Ein Reinraum ist ein spezieller, geschlossener Raum, der zur Kontrolle von Partikeln in der Raumluft dient. Im Allgemeinen werden in einem Reinraum auch Umweltfaktoren wie Temperatur und Luftfeuchtigkeit, Luftströmungsmuster sowie Vibrationen und Lärm kontrolliert. Woraus besteht ein Reinraum also? Wir helfen Ihnen, die fünf Bestandteile zu verstehen:
1. Fach
Der Reinraum ist in drei Bereiche unterteilt: Umkleideraum, Reinraum der Klasse 1000 und Reinraum der Klasse 100. Umkleideraum und Reinraum der Klasse 1000 sind mit Luftduschen ausgestattet. Reinraum und Außenbereich verfügen über Luftduschen. Die Materialschleuse dient dem Ein- und Austritt von Gegenständen in den Reinraum. Beim Betreten des Reinraums müssen Personen zunächst die Luftdusche passieren, um den vom Körper mitgeführten Staub zu entfernen und die Staubmenge, die vom Personal in den Reinraum eingebracht wird, zu reduzieren. Die Materialschleuse entfernt den Staub von den Gegenständen und sorgt so für die Staubentfernung.
2. Luftstromdiagramm
Das System verwendet eine neue Klimaanlage + FFU-Anlage:
(1). Frischluftkastenstruktur
(2) FFU-Lüfterfiltereinheit
Der Filter im Reinraum der Klasse 1000 verwendet einen HEPA-Filter mit einer Filtrationseffizienz von 99,997 %, und der Filter im Reinraum der Klasse 100 verwendet einen ULPA-Filter mit einer Filtrationseffizienz von 99,9995 %.
3. Flussdiagramm des Wassersystems
Das Wassersystem ist in einen Primärbereich und einen Sekundärbereich unterteilt.
Die Wassertemperatur auf der Primärseite beträgt 7–12 °C und versorgt die Klimaanlage und den Gebläsekonvektor. Die Wassertemperatur auf der Sekundärseite beträgt 12–17 °C und versorgt das Trockenregister. Primär- und Sekundärseite bilden zwei getrennte Kreisläufe, die durch einen Plattenwärmetauscher verbunden sind.
Prinzip des Plattenwärmetauschers
Trockenregister: Ein nicht kondensierendes Register. Da die Temperatur im Reinraum 22 °C und der Taupunkt bei etwa 12 °C liegt, kann 7 °C warmes Wasser nicht direkt in den Reinraum gelangen. Daher liegt die Wassertemperatur beim Eintritt in das Trockenregister zwischen 12 und 14 °C.
4. Temperaturregelungssystem (DDC): Trockenspulenregelung
Luftfeuchtigkeit: Die Klimaanlage reguliert die Wasserzufuhr zur Spule der Klimaanlage, indem sie die Öffnung des Dreiwegeventils über das erfasste Signal steuert.
Positiver Druck: Die Klimaanlage passt die Frequenz des Wechselrichters des Klimaanlagenmotors anhand des Signals der statischen Druckmessung automatisch an und reguliert so die Menge an Frischluft, die in den Reinraum gelangt.
5. Andere Systeme
Zum Reinraumsystem gehören neben der Klimaanlage auch Vakuum-, Luftdruck-, Stickstoff-, Reinstwasser-, Abwasser-, Kohlendioxid-, Prozessabluft- und Prüfstandards:
(1) Prüfung der Luftströmungsgeschwindigkeit und -gleichmäßigkeit. Diese Prüfung ist Voraussetzung für weitere Prüfungen der Reinraumwirkung. Ziel dieser Prüfung ist die Ermittlung der durchschnittlichen Luftströmung und der Gleichmäßigkeit der Luftströmung im Arbeitsbereich des Reinraums mit unidirektionaler Strömung.
(2). Erfassung des Luftvolumens des Systems oder des Raumes.
(3) Erkennung der Innenraumreinheit. Die Erkennung der Reinheit dient der Bestimmung des im Reinraum erreichbaren Reinheitsgrades der Luft; hierfür kann ein Partikelzähler verwendet werden.
(4) Ermittlung der Selbstreinigungszeit. Durch die Bestimmung der Selbstreinigungszeit kann die Fähigkeit des Reinraums, seine ursprüngliche Reinheit wiederherzustellen, wenn es im Reinraum zu einer Kontamination kommt, festgestellt werden.
(5). Erkennung von Luftströmungsmustern.
(6). Geräuscherkennung.
(7) Beleuchtungsprüfung. Zweck der Beleuchtungsprüfung ist die Bestimmung des Beleuchtungsniveaus und der Beleuchtungsgleichmäßigkeit des Reinraums.
(8) Vibrationserkennung. Zweck der Vibrationserkennung ist die Bestimmung der Vibrationsamplitude jedes Displays im Reinraum.
(9) Temperatur- und Feuchtigkeitsmessung. Die Temperatur- und Feuchtigkeitsmessung dient der präzisen Steuerung von Temperatur und Luftfeuchtigkeit innerhalb bestimmter Grenzen. Sie umfasst die Messung der Zulufttemperatur im Reinraum, der Lufttemperatur an repräsentativen Messpunkten, der Lufttemperatur im Zentrum des Reinraums, der Lufttemperatur an empfindlichen Bauteilen, der relativen Raumtemperatur sowie der Ablufttemperatur.
(10). Erfassung des Gesamtluftvolumens und des Frischluftvolumens.
Veröffentlichungsdatum: 24. Januar 2024