Heutzutage entwickeln sich verschiedene Branchen sehr schnell. Die Produkte werden ständig aktualisiert und die Anforderungen an die Produktqualität und den Umweltschutz steigen. Dies deutet darauf hin, dass verschiedene Branchen auch höhere Anforderungen an die Reinraumgestaltung stellen werden.
Reinraum-Designstandard
Der Designcode für Reinräume in China ist der Standard GB50073-2013. Der ganzzahlige Grad der Luftreinheit in Reinräumen und Reinbereichen sollte gemäß der folgenden Tabelle bestimmt werden.
| Klasse | Maximale Partikel/m3 | FED STD 209E-Äquivalent | |||||
| >=0,1 µm | >=0,2 µm | >=0,3 µm | >=0,5 µm | >=1 µm | >=5 µm | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1.000 | 237 | 102 | 35 | 8 | Klasse 1 | |
| ISO 4 | 10.000 | 2.370 | 1.020 | 352 | 83 | Klasse 10 | |
| ISO 5 | 100.000 | 23.700 | 10.200 | 3.520 | 832 | 29 | Klasse 100 |
| ISO 6 | 1.000.000 | 237.000 | 102.000 | 35.200 | 8.320 | 293 | Klasse 1.000 |
| ISO 7 | 352.000 | 83.200 | 2.930 | Klasse 10.000 | |||
| ISO 8 | 3.520.000 | 832.000 | 29.300 | Klasse 100.000 | |||
| ISO 9 | 35.200.000 | 8.320.000 | 293.000 | Raumluft | |||
Luftströmungsverlauf und Zuluftmenge in Reinräumen
1. Die Gestaltung des Luftstrommusters sollte den folgenden Vorschriften entsprechen:
(1) Das Luftströmungsmuster und die Zuluftmenge des Reinraums (Bereichs) müssen den Anforderungen entsprechen. Bei strengeren Anforderungen an die Luftreinheit als ISO 4 sollte ein unidirektionaler Luftstrom verwendet werden; bei Luftreinheitsgraden zwischen ISO 4 und ISO 5 sollte ein unidirektionaler Luftstrom verwendet werden; bei Luftreinheitsgraden zwischen ISO 6 und 9 sollte ein nicht unidirektionaler Luftstrom verwendet werden.
(2) Die Luftstromverteilung im Reinraumarbeitsbereich sollte gleichmäßig sein.
(3) Die Luftströmungsgeschwindigkeit im Reinraumarbeitsbereich sollte den Anforderungen des Produktionsprozesses entsprechen.
2. Das Luftzufuhrvolumen des Reinraums sollte den Maximalwert der folgenden drei Punkte annehmen:
(1) Die Zuluftmenge, die den Anforderungen an die Luftreinheit entspricht.
(2) Die Luftzufuhrmenge wird auf Grundlage der Berechnung der Wärme- und Feuchtigkeitslasten ermittelt.
(3) Die Summe der Frischluftmengen, die zum Ausgleich des Abluftvolumens im Raum und zur Aufrechterhaltung des Überdrucks im Raum erforderlich sind; Stellen Sie sicher, dass die Frischluftzufuhr zu jeder Person im Reinraum mindestens 40 m3 pro Stunde beträgt.
3. Bei der Anordnung der verschiedenen Einrichtungen im Reinraum sollten die Auswirkungen auf die Luftströmungsmuster und die Luftreinheit berücksichtigt werden und die folgenden Vorschriften eingehalten werden:
(1) Eine saubere Werkbank sollte nicht in einem Reinraum mit unidirektionaler Strömung aufgestellt werden, und der Rückluftauslass eines Reinraums mit nicht unidirektionaler Strömung sollte von der sauberen Werkbank entfernt sein.
(2) Die Prozessausrüstung, die eine Belüftung erfordert, sollte auf der windabgewandten Seite des Reinraums angeordnet sein.
(3) Bei der Verwendung von Heizgeräten sind Maßnahmen zu treffen, um den Einfluss des Warmluftstroms auf die Luftstromverteilung zu verringern.
(4) Das Restdruckventil sollte auf der Gegenwindseite des Reinluftstroms angeordnet sein.
Luftreinigungsbehandlung
1. Bei der Auswahl, Anordnung und Installation von Luftfiltern sind folgende Vorschriften zu beachten:
(1) Bei der Luftreinigungsbehandlung sollten die Luftfilter auf der Grundlage des Luftreinheitsgrades angemessen ausgewählt werden.
(2) Das Verarbeitungsluftvolumen des Luftfilters sollte kleiner oder gleich dem Nennluftvolumen sein.
(3) Mittel- oder HEPA-Luftfilter sollten im Überdruckbereich der Klimaanlage konzentriert sein.
(4) Bei Verwendung von Sub-HEPA-Filtern und HEPA-Filtern als Endfilter sollten diese am Ende der Reinigungsklimaanlage eingesetzt werden. Ultra-HEPA-Filter sollten am Ende der Reinigungsklimaanlage eingesetzt werden.
(5) Die Widerstandseffizienz von HEPA-Luftfiltern (Sub-HEPA, Ultra-HEPA), die im selben Reinraum installiert sind, sollte ähnlich sein.
(6) Die Installationsmethode von Hepa-Luftfiltern (Sub-Hepa, Ultra-Hepa) sollte dicht, einfach und zuverlässig sein und es sollte leicht sein, Lecks zu erkennen und auszutauschen.
2. Die Frischluft der Reinigungsklimaanlage in größeren Reinraumfabriken sollte zur Luftreinigung zentral aufbereitet werden.
3. Bei der Auslegung der Reinigungsklimaanlage sollte die Rückluft sinnvoll genutzt werden.
4. Der Lüfter der Reinigungsklimaanlage sollte Frequenzumwandlungsmaßnahmen ergreifen.
- In extrem kalten und kalten Gebieten müssen für spezielle Außenluftsysteme Frostschutzmaßnahmen ergriffen werden.
Heizung, Lüftung und Rauchschutz
1. In Reinräumen mit einer Luftreinheit von mehr als ISO 8 dürfen keine Heizkörper zum Heizen verwendet werden.
2. Für Prozessgeräte, die in Reinräumen Staub und schädliche Gase erzeugen, sollten lokale Absaugvorrichtungen installiert werden.
3. In den folgenden Situationen sollte das lokale Absaugsystem separat eingerichtet werden:
(1) Das gemischte Abgasmedium kann zu Korrosivität, Toxizität, Verbrennungs- und Explosionsgefahr sowie Kreuzkontamination führen oder diese verstärken.
(2) Das Abgasmedium enthält giftige Gase.
(3) Das Abgasmedium enthält brennbare und explosive Gase.
4. Die Auslegung der Abgasanlage des Reinraums sollte den folgenden Vorschriften entsprechen:
(1) Ein Rückfluss der Außenluft muss verhindert werden.
(2) In örtlichen Abgassystemen, die brennbare und explosive Stoffe enthalten, müssen auf der Grundlage ihrer physikalischen und chemischen Eigenschaften entsprechende Brand- und Explosionsschutzmaßnahmen ergriffen werden.
(3) Wenn die Konzentration und Emissionsrate der Schadstoffe im Abgasmedium die nationalen oder regionalen Vorschriften zur Schadstoffemissionskonzentration und Emissionsrate überschreiten, sollte eine unschädliche Behandlung durchgeführt werden.
(4) Für Abluftanlagen, die Wasserdampf und kondensierbare Stoffe enthalten, sind Gefälle und Abflussöffnungen vorzusehen.
5. Für Nebenproduktionsräume wie Schuhwechsel, Kleideraufbewahrung, Waschräume, Toiletten und Duschen sollten Belüftungsmaßnahmen getroffen werden, und der statische Innendruckwert sollte niedriger sein als der des Reinraums.
6. Entsprechend den Anforderungen des Produktionsprozesses sollte eine Unfallabgasanlage installiert werden. Die Unfallabgasanlage sollte mit automatischen und manuellen Steuerschaltern ausgestattet sein, und die manuellen Steuerschalter sollten sich zur einfachen Bedienung getrennt im Reinraum und im Außenbereich befinden.
7. Die Installation von Rauchabzugsanlagen in sauberen Werkstätten sollte den folgenden Vorschriften entsprechen:
(1) In den Fluchtwegen sauberer Werkstätten sind mechanische Rauchabzugsanlagen vorzusehen.
(2) Die in der Reinraumwerkstatt installierten Rauchabzugsanlagen müssen den einschlägigen Bestimmungen der geltenden nationalen Norm entsprechen.
Weitere Maßnahmen zur Reinraumgestaltung
1. Die Reinraumwerkstatt sollte über Räume und Einrichtungen zur Personal- und Materialreinigung sowie über Wohn- und sonstige Räume nach Bedarf verfügen.
2. Die Einrichtung von Personalreinigungsräumen und Wohnräumen sollte den folgenden Vorschriften entsprechen:
(1) Es sollte ein Raum für die Personalreinigung eingerichtet werden, beispielsweise zur Aufbewahrung von Regenkleidung, zum Wechseln von Schuhen und Mänteln sowie zum Wechseln sauberer Arbeitskleidung.
(2) Toiletten, Badezimmer, Duschräume, Ruheräume und sonstige Aufenthaltsräume sowie Luftduschräume, Schleusen, Waschräume für Arbeitskleidung und Trockenräume können nach Bedarf eingerichtet werden.
3. Die Gestaltung von Personalreinigungsräumen und Wohnräumen sollte den folgenden Vorschriften entsprechen:
(1) Am Eingang des Personalreinigungsraums sollten Vorrichtungen zum Reinigen der Schuhe installiert werden.
(2) Räume zur Aufbewahrung von Mänteln und zum Wechseln sauberer Arbeitskleidung sollten gesondert eingerichtet werden.
(3) Der Aufbewahrungsschrank für Oberbekleidung sollte so gestaltet sein, dass pro Person ein Schrank vorhanden ist. Saubere Arbeitskleidung sollte in einem sauberen Schrank mit Luftgebläse und Dusche aufgehängt werden.
(4) Im Badezimmer sollten Möglichkeiten zum Händewaschen und Abtrocknen vorhanden sein.
(5) Der Luftduschraum sollte sich am Eingang des Personals zum Reinraum und neben dem Umkleideraum für saubere Arbeitskleidung befinden. Pro 30 Personen in der maximalen Schichtanzahl ist ein Einzelduschraum einzurichten. Befinden sich mehr als fünf Mitarbeiter im Reinraum, sollte auf einer Seite des Luftduschraums eine Bypasstür installiert werden.
(6) Reinräume mit vertikaler Strömung und strengeren Anforderungen als ISO 5 sollten über Luftschleusen verfügen.
(7) Toiletten sind in Reinräumen nicht erlaubt. Die Toilette im Personalreinigungsraum sollte einen Vorraum haben.
4. Der Fußgängerflussweg sollte den folgenden Vorschriften entsprechen:
(1) Der Fußgängerfluss sollte Kreuzungen mit Gegenverkehr vermeiden.
(2) Die Einrichtung der Personalreinigungsräume und Aufenthaltsräume sollte den Personalreinigungsverfahren entsprechen.
5. Je nach Luftreinheitsgrad und Personalanzahl sollte die Gebäudefläche des Personalreinigungsraums und des Wohnzimmers in der Reinraumwerkstatt angemessen bestimmt und auf der Grundlage der durchschnittlichen Personenzahl im Reinraumdesign berechnet werden, wobei die Fläche zwischen 2 und 4 Quadratmetern pro Person liegen sollte.
6. Die Anforderungen an die Luftreinigung für Umkleideräume und Waschräume für saubere Arbeitskleidung sollten auf der Grundlage der Produktprozessanforderungen und des Luftreinheitsgrads angrenzender Reinräume (Bereiche) bestimmt werden.
7. Reinraumgeräte und Materialein- und -ausgänge sollten mit Materialreinigungsräumen und -einrichtungen ausgestattet sein, die auf den Eigenschaften, Formen und anderen Merkmalen der Geräte und Materialien basieren. Die Gestaltung des Materialreinigungsraums sollte eine Kontamination des gereinigten Materials während der Übertragung verhindern.
Veröffentlichungszeit: 17. Juli 2023