Ein Reinraum ist ein Raum mit kontrollierter Konzentration von Schwebeteilchen in der Luft. Seine Konstruktion und Nutzung sollen die Freisetzung, Entstehung und Speicherung von Partikeln in Innenräume reduzieren. Andere relevante Parameter wie Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Druck im Raum sollten nach Bedarf kontrolliert werden. Der Reinraum wird nach der Anzahl der Partikel einer bestimmten Partikelgröße pro Luftvolumeneinheit unterteilt. Die Unterteilung erfolgt nach der Konzentration der Schwebeteilchen in der Luft. Generell gilt: Je kleiner der Wert, desto höher der Reinigungsgrad. Das heißt, Klasse 10 > Klasse 100 > Klasse 10000 > Klasse 100000.
Der Standard eines Reinraums der Klasse 100 umfasst hauptsächlich Operationssäle und die aseptische Herstellung in der Pharmaindustrie.
Die maximale Anzahl von Partikeln mit einer Reinheitspartikelgröße von größer oder gleich 0,1 Mikron kann nicht größer als 100 sein.
Druckunterschied und Temperatur sowie Luftfeuchtigkeit: Temperatur 22 °C ± 2; Luftfeuchtigkeit 55 % ± 5; grundsätzlich muss es vollständig mit FFU abgedeckt sein und Doppelböden müssen gebaut werden. Bauen Sie ein MAU+FFU+DC-System. Halten Sie außerdem einen Überdruck aufrecht, und der Druckgradient angrenzender Räume muss bei etwa 10 Pa liegen.
Beleuchtung Da die meisten Arbeitsbereiche in staubfreien Reinräumen hohe Anforderungen stellen und es sich um geschlossene Räume handelt, werden an die Beleuchtung schon immer hohe Anforderungen gestellt. Lokale Beleuchtung: Damit ist die Beleuchtung eines bestimmten Bereichs gemeint, die die Ausleuchtung erhöht. Lokale Beleuchtung wird jedoch in der Regel nicht allein zur Innenbeleuchtung eingesetzt. Gemischte Beleuchtung: Damit ist die Beleuchtung der Arbeitsfläche gemeint, die aus einer Beleuchtung und lokaler Beleuchtung zusammengesetzt ist, wobei die Allgemeinbeleuchtung 10–15 % der Gesamtbeleuchtung ausmachen sollte.
Der Standard für Reinräume der Klasse 1000 sieht vor, die Anzahl der Staubpartikel mit einer Partikelgröße von weniger als 0,5 Mikrometern pro Kubikmeter auf weniger als 3.500 zu begrenzen, was dem internationalen Staubfreiheitsstandard A entspricht. Der derzeit in der Chipproduktion und -verarbeitung verwendete Staubfreiheitsstandard stellt höhere Staubanforderungen als Klasse A. Solche hohen Standards werden hauptsächlich bei der Herstellung einiger höherwertiger Chips verwendet. Die Anzahl der Staubpartikel wird streng auf 1.000 pro Kubikmeter begrenzt, was in der Reinraumindustrie allgemein als Klasse 1000 bezeichnet wird.
In den meisten sauberen, staubfreien Werkstätten muss der Innendruck (statischer Druck) höher als der Außendruck (statischer Druck) gehalten werden, um das Eindringen von Verunreinigungen von außen zu verhindern. Die Aufrechterhaltung des Druckunterschieds sollte im Allgemeinen den folgenden Grundsätzen entsprechen: Der Druck in Reinräumen sollte höher sein als in nicht reinen Räumen; der Druck in Räumen mit hohem Reinheitsgrad sollte höher sein als in angrenzenden Räumen mit niedrigem Reinheitsgrad; die Türen zwischen verbundenen Reinräumen sollten zu Räumen mit hohem Reinheitsgrad hin geöffnet sein. Die Aufrechterhaltung des Druckunterschieds hängt von der Frischluftmenge ab, die die aufgrund dieses Druckunterschieds aus den Zwischenräumen austretende Luftmenge ausgleichen muss. Daher ist die physikalische Bedeutung des Druckunterschieds der Widerstand der austretenden (oder eindringenden) Luftmenge, wenn diese durch die verschiedenen Zwischenräume im Reinraum strömt.
Reinraum der Klasse 10.000 bedeutet, dass die Anzahl der Staubpartikel größer oder gleich 0,5 µm größer als 35.000 Partikel/m3 (35 Partikel/m) bis kleiner als oder gleich 35.000 Partikel/m3 (350 Partikel/m) ist und die Anzahl der Staubpartikel größer oder gleich 5 µm größer als 300 Partikel/m3 (0,3 Partikel/m) bis kleiner als oder gleich 3.000 Partikel/m3 (3 Partikel/m) ist. Druckunterschied und Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle.
Steuerung von Temperatur und Luftfeuchtigkeit im Trockenspulensystem. Die Klimaanlage regelt die Wasserzufuhr zur Spule der Klimaanlage, indem sie die Öffnung des Dreiwegeventils über das erfasste Signal steuert.
Reinraum der Klasse 100.000 bedeutet, dass die Partikelzahl pro Kubikmeter in der Werkstatt auf 100.000 begrenzt ist. Die Produktionswerkstatt des Reinraums wird hauptsächlich in der Elektronikindustrie und der Pharmaindustrie eingesetzt. Für die Lebensmittelindustrie ist eine Produktionswerkstatt der Klasse 100.000 durchaus sinnvoll. Der Reinraum der Klasse 100.000 erfordert 15-19 Luftwechsel pro Stunde. Nach vollständiger Belüftung darf die Luftreinigungszeit 40 Minuten nicht überschreiten.
Der Druckunterschied zwischen Reinräumen mit gleichem Reinheitsgrad muss konstant gehalten werden. Der Druckunterschied zwischen benachbarten Reinräumen mit unterschiedlichem Reinheitsgrad muss 5 Pa betragen, und der Druckunterschied zwischen Reinräumen und nicht-reinen Räumen muss >10 Pa betragen.
Temperatur und Luftfeuchtigkeit Wenn in Reinräumen der Klasse 100.000 keine besonderen Anforderungen an Temperatur und Luftfeuchtigkeit bestehen, ist es ratsam, saubere Arbeitskleidung zu tragen, ohne sich unwohl zu fühlen. Die Temperatur wird im Winter im Allgemeinen auf 20–22 °C und im Sommer auf 24–26 °C geregelt, mit einer Schwankung von ±2 °C. Die Luftfeuchtigkeit in Reinräumen wird im Winter auf 30–50 % und im Sommer auf 50–70 % geregelt. Die Beleuchtungsstärke der Hauptproduktionsräume in Reinräumen (Bereichen) sollte im Allgemeinen > 300 Lx betragen; die Beleuchtungsstärke von Nebenstudios, Personal- und Materialreinigungsräumen, Luftkammern, Korridoren usw. sollte 200–300 L betragen.
Veröffentlichungszeit: 14. April 2025