Neben der strengen Partikelkontrolle gelten in elektronischen Reinräumen, die sich aus Chip-Produktionswerkstätten, staubfreien Werkstätten für integrierte Schaltkreise und Werkstätten zur Festplattenherstellung zusammensetzen, auch strengere Anforderungen hinsichtlich Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle, Beleuchtung und Mikroschockkontrolle. Die Auswirkungen statischer Elektrizität auf Produktionsprodukte werden strikt vermieden, sodass die Umgebung den Anforderungen des Produktionsprozesses für elektronische Produkte in einer sauberen Umgebung gerecht wird.
Temperatur und Luftfeuchtigkeit im Elektronik-Reinraum richten sich nach den Anforderungen des Produktionsprozesses. Sofern keine besonderen Anforderungen an den Produktionsprozess gestellt werden, kann die Temperatur zwischen 20 und 26 °C und die relative Luftfeuchtigkeit zwischen 30 und 70 % liegen. Die Temperatur im Personal-Reinraum und im Aufenthaltsraum kann zwischen 16 und 28 °C liegen. Gemäß der chinesischen Norm GB-50073, die den internationalen ISO-Normen entspricht, liegt die Reinheitsklasse dieses Reinraumtyps bei 1–9. Bei den Klassen 1–5 handelt es sich um einen unidirektionalen oder gemischten Luftstrom; bei Klasse 6 um einen nicht-unidirektionalen Luftstrom mit einem Luftwechsel von 50–60 Mal pro Stunde; bei Klasse 7 um einen nicht-unidirektionalen Luftstrom mit einem Luftwechsel von 15–25 Mal pro Stunde; bei Klasse 8–9 um einen nicht-unidirektionalen Luftstrom mit einem Luftwechsel von 10–15 Mal pro Stunde.
Gemäß den aktuellen Spezifikationen sollte der Geräuschpegel in einem elektronischen Reinraum der Klasse 10.000 nicht höher als 65 dB(A) sein.
1. Das Gesamtverhältnis des Reinraums mit vertikalem Durchfluss im elektronischen Reinraum sollte nicht weniger als 60 % betragen, und das des Reinraums mit horizontalem unidirektionalem Durchfluss sollte nicht weniger als 40 % betragen, da es sich sonst um einen teilweisen unidirektionalen Durchfluss handelt.
2. Der statische Druckunterschied zwischen dem elektronischen Reinraum und der Außenwelt sollte nicht weniger als 10 Pa betragen, und der statische Druckunterschied zwischen sauberen und nicht sauberen Bereichen mit unterschiedlicher Luftreinheit sollte nicht weniger als 5 Pa betragen.
3. Die Frischluftmenge in einem elektronischen Reinraum der Klasse 10.000 sollte den Wert der folgenden beiden Punkte annehmen.
4. Kompensieren Sie die Summe aus dem Abluftvolumen im Innenbereich und dem Frischluftvolumen, das zur Aufrechterhaltung des positiven Druckwerts im Innenbereich erforderlich ist.
5. Stellen Sie sicher, dass die Menge an Frischluft, die dem Reinraum pro Person und Stunde zugeführt wird, nicht weniger als 40 Quadratmeter beträgt.
Beitragszeit: 08.04.2024