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GRUNDVORAUSSETZUNGEN FÜR DIE INBETRIEBNAHME VON REINRAUMEN

Die Inbetriebnahme der Reinraum-HLK-Anlage umfasst Einzel- und Systemverbindungstests sowie die eigentliche Inbetriebnahme. Die Inbetriebnahme muss den Anforderungen der technischen Planung und des Vertrags zwischen Lieferant und Käufer entsprechen. Daher ist die Inbetriebnahme unter strikter Einhaltung relevanter Normen wie „Code for Construction and Quality Acceptance of Clean Room“ (GB 51110), „Code for Construction Quality Acceptance of Ventilation and Air-Conditioning Projects“ (GB 51113) und den vertraglich vereinbarten Anforderungen durchzuführen. GB 51110 enthält insbesondere folgende Bestimmungen zur Inbetriebnahme der Reinraum-HLK-Anlage: „Die Leistungsfähigkeit und Genauigkeit der für die Systeminbetriebnahme verwendeten Instrumente und Messgeräte müssen den Prüfanforderungen entsprechen und innerhalb der Gültigkeitsdauer des Kalibrierzertifikats liegen.“ „Verknüpfter Probebetrieb der Reinraum-HLK-Anlage. Vor der Inbetriebnahme müssen folgende Bedingungen erfüllt sein: Die verschiedenen Systemkomponenten müssen einzeln geprüft und abgenommen worden sein; die für Kühlung und Heizung erforderlichen Kälte- (Wärme-)Quellensysteme müssen betriebsbereit, in Betrieb genommen und abgenommen worden sein; die Reinraumausstattung sowie die Verrohrung und Verkabelung des Reinraums (Bereichs) müssen abgeschlossen und einzeln geprüft worden sein; der Reinraum (Bereich) muss gereinigt und abgewischt sein, und der Zutritt von Personal und Material muss gemäß den Reinraumvorschriften erfolgen; die Reinraum-HLK-Anlage muss umfassend gereinigt und ein Testlauf von mehr als 24 Stunden durchgeführt worden sein, um einen stabilen Betrieb zu gewährleisten; der HEPA-Filter muss installiert und auf Dichtheit geprüft worden sein.“

1. Die Inbetriebnahmezeit für den stabilen Ankopplungsversuch der Reinraum-HLK-Anlage mit einer Kälte- (Wärme-)quelle muss mindestens 8 Stunden betragen und im Leerlauf erfolgen. GB 50243 stellt folgende Anforderungen an den Testlauf einzelner Geräte: Ventilatoren und Lüfter in Lüftungsanlagen. Die Drehrichtung des Laufrads muss korrekt sein, der Betrieb muss stabil sein, es dürfen keine ungewöhnlichen Vibrationen oder Geräusche auftreten, und die Betriebsleistung des Motors muss den Anforderungen der technischen Dokumentation entsprechen. Nach 2 Stunden Dauerbetrieb bei Nenndrehzahl darf die maximale Temperatur der Gleitlagerschale 70 °C und die der Wälzlager 80 °C nicht überschreiten. Die Drehrichtung des Pumpenlaufrads muss korrekt sein, es dürfen keine ungewöhnlichen Vibrationen oder Geräusche auftreten, die Schraubverbindungen dürfen kein Spiel aufweisen, und die Betriebsleistung des Motors muss den Anforderungen der technischen Dokumentation entsprechen. Nach 21 Tagen Dauerbetrieb der Wasserpumpe darf die maximale Temperatur des Gleitlagergehäuses 70 °C und die des Wälzlagers 75 °C nicht überschreiten. Der Probebetrieb des Kühlturmlüfters und des Kühlwasserkreislaufs muss mindestens zwei Stunden dauern und einwandfrei funktionieren. Der Kühlturmkörper muss stabil und frei von ungewöhnlichen Vibrationen sein. Der Probebetrieb des Kühlturmlüfters muss den geltenden Normen entsprechen.

2. Zusätzlich zu den einschlägigen Bestimmungen der technischen Dokumentation der Anlage und der geltenden nationalen Norm „Anlagenbau und Abnahmespezifikationen für Kälteanlagen und Luftzerlegungsanlagen“ (GB50274) muss der Probebetrieb der Kälteanlage folgende Anforderungen erfüllen: Die Anlage muss reibungslos laufen. Es dürfen keine ungewöhnlichen Vibrationen oder Geräusche auftreten. Die Verbindungs- und Dichtungsteile dürfen keine Lockerungen, Luft- oder Ölleckagen usw. aufweisen. Druck und Temperatur an Saug- und Abluft müssen im normalen Betriebsbereich liegen. Die Funktion der Energieregler, der verschiedenen Schutzrelais und Sicherheitseinrichtungen muss korrekt, sensibel und zuverlässig sein. Die Probebetriebsdauer darf 8 Stunden nicht unterschreiten.

3. Nach dem gemeinsamen Probebetrieb und der Inbetriebnahme der Reinraum-HLK-Anlage müssen verschiedene Leistungs- und technische Parameter den relevanten Normen und Spezifikationen sowie den Vertragsanforderungen entsprechen. Gemäß GB 51110 gelten folgende Bestimmungen: Das Luftvolumen muss innerhalb von 5 % des Auslegungsluftvolumens liegen, und die relative Standardabweichung darf 15 % nicht überschreiten. Die Prüfergebnisse des Zuluftvolumens im nicht-unidirektionalen Reinraum müssen innerhalb von 5 % des Auslegungsluftvolumens liegen, und die relative Standardabweichung (Ungleichmäßigkeit) des Luftvolumens jeder Düse darf 15 % nicht überschreiten. Das Prüfergebnis des Frischluftvolumens darf den Auslegungswert nicht unterschreiten und 10 % des Auslegungswerts nicht überschreiten.

4. Die tatsächlichen Messwerte für Temperatur und relative Luftfeuchtigkeit im Reinraum (Bereich) müssen den Auslegungsvorgaben entsprechen. Der Mittelwert der Messwerte an den festgelegten Prüfpunkten und die Abweichung sollten zu mehr als 90 % innerhalb der in der Auslegung geforderten Genauigkeit liegen. Die Messwerte für die statische Druckdifferenz zwischen dem Reinraum (Bereich) und angrenzenden Räumen sowie dem Außenbereich müssen den Auslegungsvorgaben entsprechen und sollten im Allgemeinen mindestens 5 Pa betragen.

5. Die Strömungsmusterprüfung im Reinraum muss sicherstellen, dass die Strömungsmuster – unidirektionale Strömung, nicht-unidirektionale Strömung und Schlammkonfluenz – den vertraglich vereinbarten Konstruktions- und technischen Anforderungen entsprechen. Bei Reinräumen mit unidirektionaler und gemischter Strömung ist das Strömungsmuster mittels Tracerverfahren oder Tracerinjektionsverfahren zu prüfen, und die Ergebnisse müssen den Konstruktionsanforderungen genügen. In GB 50243 sind für die Anschlussprüfung folgende Bestimmungen festgelegt: Variables Luftvolumenstrom. Bei der gemeinsamen Inbetriebnahme der Klimaanlage muss das Lüftungsgerät die Frequenzumwandlung und Drehzahlregelung des Ventilators innerhalb des Auslegungsbereichs gewährleisten. Das Lüftungsgerät muss die Anforderungen an den Gesamtluftvolumenstrom des Systems unter den Auslegungsbedingungen des Restdrucks außerhalb der Maschine erfüllen, wobei die zulässige Abweichung des Frischluftvolumenstroms 0 bis 10 % beträgt. Das maximale Luftvolumenstrom-Einstellergebnis des variablen Luftvolumenstrom-Endgeräts und die zulässige Abweichung vom Auslegungsluftvolumenstrom sollten ~15 % betragen. Bei Änderungen der Betriebsbedingungen oder der Raumtemperatureinstellungen einzelner Klimatisierungsbereiche muss der Betrieb des Ventilators am jeweiligen Raumluftvolumenstrom-Endgerät einwandfrei funktionieren. Beim Ändern der Raumtemperatureinstellungen oder beim Abschalten einzelner Raumluftklimageräte muss die Lüftungsanlage die Luftmenge automatisch und korrekt anpassen. Die Systemstatusanzeigen müssen korrekt angezeigt werden. Die Abweichung zwischen dem Gesamtvolumenstrom des Kalt- (Warm-) und Kühlwassersystems der Klimaanlage und dem Auslegungsvolumenstrom darf 10 % nicht überschreiten.

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Veröffentlichungsdatum: 05.09.2023