1. Sauberkeit
Es wird verwendet, um die Größe und Menge der in der Luft enthaltenen Partikel pro Raumvolumeneinheit zu charakterisieren und ist ein Standard zur Unterscheidung der Sauberkeit eines Raums.
2. Staubkonzentration
Die Anzahl der Schwebeteilchen pro Luftvolumeneinheit.
3. Leerer Zustand
Die Reinraumanlage wurde gebaut und die gesamte Stromversorgung ist angeschlossen und läuft, es gibt jedoch weder Produktionsausrüstung noch Materialien oder Personal.
4. Statischer Status
Alles ist fertiggestellt und vollständig ausgestattet, die Reinigungsklimaanlage funktioniert normal und es ist kein Personal vor Ort. Der Zustand des Reinraums, in dem die Produktionsausrüstung installiert, aber nicht in Betrieb ist; oder der Zustand des Reinraums, nachdem die Produktionsausrüstung ihren Betrieb eingestellt hat und sich für die angegebene Zeit selbst reinigt; oder der Zustand des Reinraums in einer von beiden Parteien (dem Bauherrn und der Baupartei) vereinbarten Weise.
5. Dynamischer Status
Die Anlage arbeitet wie angegeben, verfügt über das angegebene Personal und führt die Arbeiten unter den vereinbarten Bedingungen aus.
6. Selbstreinigungszeit
Dies bezieht sich auf den Zeitpunkt, an dem der Reinraum entsprechend der vorgesehenen Luftaustauschfrequenz mit Luft versorgt wird und die Staubkonzentration im Reinraum den vorgesehenen Reinheitsgrad erreicht. Im Folgenden sehen wir uns die Selbstreinigungszeit verschiedener Reinraumstufen an.
①. Klasse 100000: nicht mehr als 40 Minuten;
②. Klasse 10000: nicht mehr als 30 Minuten;
③. Klasse 1000: nicht mehr als 20 Minuten.
④. Klasse 100: nicht mehr als 3 Minuten.
7. Luftschleusenraum
Am Eingang und Ausgang des Reinraums ist ein Schleusenraum installiert, um den verunreinigten Luftstrom nach draußen oder in angrenzende Räume zu blockieren und den Druckunterschied zu kontrollieren.
8. Luftdusche
Ein Raum, in dem das Personal vor dem Betreten des Reinraums nach bestimmten Verfahren gereinigt wird. Durch die Installation von Ventilatoren, Filtern und Kontrollsystemen zur Reinigung des gesamten Körpers von Personen, die den Reinraum betreten, ist dies eine der wirksamsten Möglichkeiten, die externe Verschmutzung zu reduzieren.
9. Frachtluftdusche
Ein Raum, in dem Materialien nach bestimmten Verfahren gereinigt werden, bevor sie in den Reinraum gelangen. Durch die Installation von Ventilatoren, Filtern und Kontrollsystemen zur Materialreinigung wird die externe Verschmutzung wirksam reduziert.
10. Reinraumkleidung
Um die von den Arbeitern erzeugten Partikel zu minimieren, wird saubere Kleidung mit geringer Staubemission verwendet.
11. HEPA-Filter
Unter dem Nennluftvolumen hat der Luftfilter eine Abscheideleistung von über 99,9 % für Partikel mit einer Partikelgröße von 0,3 μm oder mehr und einen Luftströmungswiderstand von weniger als 250 Pa.
12. Ultra-HEPA-Filter
Ein Luftfilter mit einer Abscheideleistung von über 99,999 % für Partikel mit einer Partikelgröße von 0,1 bis 0,2 μm und einem Luftströmungswiderstand von weniger als 280 Pa unter Nennluftvolumen.
Veröffentlichungszeit: 21. März 2024