Neben der strikten Kontrolle von Partikeln gelten in Reinräumen für die Elektronikfertigung, wie sie beispielsweise in Chip-Produktionsstätten, staubfreien Werkstätten für integrierte Schaltungen und Festplattenfertigungsstätten zu finden sind, auch strengere Anforderungen an Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle, Beleuchtung und Schutz vor Mikroerschütterungen. Der Einfluss statischer Elektrizität auf die Produkte wird strikt ausgeschlossen, sodass die Umgebung die Anforderungen des Produktionsprozesses für elektronische Produkte in einer reinen Umgebung erfüllt.
Temperatur und Luftfeuchtigkeit im Reinraum für Elektronik sind an die Anforderungen des Produktionsprozesses anzupassen. Sofern keine spezifischen Anforderungen bestehen, kann die Temperatur zwischen 20 und 26 °C und die relative Luftfeuchtigkeit zwischen 30 % und 70 % liegen. Die Temperatur im Reinraum für Personal und im Aufenthaltsraum kann zwischen 16 und 28 °C betragen. Gemäß der chinesischen Norm GB-50073, die mit internationalen ISO-Normen übereinstimmt, liegt die Reinheitsklasse für diesen Reinraumtyp zwischen 1 und 9. In den Klassen 1 bis 5 herrscht unidirektionale oder gemischte Luftströmung; in Klasse 6 ist die Luftströmung nicht unidirektional, und der Luftwechsel beträgt 50–60 Mal pro Stunde; in Klasse 7 ist die Luftströmung nicht unidirektional, und der Luftwechsel beträgt 15–25 Mal pro Stunde; in den Klassen 8 und 9 ist die Luftströmung nicht unidirektional, und der Luftwechsel beträgt 10–15 Mal pro Stunde.
Gemäß den aktuellen Spezifikationen darf der Geräuschpegel in einem Elektronikreinraum der Klasse 10.000 nicht mehr als 65 dB(A) betragen.
1. Der Anteil des vertikalen Reinraumstroms in einem Elektronik-Reinraum sollte nicht weniger als 60 % betragen, und der Anteil des horizontalen unidirektionalen Reinraumstroms sollte nicht weniger als 40 % betragen, andernfalls handelt es sich um einen teilweisen unidirektionalen Reinraumstrom.
2. Der statische Druckunterschied zwischen dem Reinraum für Elektronik und der Außenluft sollte nicht weniger als 10 Pa betragen, und der statische Druckunterschied zwischen Reinräumen und Nicht-Reinräumen mit unterschiedlicher Luftreinheit sollte nicht weniger als 5 Pa betragen.
3. Die Frischluftmenge in einem Elektronik-Reinraum der Klasse 10000 sollte sich nach den folgenden beiden Parametern richten.
4. Die Summe aus dem Abluftvolumen im Innenraum und dem Frischluftvolumen, das zur Aufrechterhaltung des positiven Innenraumdrucks erforderlich ist, muss ausgeglichen werden.
5. Es ist sicherzustellen, dass die dem Reinraum pro Person und Stunde zugeführte Frischluftmenge mindestens 40 Quadratmeter beträgt.
Veröffentlichungsdatum: 08.04.2024