Die Reinraumgestaltung muss internationale Standards erfüllen, fortschrittliche Technologie, wirtschaftliche Rationalität, Sicherheit und Anwendbarkeit gewährleisten, Qualität gewährleisten und den Anforderungen an Energieeinsparung und Umweltschutz gerecht werden. Bei der Nutzung bestehender Gebäude für die Sanierung mit sauberer Technologie muss die Reinraumgestaltung auf den Anforderungen des Produktionsprozesses basieren, an die örtlichen Gegebenheiten angepasst und unterschiedlich behandelt werden und die vorhandenen technischen Einrichtungen optimal nutzen. Die Reinraumgestaltung sollte die notwendigen Voraussetzungen für Bau, Installation, Wartungsmanagement, Prüfung und sicheren Betrieb schaffen.
Die Bestimmung des Luftreinheitsgrades jedes Reinraums sollte die folgenden Anforderungen erfüllen:
- Wenn in einem Reinraum mehrere Prozesse ablaufen, sollten je nach den unterschiedlichen Anforderungen der einzelnen Prozesse unterschiedliche Luftreinheitsgrade gewählt werden.
- Um die Anforderungen des Produktionsprozesses zu erfüllen, sollten Luftverteilung und Sauberkeitsgrad des Reinraums auf einer Kombination aus lokaler Luftreinigung im Arbeitsbereich und Luftreinigung im gesamten Raum basieren.
(1) Laminar-Flow-Reinräume, Turbulent-Flow-Reinräume und Reinräume mit unterschiedlichen Betriebsschichten und Nutzungszeiten sollten über getrennte gereinigte Klimaanlagen verfügen.
(2) Die berechnete Temperatur und relative Luftfeuchtigkeit im Reinraum sollten den folgenden Vorschriften entsprechen:
①Erfüllen Sie die Anforderungen des Produktionsprozesses.
②Wenn für den Produktionsprozess keine Temperatur- oder Feuchtigkeitsanforderungen bestehen, beträgt die Reinraumtemperatur 20–26 °C und die relative Luftfeuchtigkeit 70 %.
- Im Reinraum muss eine bestimmte Menge Frischluft gewährleistet sein, deren Wert als Maximum der folgenden Luftmengen angenommen werden sollte;
(1). 10 bis 30 % der gesamten Luftzufuhr in einem Reinraum mit turbulenter Strömung und 2 bis 4 % der gesamten Luftzufuhr in einem Reinraum mit laminarer Strömung.
(2) Die Frischluftmenge ist erforderlich, um die Abluft im Innenraum auszugleichen und den Überdruck im Innenraum aufrechtzuerhalten.
(3) Stellen Sie sicher, dass das Frischluftvolumen in Innenräumen pro Person und Stunde mindestens 40 Kubikmeter beträgt.
- Reinraum-Überdruckregelung
Reinräume müssen einen bestimmten Überdruck aufrechterhalten. Der statische Druckunterschied zwischen Reinräumen unterschiedlicher Ebenen und zwischen Reinräumen und Nicht-Reinräumen sollte nicht weniger als 5 Pa betragen, und der statische Druckunterschied zwischen Reinräumen und Außenbereich sollte nicht weniger als 10 Pa betragen.
Veröffentlichungszeit: 22. Mai 2023