Die Gestaltung von Reinräumen muss internationale Standards umsetzen, fortschrittliche Technologie, wirtschaftliche Rationalität, Sicherheit und Anwendbarkeit erreichen, Qualität gewährleisten und die Anforderungen der Energieeinsparung und des Umweltschutzes erfüllen.Bei der Nutzung bestehender Gebäude für die Sanierung sauberer Technologien muss die Reinraumgestaltung auf den Anforderungen des Produktionsprozesses basieren, auf die örtlichen Gegebenheiten zugeschnitten und unterschiedlich behandelt werden und die vorhandenen technischen Einrichtungen vollständig nutzen.Die Gestaltung von Reinräumen sollte die notwendigen Voraussetzungen für Bau, Installation, Wartungsmanagement, Prüfung und sicheren Betrieb schaffen.
Die Bestimmung des Luftreinheitsgrades jedes Reinraums sollte folgende Anforderungen erfüllen:
- Wenn in einem Reinraum mehrere Prozesse stattfinden, sollten je nach den unterschiedlichen Anforderungen jedes Prozesses unterschiedliche Luftreinheitsgrade gewählt werden.
- Um die Anforderungen des Produktionsprozesses zu erfüllen, sollten die Luftverteilung und der Reinheitsgrad des Reinraums eine Kombination aus lokaler Luftreinigung im Arbeitsbereich und Luftreinigung im gesamten Raum umfassen.
(1).Reinräume mit laminarer Strömung, Reinräume mit turbulenter Strömung und Reinräume mit unterschiedlichen Betriebsschichten und Nutzungszeiten sollten über getrennte gereinigte Klimaanlagen verfügen.
(2).Die berechnete Temperatur und relative Luftfeuchtigkeit im Reinraum sollte den folgenden Vorschriften entsprechen:
①Erfüllung der Anforderungen des Produktionsprozesses;
②Wenn für den Produktionsprozess keine Temperatur- oder Feuchtigkeitsanforderungen bestehen, beträgt die Reinraumtemperatur 20–26 °C und die relative Luftfeuchtigkeit 70 %.
- Eine bestimmte Frischluftmenge in den Reinraum muss sichergestellt werden, und ihr Wert sollte als Maximum der folgenden Luftmengen angenommen werden:
(1).10 % bis 30 % der gesamten Luftzufuhr in einem Reinraum mit turbulenter Strömung und 2–4 % der gesamten Luftzufuhr in einem Reinraum mit laminarer Strömung.
(2).Die Frischluftmenge ist erforderlich, um die Abluft im Innenraum auszugleichen und den Überdruckwert im Innenraum aufrechtzuerhalten.
(3).Stellen Sie sicher, dass die Frischluftmenge in Innenräumen pro Person und Stunde nicht weniger als 40 Kubikmeter beträgt.
- Überdruckregelung für Reinräume
Reinräume müssen einen bestimmten Überdruck aufrechterhalten.Der statische Druckunterschied zwischen Reinräumen unterschiedlicher Höhe und zwischen Reinraum und Nicht-Reinraum sollte nicht weniger als 5 Pa betragen, und der statische Druckunterschied zwischen Reinraum und Außenbereich sollte nicht weniger als 10 Pa betragen.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 22. Mai 2023