Die Planung von Reinräumen muss internationalen Standards entsprechen, fortschrittliche Technologie, Wirtschaftlichkeit, Sicherheit und Anwendbarkeit gewährleisten, Qualität sicherstellen und den Anforderungen an Energieeinsparung und Umweltschutz genügen. Bei der Umnutzung bestehender Gebäude für die Reinraumtechnik muss die Reinraumplanung auf den Anforderungen des Produktionsprozesses basieren, an die lokalen Gegebenheiten angepasst und differenziert erfolgen, wobei die vorhandenen technischen Anlagen optimal genutzt werden müssen. Die Reinraumplanung sollte die notwendigen Voraussetzungen für Bau, Installation, Wartung, Prüfung und sicheren Betrieb schaffen.
Die Bestimmung des Luftreinheitsgrades jedes Reinraums muss folgende Anforderungen erfüllen:
- Wenn in einem Reinraum mehrere Prozesse ablaufen, sollten je nach den unterschiedlichen Anforderungen der einzelnen Prozesse unterschiedliche Luftreinheitsgrade angewendet werden.
- Unter der Voraussetzung, dass die Anforderungen des Produktionsprozesses erfüllt werden, sollte die Luftverteilung und der Reinheitsgrad des Reinraums eine Kombination aus lokaler Luftreinigung im Arbeitsbereich und Luftreinigung für den gesamten Raum umfassen.
(1). Reinräume mit laminarer Strömung, Reinräume mit turbulenter Strömung und Reinräume mit unterschiedlichen Betriebsschichten und Nutzungszeiten sollten über separate Reinluftsysteme verfügen.
(2) Die berechnete Temperatur und relative Luftfeuchtigkeit im Reinraum müssen den folgenden Vorschriften entsprechen:
①Erfüllung der Anforderungen des Produktionsprozesses;
②Wenn für den Produktionsprozess keine Temperatur- oder Feuchtigkeitsanforderungen bestehen, beträgt die Reinraumtemperatur 20-26℃ und die relative Luftfeuchtigkeit 70%.
- Es sollte für eine gewisse Frischluftzufuhr im Reinraum gesorgt werden, wobei der Wert als das Maximum der folgenden Luftvolumina anzusetzen ist;
(1). 10 bis 30 % der gesamten Luftzufuhr in einem Reinraum mit turbulenter Strömung und 2 bis 4 % der gesamten Luftzufuhr in einem Reinraum mit laminarer Strömung.
(2) Die Frischluftmenge muss so bemessen sein, dass die Abluft aus dem Innenraum ausgeglichen und der positive Druck im Innenraum aufrechterhalten wird.
(3) Es ist sicherzustellen, dass das Frischluftvolumen in Innenräumen pro Person und Stunde mindestens 40 Kubikmeter beträgt.
- Reinraum-Überdruckregelung
Reinräume müssen einen bestimmten Überdruck aufrechterhalten. Die statische Druckdifferenz zwischen Reinräumen unterschiedlicher Reinraumklassen sowie zwischen Reinraum- und Nicht-Reinraumbereichen darf nicht weniger als 5 Pa betragen, und die statische Druckdifferenz zwischen Reinraumbereich und Außenbereich darf nicht weniger als 10 Pa betragen.
Veröffentlichungsdatum: 22. Mai 2023