PERSONALREINIGUNGSANFORDERUNGEN FÜR ELEKTRONIK-REINRAUME

1. Räume und Einrichtungen zur Personenreinigung sollten entsprechend der Größe und dem Luftreinheitsgrad des Reinraums eingerichtet werden, und es sollten Aufenthaltsräume eingerichtet werden.

2. Der Personalreinigungsraum sollte entsprechend den Bedürfnissen zum Schuhwechsel, zum Wechsel der Oberbekleidung, zum Reinigen der Arbeitskleidung usw. eingerichtet werden. Aufenthaltsräume wie Regenschutzaufbewahrung, Toiletten, Waschräume, Duschräume und Ruheräume sowie weitere Räume wie Luftduschen, Schleusen, Waschräume für saubere Arbeitskleidung und Trockenräume können nach Bedarf eingerichtet werden.

3. Die Baufläche des Personalraums und des Aufenthaltsraums im Reinraum ist anhand der Reinraumgröße, des Reinheitsgrades der Luft und der Anzahl der im Reinraum anwesenden Personen zu bestimmen. Sie sollte auf der durchschnittlichen Personenzahl basieren, die für die Nutzung eines Reinraums vorgesehen ist.

4. Die Einrichtung der Reinräume und Aufenthaltsräume des Personals muss den folgenden Vorschriften entsprechen:

(1) Am Eingang des Reinraums sollten Schuhreinigungseinrichtungen aufgestellt werden.

(2) Die Umkleidekabinen für Oberbekleidung und die Umkleidekabinen für saubere Kleidung sollten nicht im selben Raum eingerichtet werden.

(3) Die Garderobenschränke sollten entsprechend der geplanten Personenzahl im Reinraum konfiguriert werden.

(4) Es sollten Kleideraufbewahrungseinrichtungen eingerichtet werden, in denen saubere Arbeitskleidung aufbewahrt werden kann und die über eine Luftreinigung verfügen;

(5) Es sollten induktive Handwasch- und Trocknungsanlagen installiert werden;

(6) Die Toilette sollte sich vor dem Betreten des Personalreinigungsraums befinden. Falls sie sich im Personalreinigungsraum befinden muss, ist ein separater Vorraum einzurichten.

5. Die Gestaltung des Luftduschenraums im Reinraum sollte folgende Anforderungen erfüllen:

① Am Eingang des Reinraums sollte eine Luftdusche installiert werden. Falls keine Luftdusche vorhanden ist, sollte eine Schleuse installiert werden;

② Nach dem Umziehen in saubere Arbeitskleidung sollte sich im angrenzenden Bereich eine Luftdusche befinden;

③ Für jeweils 30 Personen der höchsten Reinraumklasse sollte eine Einzel-Luftdusche bereitgestellt werden. Befinden sich mehr als 5 Arbeiter im Reinraum, sollte auf einer Seite der Luftdusche eine Einweg-Bypasstür installiert werden;

④ Der Ein- und Ausgang der Luftdusche dürfen nicht gleichzeitig geöffnet sein, und es sollten Kettenkontrollmaßnahmen getroffen werden;

⑤ Für vertikale Reinräume mit unidirektionaler Strömung und einem Luftreinheitsgrad von ISO 5 oder strenger als ISO 5 sollte eine Schleuse installiert werden.

6. Der Reinheitsgrad der Luft in den Reinräumen des Personals und den Aufenthaltsräumen sollte schrittweise von außen nach innen erhöht werden. Saubere Luft, die durch einen HEPA-Luftfilter gefiltert wurde, kann in den Reinraum geleitet werden.

Der Luftreinheitsgrad des Umkleideraums für saubere Arbeitskleidung sollte niedriger sein als der Luftreinheitsgrad des angrenzenden Reinraums; wenn es einen Waschraum für saubere Arbeitskleidung gibt, sollte der Luftreinheitsgrad des Waschraums ISO 8 entsprechen.