Die Reinheit von Reinräumen wird durch die maximal zulässige Anzahl von Partikeln pro Kubikmeter (oder pro Kubikfuß) Luft bestimmt und im Allgemeinen in Klasse 10, Klasse 100, Klasse 1000, Klasse 10000 und Klasse 100000 unterteilt. In der Technik die Luftzirkulation in Innenräumen wird im Allgemeinen verwendet, um den Sauberkeitsgrad des sauberen Bereichs aufrechtzuerhalten. Unter der Voraussetzung einer strengen Kontrolle von Temperatur und Luftfeuchtigkeit gelangt die Luft nach der Filterung durch den Filter in den Reinraum und die Innenluft verlässt den Reinraum über das Rückluftsystem. Anschließend wird es vom Filter gefiltert und gelangt wieder in den Reinraum.
Notwendige Voraussetzungen zur Erreichung der Reinraumreinheit:
1. Sauberkeit der Luftversorgung: Um die Sauberkeit der Luftversorgung sicherzustellen, müssen die für das Reinraumsystem erforderlichen Luftfilter entsprechend den tatsächlichen Anforderungen ausgewählt und installiert werden, insbesondere die Endfilter. Im Allgemeinen können Hepa-Filter für 1 Million Stufen verwendet werden, und darunter können Sub-Hepa- oder Hepa-Filter für die Klasse 10000 verwendet werden, Hepa-Filter mit einer Filtereffizienz ≥99,9 % können für die Klassen 10000 bis 100 verwendet werden und Filter mit einer Filtereffizienz ≥ 99,999 % können für Klasse 100-1 verwendet werden;
2. Luftverteilung: Die geeignete Luftversorgungsmethode muss entsprechend den Eigenschaften des Reinraums und den Eigenschaften des Reinraumsystems ausgewählt werden. Verschiedene Luftversorgungsmethoden haben ihre eigenen Vor- und Nachteile und müssen entsprechend den tatsächlichen Bedürfnissen konzipiert werden;
3. Luftzufuhrvolumen oder Luftgeschwindigkeit: Ein ausreichendes Belüftungsvolumen dient der Verdünnung und Beseitigung verschmutzter Raumluft, die je nach den unterschiedlichen Sauberkeitsanforderungen variiert. Bei höheren Sauberkeitsanforderungen sollte die Anzahl der Luftwechsel entsprechend erhöht werden;
4. Statischer Druckunterschied: Der Reinraum muss einen bestimmten Überdruck aufrechterhalten, um sicherzustellen, dass der Reinraum nicht oder weniger verschmutzt wird, um seine Sauberkeit aufrechtzuerhalten.
Die Gestaltung von Reinräumen ist ein komplexer Prozess. Das Obige ist nur ein kurzer Überblick über das gesamte System. Die tatsächliche Schaffung eines Reinraums erfordert vorläufige Forschung, eine große Anzahl von Kühl- und Heizlastberechnungen, Berechnungen des Luftvolumengleichgewichts usw. mittelfristig sowie einen angemessenen technischen Entwurf, eine Optimierung, eine technische Installation und Inbetriebnahme, um das Gleichgewicht sicherzustellen und Sinnhaftigkeit des gesamten Systems.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 25.09.2023