Im Reinraum sollte ein relativ vollständiges automatisches Steuerungssystem bzw. -gerät installiert werden, was für die Sicherstellung der normalen Produktion im Reinraum und die Verbesserung des Betriebs- und Managementniveaus sehr vorteilhaft ist, allerdings müssen die Bauinvestitionen erhöht werden.
Verschiedene Reinraumtypen erfordern die Überwachung von Luftreinheit, Temperatur und Luftfeuchtigkeit, Druckdifferenz, hochreinem Gas und Reinstwasser sowie der Gas- und Reinstwasserqualität. Da die Anforderungen und technischen Parameter je nach Branche und Größe stark variieren, muss die Funktion des automatischen Steuerungssystems/-geräts an die spezifischen Gegebenheiten des jeweiligen Reinraumprojekts angepasst und in verschiedene Überwachungs- und Steuerungssysteme integriert werden. Der Reinraum ist als verteiltes computergestütztes Steuerungs- und Überwachungssystem konzipiert.
Das automatische Steuerungs- und Überwachungssystem eines modernen Hightech-Reinraums, wie beispielsweise eines Mikroelektronik-Reinraums, ist ein umfassendes System, das Elektrotechnik, automatische Messtechnik, Computertechnik und Netzwerkkommunikation integriert. Nur durch den korrekten und sachgemäßen Einsatz dieser Technologien kann das System die erforderlichen Steuerungs- und Überwachungsanforderungen erfüllen.
Um die strengen Anforderungen des Reinraums für Elektronik an die Kontrolle der Produktionsumgebung zu gewährleisten, müssen die Steuerungssysteme des öffentlichen Stromversorgungssystems, der Luftreinigungsanlage usw. eine hohe Zuverlässigkeit aufweisen.
Zweitens muss die Vernetzung verschiedener Steuerungseinrichtungen und -instrumente die Anforderungen an die Netzwerksteuerung der gesamten Anlage erfüllen. Die Produktionstechnologie elektronischer Produkte entwickelt sich rasant, daher muss das automatische Steuerungssystem des Reinraums flexibel und erweiterbar sein, um den sich ändernden Steuerungsanforderungen gerecht zu werden. Die verteilte Netzwerkstruktur bietet eine gute Mensch-Computer-Schnittstelle und ermöglicht so eine optimierte Erfassung, Überwachung und Steuerung der Produktionsumgebung und verschiedener energienaher Anlagen. Sie kann mithilfe von Computertechnologie zur Reinraumsteuerung eingesetzt werden. Sind die Anforderungen an die Reinraumparameter weniger streng, können auch konventionelle Instrumente zur Steuerung verwendet werden. Unabhängig vom gewählten Verfahren muss die Steuerungsgenauigkeit jedoch den Produktionsanforderungen entsprechen, einen stabilen und zuverlässigen Betrieb gewährleisten und Energieeinsparungen sowie Emissionsreduzierungen ermöglichen.
Veröffentlichungsdatum: 28. August 2023