtungen. Der Energieverbrauch eines Reinraums ist bei gleicher Fläche zehnmal so hoch wie der eines Bürogebäudes oder sogar noch höher. Manche Reinräume in der Elektronikindustrie benötigen viel Platz, große Flächen und ein großes Volumen. Mit der Weiterentwicklung von Wissenschaft und Technologie werden häufig große Präzisionsproduktionsanlagen mit mehreren integrierten Prozessen für eine kontinuierliche Produktion eingesetzt, um die hohen Anforderungen an die Produktionsleistung und Zuverlässigkeit elektronischer Produkte zu erfüllen. Zu diesem Zweck müssen sie in einem großen Gebäudebereich, einem sauberen Produktionsbereich und mit hoher und niedriger Technologie untergebracht werden. Das „Mezzanin“ ist ein Großraum- und ein kombiniertes Großreinraumgebäude.
2. In Reinräumen der Elektronikindustrie sind häufig entsprechende Transportleitungen und die notwendigen Abgasbehandlungsanlagen installiert. Diese Abgasbehandlungsanlagen verbrauchen nicht nur Energie, sondern erhöhen auch die Luftzufuhrmenge des Reinraums. Reinräume für elektronische Produkte verbrauchen viel Energie. Die für eine saubere Produktionsumgebung notwendigen Luftreinigungsanlagen, darunter Klimaanlagen sowie Kühl- und Heizsysteme, verbrauchen ebenfalls viel Energie. Bei strengen Anforderungen an die Luftreinheit ist der Energieverbrauch aufgrund der Zufuhrmenge an sauberer Luft und der großen Frischluftmenge hoch und die Anlagen sind fast das ganze Jahr über rund um die Uhr in Betrieb.
3. Kontinuierliche Nutzung verschiedener energieintensiver Anlagen. Um die gleichbleibende Luftreinheit in verschiedenen Reinräumen, die Stabilität verschiedener Funktionsparameter im Raum und die Anforderungen der Produktproduktionsprozesse zu gewährleisten, sind viele Reinräume in der Regel rund um die Uhr online. Aufgrund des Dauerbetriebs des Reinraums müssen Stromversorgung, Kühlung, Heizung usw. entsprechend den Anforderungen des Produktproduktionsprozesses oder der Produktionsplanung im Reinraum geplant werden, damit verschiedene Energiequellen rechtzeitig bereitgestellt werden können. Der Energieverbrauch verschiedener Reinraumtypen variiert je nach Produktvielfalt und Produktionsprozess, zusätzlich zur Energieversorgung von Produktproduktionsanlagen und Kühlwasser, hochreinen Substanzen, Chemikalien und Spezialgasen. Ein großer Teil des Gesamtenergieverbrauchs entfällt auf den Strom- und Kühlenergieverbrauch (Wärmeverbrauch) von Kältemaschinen und Reinigungsklimaanlagen.
④ Je nach den Anforderungen des Produktproduktionsprozesses und der Umweltkontrollanforderungen von Reinräumen besteht im Winter, in der Übergangszeit oder im Sommer ein Bedarf an sogenannter „niedriger thermischer Energie“ mit einer Temperatur unter 60 °C. Beispielsweise benötigt die Reinigungsklimaanlage im Winter und in der Übergangszeit die Zufuhr von Warmwasser unterschiedlicher Temperaturen, um die Frischluft von draußen zu erwärmen, die Wärmezufuhr ist jedoch in den verschiedenen Jahreszeiten unterschiedlich. Große Mengen an Reinwasser werden in Reinräumen hauptsächlich zur Herstellung elektronischer Produkte verwendet. Der stündliche Verbrauch an Reinwasser bei der Herstellung von integrierten Schaltkreischips und TFT-LCD-Panels beläuft sich auf Hunderte Tonnen. Um die erforderliche Qualität an Reinwasser zu erreichen, wird üblicherweise die Umkehrosmosetechnologie RO verwendet. RO-Geräte erfordern eine konstante Wassertemperatur von etwa 25 °C und müssen oft Warmwasser einer bestimmten Temperatur liefern. Untersuchungen bei einigen Unternehmen zeigen, dass in den letzten Jahren in Reinräumen zunehmend Niedertemperatur-Wärmeenergie, wie beispielsweise die Kondensationswärme von Kältemaschinen, zur Bereitstellung von Niedertemperatur-Warmwasser (ca. 40 °C) genutzt wurde. Damit wurde die ursprüngliche Nutzung von Niederdruckdampf oder Hochtemperatur-Warmwasser zum Heizen/Vorwärmen ersetzt, was deutliche Energieeinsparungen und wirtschaftliche Vorteile mit sich bringt. Reinräume verfügen daher sowohl über die „Ressourcen“ von Niedertemperatur-Wärmequellen als auch über den Bedarf an Niedertemperatur-Wärmeenergie. Dies ist eines der wichtigsten Merkmale von Reinräumen, die Niedertemperatur-Wärmeenergie integrieren und nutzen, um den Energieverbrauch zu senken.
Veröffentlichungszeit: 14. November 2023