Ein Reinraum ist ein spezielles, geschlossenes Gebäude zur Kontrolle von Partikeln in der Luft. Im Allgemeinen kontrolliert ein Reinraum auch Umweltfaktoren wie Temperatur und Luftfeuchtigkeit, Luftströmungsmuster sowie Vibrationen und Lärm. Woraus besteht ein Reinraum? Wir helfen Ihnen, die fünf Teile zu verstehen:
1. Fach
Der Reinraum ist in drei Bereiche unterteilt: Umkleideraum, Reinraum der Klasse 1000 und Reinraum der Klasse 100. Umkleideraum und Reinraum der Klasse 1000 sind mit Luftduschen ausgestattet. Reinraum und Außenbereich sind ebenfalls mit Luftduschen ausgestattet. Eine Schleuse dient zum Ein- und Ausladen von Gegenständen in den Reinraum. Wenn Personen den Reinraum betreten, müssen sie zunächst durch eine Luftdusche gehen, um den vom Körper mitgeführten Staub auszublasen und die Menge an Staub zu reduzieren, die das Personal in den Reinraum trägt. Die Schleuse bläst Staub von den Gegenständen, um den Staub zu entfernen.
2. Flussdiagramm des Luftsystems
Das System verwendet eine neue Klimaanlage + FFU-System:
(1). Frischluft-Klimaanlagenkastenstruktur
(2).FFU-Lüfterfiltereinheit
Der Filter im Reinraum der Klasse 1000 verwendet HEPA mit einer Filtereffizienz von 99,997 %, und der Filter im Reinraum der Klasse 100 verwendet ULPA mit einer Filtereffizienz von 99,9995 %.
3. Flussdiagramm des Wassersystems
Das Wassersystem ist in eine Primärseite und eine Sekundärseite unterteilt.
Die Wassertemperatur auf der Primärseite beträgt 7–12 °C und wird an die Klimaanlage und den Gebläsekonvektor geliefert. Die Wassertemperatur auf der Sekundärseite beträgt 12–17 °C und wird an das Trockenspulensystem geliefert. Das Wasser auf der Primär- und Sekundärseite sind zwei verschiedene Kreisläufe, die durch einen Plattenwärmetauscher verbunden sind.
Plattenwärmetauscher-Prinzip
Trockenspule: Eine nicht kondensierende Spule. Da die Temperatur in der Reinigungswerkstatt 22 °C beträgt und die Taupunkttemperatur bei etwa 12 °C liegt, kann 7 °C heißes Wasser nicht direkt in den Reinraum gelangen. Daher liegt die Wassertemperatur beim Eintritt in die Trockenspule zwischen 12 und 14 °C.
4. Temperatur des Steuersystems (DDC): Steuerung des Trockenspulensystems
Luftfeuchtigkeit: Die Klimaanlage reguliert das Wassereinlassvolumen der Spule der Klimaanlage, indem sie die Öffnung des Dreiwegeventils über das erfasste Signal steuert.
Überdruck: Die Klimaanlageneinstellung passt entsprechend dem Signal der statischen Druckmessung automatisch die Frequenz des Wechselrichtermotors der Klimaanlage an und reguliert dadurch die Menge der in den Reinraum eintretenden Frischluft.
5. Andere Systeme
Das Reinraumsystem umfasst nicht nur die Klimaanlage, sondern auch Vakuum, Luftdruck, Stickstoff, Reinwasser, Abwasser, Kohlendioxidsystem, Prozessabgassystem und Prüfstandards:
(1) Prüfung der Luftströmungsgeschwindigkeit und -gleichmäßigkeit. Diese Prüfung ist die Voraussetzung für weitere Reinraumprüfungen. Ziel dieser Prüfung ist es, den durchschnittlichen Luftstrom und die Gleichmäßigkeit im Arbeitsbereich mit unidirektionaler Strömung im Reinraum zu ermitteln.
(2). Luftvolumenerfassung des Systems oder Raumes.
(3) Feststellung der Sauberkeit in Innenräumen. Die Feststellung der Sauberkeit dient der Bestimmung des erreichbaren Luftreinheitsgrades in Reinräumen. Zur Feststellung kann ein Partikelzähler verwendet werden.
(4) Ermittlung der Selbstreinigungszeit. Durch die Ermittlung der Selbstreinigungszeit lässt sich die Fähigkeit ermitteln, die ursprüngliche Sauberkeit des Reinraums wiederherzustellen, wenn im Reinraum eine Kontamination auftritt.
(5) Erkennung des Luftströmungsmusters.
(6). Geräuscherkennung.
(7).Erkennung der Beleuchtung. Der Zweck der Beleuchtungsprüfung besteht darin, das Beleuchtungsniveau und die Gleichmäßigkeit der Beleuchtung im Reinraum zu bestimmen.
(8).Vibrationserkennung. Der Zweck der Vibrationserkennung besteht darin, die Vibrationsamplitude jedes Displays im Reinraum zu bestimmen.
(9) Erfassung von Temperatur und Luftfeuchtigkeit. Der Zweck der Temperatur- und Luftfeuchtigkeitserfassung besteht darin, Temperatur und Luftfeuchtigkeit innerhalb bestimmter Grenzen regulieren zu können. Dazu gehören die Erfassung der Zulufttemperatur des Reinraums, die Erfassung der Lufttemperatur an repräsentativen Messpunkten, die Erfassung der Lufttemperatur im Mittelpunkt des Reinraums, die Erfassung der Lufttemperatur an empfindlichen Komponenten, die Erfassung der relativen Temperatur der Raumluft und die Erfassung der Rücklufttemperatur.
(10). Erfassung der Gesamtluftmenge und der Frischluftmenge.
Veröffentlichungszeit: 24. Januar 2024