Die Sauberkeit eines Reinraums wird durch die maximal zulässige Partikelanzahl pro Kubikmeter (oder pro Kubikfuß) Luft bestimmt und im Allgemeinen in Klasse 10, Klasse 100, Klasse 1000, Klasse 10000 und Klasse 100000 unterteilt. In der Technik wird in der Regel eine Raumluftzirkulation eingesetzt, um den Sauberkeitsgrad eines Reinraums aufrechtzuerhalten. Unter der Prämisse einer strengen Kontrolle von Temperatur und Luftfeuchtigkeit gelangt die Luft nach der Filterung in den Reinraum und verlässt den Reinraum über das Rückluftsystem. Anschließend wird sie durch den Filter gefiltert und gelangt wieder in den Reinraum.
Notwendige Voraussetzungen zur Erreichung der Reinraumreinheit:
1. Sauberkeit der Luftzufuhr: Um die Sauberkeit der Luftzufuhr zu gewährleisten, müssen die für das Reinraumsystem erforderlichen Luftfilter, insbesondere die Endfilter, entsprechend den tatsächlichen Anforderungen ausgewählt und installiert werden. Im Allgemeinen können HEPA-Filter für 1 Million Stufen verwendet werden, und für Klasse 10000 können Sub-HEPA- oder HEPA-Filter verwendet werden, für Klasse 10000 bis 100 können HEPA-Filter mit einer Filtrationseffizienz von ≥ 99,9 % verwendet werden und für Klasse 100-1 können Filter mit einer Filtrationseffizienz von ≥ 99,999 % verwendet werden;
2. Luftverteilung: Die geeignete Luftzufuhrmethode muss entsprechend den Eigenschaften des Reinraums und des Reinraumsystems ausgewählt werden. Verschiedene Luftzufuhrmethoden haben ihre eigenen Vor- und Nachteile und müssen entsprechend den tatsächlichen Bedürfnissen ausgelegt werden.
3. Luftzufuhrvolumen oder Luftgeschwindigkeit: Ein ausreichendes Belüftungsvolumen dient der Verdünnung und Beseitigung verschmutzter Raumluft, die je nach Sauberkeitsanforderungen variiert. Bei höheren Sauberkeitsanforderungen sollte die Anzahl der Luftwechsel entsprechend erhöht werden.
4. Statischer Druckunterschied: Der Reinraum muss einen bestimmten Überdruck aufrechterhalten, um sicherzustellen, dass der Reinraum nicht oder weniger verschmutzt wird, um seine Sauberkeit zu erhalten.
Die Reinraumplanung ist ein komplexer Prozess. Das Obige ist nur ein kurzer Überblick über das gesamte System. Die eigentliche Realisierung eines Reinraums erfordert Voruntersuchungen, mittelfristig zahlreiche Kühl- und Heizlastberechnungen, Berechnungen der Luftmengenbilanz usw. sowie eine angemessene technische Planung, Optimierung, technische Installation und Inbetriebnahme, um die Ausgewogenheit und Zweckmäßigkeit des gesamten Systems sicherzustellen.
Veröffentlichungszeit: 25. September 2023