Normalerweise umfasst der Umfang der Reinraumprüfung: Bewertung der Umweltqualität von Reinräumen, technische Abnahmeprüfungen, einschließlich Lebensmittel, Gesundheitsprodukte, Kosmetika, Mineralwasser, Milchproduktionswerkstatt, Produktionswerkstatt für elektronische Produkte, GMP-Werkstatt, Krankenhaus-Operationssaal, Tierlabor, Biosicherheitslabore, Biosicherheitswerkstätten, Reinraumbänke, staubfreie Werkstätten, sterile Werkstätten usw.
Inhalt der Reinraumprüfung: Luftgeschwindigkeit und Luftvolumen, Anzahl der Luftwechsel, Temperatur und Luftfeuchtigkeit, Druckunterschied, schwebende Staubpartikel, schwebende Bakterien, abgesetzte Bakterien, Lärm, Beleuchtung usw. Einzelheiten entnehmen Sie bitte den entsprechenden Normen für Reinraumprüfungen.
Die Erkennung von Reinräumen sollte ihren Belegungsstatus eindeutig identifizieren. Unterschiedliche Zustände führen zu unterschiedlichen Testergebnissen. Gemäß dem „Clean Room Design Code“ (GB 50073-2001) wird die Reinraumprüfung in drei Zustände unterteilt: Leerzustand, statischer Zustand und dynamischer Zustand.
(1) Leerer Zustand: Die Anlage ist errichtet, die Stromversorgung ist vollständig hergestellt und läuft, es sind jedoch keine Produktionsanlagen, Materialien und Mitarbeiter vorhanden.
(2) Der statische Zustand wurde hergestellt, die Produktionsausrüstung wurde installiert und funktioniert wie zwischen Eigentümer und Lieferant vereinbart, es gibt jedoch kein Produktionspersonal.
(3) Der dynamische Staat arbeitet in einem festgelegten Zustand, verfügt über festgelegtes Personal und führt die Arbeit in einem vereinbarten Zustand aus.
1. Luftgeschwindigkeit, Luftmenge und Anzahl der Luftwechsel
Die Sauberkeit von Reinräumen und Reinbereichen wird hauptsächlich durch die Zufuhr einer ausreichenden Menge sauberer Luft erreicht, um die im Raum entstehenden partikulären Schadstoffe zu verdrängen und zu verdünnen. Daher ist es sehr wichtig, das Luftzufuhrvolumen, die durchschnittliche Windgeschwindigkeit, die Gleichmäßigkeit der Luftzufuhr, die Luftströmungsrichtung und das Strömungsmuster von Reinräumen oder Reinanlagen zu messen.
Für die Abnahme von Reinraumprojekten schreiben die „Reinraumbau- und Abnahmevorschriften“ (JGJ 71-1990) meines Landes eindeutig vor, dass Tests und Anpassungen im leeren oder statischen Zustand durchgeführt werden müssen. Diese Regelung ermöglicht eine zeitnahe und objektive Bewertung der Projektqualität und kann zudem Streitigkeiten über den Projektabschluss aufgrund nicht planmäßig erreichter dynamischer Ergebnisse vermeiden.
Bei der eigentlichen Abschlussprüfung sind statische Bedingungen üblich und leere Bedingungen selten. Denn einige der Prozessgeräte im Reinraum müssen vorab installiert werden. Vor der Sauberkeitsprüfung müssen die Prozessgeräte sorgfältig abgewischt werden, um eine Beeinträchtigung der Prüfdaten zu vermeiden. Die Vorschriften in den „Clean Room Construction and Acceptance Specifications“ (GB50591-2010), die am 1. Februar 2011 in Kraft traten, sind genauer: „16.1.2 Der Belegungsstatus des Reinraums während der Inspektion ist wie folgt unterteilt: Der technische Anpassungstest sollte leer sein. Die Inspektion und die tägliche Routineinspektion zur Projektabnahme sollten leer oder statisch sein, während die Inspektion und Überwachung zur Nutzungsabnahme dynamisch sein sollten. Bei Bedarf kann der Inspektionsstatus auch durch Verhandlungen zwischen dem Erbauer (Benutzer) und der Inspektionspartei festgelegt werden.“
Der gerichtete Luftstrom beruht hauptsächlich auf einem sauberen Luftstrom, der die verschmutzte Luft im Raum und Bereich verdrängt und so die Sauberkeit des Raums und Bereichs aufrechterhält. Daher sind die Windgeschwindigkeit und Gleichmäßigkeit des Zuluftquerschnitts wichtige Parameter, die die Sauberkeit beeinflussen. Höhere und gleichmäßigere Querschnittswindgeschwindigkeiten können Schadstoffe, die durch Innenprozesse entstehen, schneller und effektiver entfernen. Daher konzentrieren wir uns bei Reinraumtests hauptsächlich auf diese Punkte.
Bei der nicht-unidirektionalen Strömung wird hauptsächlich auf die einströmende saubere Luft zurückgegriffen, um die Schadstoffe im Raum und Bereich zu verdünnen und so die Sauberkeit zu erhalten. Die Ergebnisse zeigen, dass der Verdünnungseffekt umso besser ist, je höher die Anzahl der Luftwechsel und das angemessene Luftströmungsmuster sind. Daher sind das Luftzufuhrvolumen und die entsprechenden Luftwechsel in Reinräumen und Reinbereichen mit nicht-einphasiger Strömung wichtige Prüfobjekte für den Luftstrom, die viel Aufmerksamkeit auf sich gezogen haben.
2. Temperatur und Luftfeuchtigkeit
Die Temperatur- und Feuchtigkeitsmessung in Reinräumen oder Reinraumwerkstätten lässt sich grundsätzlich in zwei Stufen unterteilen: allgemeine Prüfung und umfassende Prüfung. Die Abnahmeprüfung im leeren Zustand ist für die nächste Stufe besser geeignet; die umfassende Leistungsprüfung im statischen oder dynamischen Zustand ist für die nächste Stufe besser geeignet. Diese Art der Prüfung eignet sich für Fälle mit strengen Anforderungen an Temperatur und Luftfeuchtigkeit.
Dieser Test wird nach dem Luftstromgleichmäßigkeitstest und der Klimaanlageneinstellung durchgeführt. Während dieser Testphase funktionierte die Klimaanlage einwandfrei und verschiedene Bedingungen stabilisierten sich. Es ist mindestens erforderlich, in jeder Feuchtigkeitsregelzone einen Feuchtigkeitssensor zu installieren und dem Sensor ausreichend Zeit zur Stabilisierung zu geben. Die Messung sollte für den tatsächlichen Gebrauch geeignet sein, bis der Sensor stabil ist, bevor mit der Messung begonnen wird. Die Messzeit muss länger als 5 Minuten sein.
3. Druckunterschied
Mit dieser Art von Prüfung soll die Fähigkeit überprüft werden, einen bestimmten Druckunterschied zwischen der fertiggestellten Anlage und der Umgebung sowie zwischen den einzelnen Räumen der Anlage aufrechtzuerhalten. Diese Prüfung gilt für alle drei Belegungszustände. Diese Prüfung ist unverzichtbar. Die Druckunterschiedsprüfung sollte bei geschlossenen Türen durchgeführt werden, beginnend mit hohem Druck bis hin zu niedrigem Druck, beginnend im Innenraum, der baulich weit vom Außenbereich entfernt ist, und dann nach außen hin. Reinräume unterschiedlicher Qualität mit miteinander verbundenen Öffnungen haben an den Eingängen nur eine sinnvolle Luftströmungsrichtung.
Anforderungen für die Prüfung von Druckunterschieden:
(1) Wenn alle Türen im Reinraum geschlossen sein müssen, wird die statische Druckdifferenz gemessen.
(2) Gehen Sie in einem Reinraum der Reihe nach von hoher zu niedriger Reinheit vor, bis ein Raum mit direktem Zugang nach außen erkannt wird.
(3) Wenn im Raum kein Luftstrom vorhanden ist, sollte die Öffnung des Messrohrs an einer beliebigen Stelle angebracht werden und die Oberfläche der Öffnung des Messrohrs sollte parallel zur Luftstromlinie verlaufen.
(4) Die gemessenen und aufgezeichneten Daten sollten auf 1,0 Pa genau sein.
Schritte zur Druckdifferenzerkennung:
(1) Alle Türen schließen.
(2) Verwenden Sie ein Differenzdruckmessgerät, um den Druckunterschied zwischen den einzelnen Reinräumen, zwischen den Reinraumkorridoren und zwischen dem Korridor und der Außenwelt zu messen.
(3) Alle Daten sollten aufgezeichnet werden.
Druckdifferenz-Standardanforderungen:
(1) Der statische Druckunterschied zwischen Reinräumen oder Reinbereichen unterschiedlicher Ebenen und nicht reinen Räumen (Bereichen) muss mehr als 5 Pa betragen.
(2) Der statische Druckunterschied zwischen dem Reinraum (Bereich) und der Außenwelt muss mehr als 10 Pa betragen.
(3) Bei Reinräumen mit unidirektionaler Luftströmung und strengeren Luftreinheitsstufen als ISO 5 (Klasse 100) sollte die Staubkonzentration auf der Arbeitsfläche im Innenbereich 0,6 m innerhalb der Tür beim Öffnen der Tür unter dem Staubkonzentrationsgrenzwert der entsprechenden Stufe liegen.
(4) Werden die oben genannten Standardanforderungen nicht erfüllt, sind die Frischluftmenge und die Abluftmenge so lange nachzuregeln, bis eine Qualifikation erreicht ist.
4. Schwebstoffe
(1) Die Prüfer in Innenräumen müssen saubere Kleidung tragen und sollten kleiner als zwei Personen sein. Sie sollten sich auf der windabgewandten Seite des Prüfpunkts und abseits vom Prüfpunkt befinden. Beim Wechsel der Prüfpunkte sollten sie sich leicht bewegen, um eine verstärkte Beeinträchtigung der Sauberkeit im Innenbereich durch das Personal zu vermeiden.
(2) Die Geräte müssen innerhalb der Eichfrist eingesetzt werden.
(3) Vor und nach der Prüfung sind die Geräte zu räumen.
(4) Im Bereich der unidirektionalen Strömung sollte die gewählte Probenahmesonde nahe der dynamischen Probenahme liegen. Die Abweichung zwischen der in die Probenahmesonde eintretenden Luftgeschwindigkeit und der zu beprobenden Luftgeschwindigkeit sollte weniger als 20 % betragen. Ist dies nicht der Fall, sollte die Probenahmeöffnung in die Hauptströmungsrichtung zeigen. Bei Probenahmestellen mit nicht unidirektionaler Strömung sollte die Probenahmeöffnung senkrecht nach oben ausgerichtet sein.
(5) Die Verbindungsleitung vom Probenahmeanschluss zum Staubpartikelzählersensor sollte so kurz wie möglich sein.
5. Schwimmende Bakterien
Die Anzahl der tiefliegenden Probenahmestellen entspricht der Anzahl der Schwebstoff-Probenahmestellen. Die Messstellen im Arbeitsbereich befinden sich ca. 0,8–1,2 m über dem Boden. Die Messstellen an den Zuluftöffnungen liegen ca. 30 cm von der Zuluftfläche entfernt. Messstellen können an wichtigen Geräten oder Arbeitsstätten hinzugefügt werden. In der Regel wird jede Probenahmestelle einmal beprobt.
6. Ansiedelnde Bakterien
Arbeiten Sie in einem Abstand von 0,8–1,2 m zum Boden. Stellen Sie die vorbereitete Petrischale an die Probenahmestelle. Öffnen Sie den Deckel der Petrischale. Decken Sie die Petrischale nach der angegebenen Zeit wieder ab. Stellen Sie die Petrischale zur Kultivierung in einen Inkubator mit konstanter Temperatur. Die erforderliche Zeit beträgt über 48 Stunden. Jede Charge muss einem Kontrolltest unterzogen werden, um zu prüfen, ob das Kulturmedium kontaminiert ist.
7. Lärm
Wenn die Messhöhe etwa 1,2 Meter über dem Boden liegt und die Fläche des Reinraums weniger als 15 Quadratmeter beträgt, kann nur ein Punkt in der Mitte des Raums gemessen werden. Wenn die Fläche mehr als 15 Quadratmeter beträgt, sollten auch vier diagonale Punkte gemessen werden, einer 1 Punkt von der Seitenwand entfernt, wobei die Messpunkte jeweils zu den Ecken zeigen.
8. Beleuchtung
Die Messpunktoberfläche befindet sich etwa 0,8 Meter vom Boden entfernt, und die Punkte sind im Abstand von 2 Metern angeordnet. Bei Räumen mit einer Größe von weniger als 30 Quadratmetern befinden sich die Messpunkte 0,5 Meter von der Seitenwand entfernt. Bei Räumen mit mehr als 30 Quadratmetern befinden sich die Messpunkte 1 Meter von der Wand entfernt.
Veröffentlichungszeit: 14. September 2023