Ein Reinraum ist ein spezielles geschlossenes Gebäude, das zur Kontrolle von Partikeln in der Luft im Weltraum konstruiert wurde.Im Allgemeinen werden in einem Reinraum auch Umweltfaktoren wie Temperatur und Luftfeuchtigkeit, Bewegungsmuster des Luftstroms sowie Vibrationen und Lärm kontrolliert.Woraus besteht ein Reinraum?Wir helfen Ihnen, die fünf Teile zu klären:
1. Fach
Der Reinraumbereich ist in drei Teile unterteilt: Umkleideraum, Reinraum der Klasse 1000 und Reinraum der Klasse 100.Der Umkleideraum und der Reinraum der Klasse 1000 sind mit Luftduschen ausgestattet.Reinraum und Außenbereich sind mit Luftdusche ausgestattet.Die Passbox wird für Gegenstände verwendet, die in den Reinraum gelangen und ihn verlassen.Wenn Menschen einen Reinraum betreten, müssen sie zunächst eine Luftdusche passieren, um den vom menschlichen Körper getragenen Staub auszublasen und den vom Personal in den Reinraum gebrachten Staub zu reduzieren.Der Durchlaufkasten bläst Staub von den Gegenständen, um den Effekt der Staubentfernung zu erzielen.
2. Flussdiagramm des Luftsystems
Das System verwendet eine neue Klimaanlage + FFU-System:
(1).Aufbau einer Frischklimaanlage
(2).FFU-Lüfterfiltereinheit
Der Filter im Reinraum der Klasse 1000 verwendet HEPA mit einer Filtrationseffizienz von 99,997 % und der Filter im Reinraum der Klasse 100 verwendet ULPA mit einer Filtrationseffizienz von 99,9995 %.
3. Flussdiagramm des Wassersystems
Das Wassersystem ist in Primärseite und Sekundärseite unterteilt.
Die Wassertemperatur auf der Primärseite beträgt 7–12 °C und wird der Klimaanlage und dem Gebläsekonvektor zugeführt. Die Wassertemperatur auf der Sekundärseite beträgt 12–17 °C und wird dem Trockenregistersystem zugeführt.Das Wasser auf der Primärseite und der Sekundärseite sind zwei verschiedene Kreisläufe, die durch einen Plattenwärmetauscher verbunden sind.
Prinzip des Plattenwärmetauschers
Trockenschlange: Eine nicht kondensierende Schlange.Da die Temperatur in der Reinigungswerkstatt 22℃ beträgt und die Taupunkttemperatur etwa 12℃ beträgt, kann 7℃-Wasser nicht direkt in den Reinraum gelangen.Daher liegt die Wassertemperatur am Eintritt in die Trockenschlange zwischen 12 und 14 °C.
4. Temperatur des Steuersystems (DDC): Steuerung des Trockenregistersystems
Luftfeuchtigkeit: Die Klimaanlage reguliert die Wassereinlassmenge der Spule der Klimaanlage, indem sie die Öffnung des Dreiwegeventils über das erfasste Signal steuert.
Überdruck: Die Einstellung der Klimaanlage passt entsprechend dem Signal der statischen Druckmessung automatisch die Frequenz des Wechselrichters des Klimaanlagenmotors an und passt so die Menge an Frischluft an, die in den Reinraum gelangt.
5. Andere Systeme
Das Reinraumsystem umfasst nicht nur die Klimaanlage, sondern auch Vakuum, Luftdruck, Stickstoff, Reinwasser, Abwasser, Kohlendioxidsystem, Prozessabgassystem und Prüfnormen:
(1).Prüfung der Luftströmungsgeschwindigkeit und -gleichmäßigkeit.Diese Prüfung ist die Voraussetzung für andere Prüfwirkungen des Reinraums.Der Zweck dieser Tests besteht darin, den durchschnittlichen Luftstrom und die Gleichmäßigkeit des Arbeitsbereichs mit unidirektionaler Strömung im Reinraum zu ermitteln.
(2).Luftmengenerfassung der Anlage oder des Raumes.
(3).Erkennung der Sauberkeit in Innenräumen.Bei der Sauberkeitserkennung geht es darum, den Grad der Luftreinheit zu bestimmen, der in einem Reinraum erreicht werden kann, und ein Partikelzähler kann zu seiner Erkennung verwendet werden.
(4).Erkennung der Selbstreinigungszeit.Durch die Bestimmung der Selbstreinigungszeit kann ermittelt werden, inwieweit bei einer Kontamination im Reinraum die ursprüngliche Sauberkeit des Reinraums wiederhergestellt werden kann.
(5).Erkennung von Luftströmungsmustern.
(6).Geräuscherkennung.
(7).Erkennung der Beleuchtung.Der Zweck der Beleuchtungsprüfung besteht darin, die Beleuchtungsstärke und die Gleichmäßigkeit der Beleuchtung im Reinraum zu bestimmen.
(8).Vibrationserkennung.Der Zweck der Vibrationserkennung besteht darin, die Vibrationsamplitude jedes Displays im Reinraum zu bestimmen.
(9).Erfassung von Temperatur und Luftfeuchtigkeit.Der Zweck der Temperatur- und Luftfeuchtigkeitserkennung besteht darin, Temperatur und Luftfeuchtigkeit innerhalb bestimmter Grenzen anpassen zu können.Zu seinen Inhalten gehören die Erfassung der Zulufttemperatur eines Reinraums, die Erfassung der Lufttemperatur an repräsentativen Messpunkten, die Erfassung der Lufttemperatur im Mittelpunkt des Reinraums, die Erfassung der Lufttemperatur an empfindlichen Bauteilen, die Erfassung der relativen Temperatur der Innenluft und die Erfassung die Rücklufttemperatur.
(10).Erfassung der Gesamtluftmenge und der Frischluftmenge.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 24. Januar 2024