Zusätzlich zur strengen Kontrolle von Partikeln stellen elektronische Reinräume, die durch Chip-Produktionswerkstätten, staubfreie Werkstätten für integrierte Schaltkreise und Werkstätten für die Herstellung von Datenträgern repräsentiert werden, auch strengere Anforderungen an die Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle, Beleuchtung und Mikroschocks.Beseitigen Sie strikt die Auswirkungen statischer Elektrizität auf Produktionsprodukte, damit die Umwelt die Anforderungen des Produktionsprozesses elektronischer Produkte in einer sauberen Umgebung erfüllen kann.
Die Temperatur und Luftfeuchtigkeit des elektronischen Reinraums sollten entsprechend den Anforderungen des Produktionsprozesses bestimmt werden.Wenn keine besonderen Anforderungen an den Produktionsprozess bestehen, kann die Temperatur 20–26 °C und die relative Luftfeuchtigkeit 30–70 % betragen.Die Temperatur des Personal-Reinraums und des Wohnzimmers kann 16–28 °C betragen.Gemäß der chinesischen nationalen Norm GB-50073, die mit internationalen ISO-Standards übereinstimmt, liegt der Reinheitsgrad dieses Reinraumtyps bei 1-9.Unter diesen Klassen 1–5 ist das Luftströmungsmuster eine unidirektionale Strömung oder eine gemischte Strömung;Das Luftstrommuster der Klasse 6 ist ein nicht unidirektionaler Fluss und der Luftwechsel erfolgt 50–60 Mal pro Stunde.Der Luftstromtyp der Klasse 7 ist ein nicht unidirektionaler Fluss und der Luftwechsel erfolgt 15–25 Mal pro Stunde.Der Luftstromtyp der Klasse 8–9 ist ein nicht unidirektionaler Luftstrom, der Luftwechsel beträgt 10–15 Mal pro Stunde.
Gemäß den aktuellen Spezifikationen sollte der Geräuschpegel in einem elektronischen Reinraum der Klasse 10.000 nicht größer als 65 dB(A) sein.
1. Der Gesamtanteil des Reinraums mit vertikaler Strömung im elektronischen Reinraum sollte nicht weniger als 60 % betragen, und der Reinraum mit horizontaler unidirektionaler Strömung sollte nicht weniger als 40 % betragen, da es sich sonst um eine teilweise unidirektionale Strömung handelt.
2. Der statische Druckunterschied zwischen elektronischen Reinräumen und dem Außenbereich sollte nicht weniger als 10 Pa betragen, und der statische Druckunterschied zwischen sauberen Bereichen und nicht sauberen Bereichen mit unterschiedlicher Luftreinheit sollte nicht weniger als 5 Pa betragen.
3. Die Frischluftmenge in einem elektronischen Reinraum der Klasse 10000 sollte den Wert der folgenden zwei Werte annehmen.
4. Kompensieren Sie die Summe aus der Abluftmenge im Innenraum und der Frischluftmenge, die zur Aufrechterhaltung des Überdruckwerts im Innenraum erforderlich ist.
5. Stellen Sie sicher, dass die Frischluftmenge, die dem Reinraum pro Person und Stunde zugeführt wird, nicht weniger als 40 Quadratmeter beträgt.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 08.04.2024