Die Partikelquellen sind in anorganische Partikel, organische Partikel und lebende Partikel unterteilt. Für den menschlichen Körper ist es leicht, Atem- und Lungenerkrankungen zu verursachen, und es kann auch Allergien und Virusinfektionen verursachen. Bei Siliziumchips führt die Anhaftung von Staubpartikeln zu einer Verformung oder dem Kurzschluss von integrierten Schaltkreisen, sodass die Chips ihre Betriebsfunktionen verlieren, sodass die Kontrolle von Mikro-Versuchsquellen zu einem wichtigen Bestandteil des Reinraums der sauberen Raumwirtschaft geworden ist.
Die Bedeutung der Umweltkontrolle von sauberem Raum besteht darin, sicherzustellen, dass die Umweltbedingungen im Produktionsprozess bestimmte Sauberkeitsstandards entsprechen, was für viele Branchen von entscheidender Bedeutung ist. Das Folgende ist die Wichtigkeit und die spezifische Rolle der Umweltkontrolle für sauberes Raum:
1. Stellen Sie die Produktqualität sicher
1.1 Verschmutzung vorbeugen: In Branchen wie Halbleitern, Pharmazeutika und medizinischen Geräten können winzige Partikelschadstoffe Produktfehler oder Fehler verursachen. Durch die Kontrolle der Luftqualität und der Partikelkonzentration im Reinraum können diese Schadstoffe effektiv daran gehindert werden, das Produkt zu beeinflussen.
Zusätzlich zu den anfänglichen Investitionen für Hardware -Geräte erfordert die Wartung und Kontrolle der Sauberkeit der sauberen Raum auch ein gutes "Software" -Managementsystem, um eine gute Sauberkeit aufrechtzuerhalten. Die Betreiber haben den größten Einfluss auf die Sauberkeit des sauberen Raums. Wenn die Bediener einen sauberen Raum betreten, nimmt der Staub erheblich zu. Wenn Menschen hin und her gehen, verschlechtert sich die Sauberkeit sofort. Es ist ersichtlich, dass der Hauptgrund für die Verschlechterung der Sauberkeit menschliche Faktoren ist.
1.2 Konsistenz: Die Reinraumumgebung hilft dabei, die Konsistenz und Wiederholbarkeit des Produktionsprozesses aufrechtzuerhalten, wodurch eine stabile Produktqualität gewährleistet wird.
Was das Glassubstrat betrifft, verursacht die Adhäsion von Staubpartikeln Kratzer am Glassubstrat, Kurzschaltungen und Blasen und andere schlechte Prozessqualität, was zu Schrott führt. Daher ist die Kontrolle von Verschmutzungsquellen zu einem wichtigen Bestandteil des Clean Room Management geworden.
Außenstaubeindrückung und Prävention
Der saubere Raum sollte den richtigen positiven Druck (> 0,5 mm/Hg) beibehalten, im vorläufigen Bauprojekt gute Arbeit leisten, um keine Luftleckage zu gewährleisten, und das Personal, die Geräte, Rohstoffe, Werkzeuge, Verbrauchsmaterialien usw. vorhanden und abwischen sie in den sauberen Raum bringen. Gleichzeitig müssen Reinigungswerkzeuge ordnungsgemäß platziert und regelmäßig ersetzt oder gereinigt werden.
Stauberzeugung und Prävention in sauberen Räumen
Angemessene Auswahl von Materialdaten wie Partitionsbrettern und Böden, Steuerung der Stauberzeugung in Prozessausrüstung, dh regelmäßiger Wartung und Reinigung, Produktionspersonal dürfen nicht herumlaufen oder große Körperbewegungen an ihren Standorten durchführen, und vorbeugende Maßnahmen wie Zugabe z. Klebrige Matten werden an speziellen Stationen aufgenommen.
2. Verbesserung der Produktionseffizienz
2.1 Schrottrate reduzieren: Durch die Reduzierung von Verunreinigungen und Schadstoffen im Produktionsprozess kann die Schrottrate verringert werden, die Strecke der Strecke kann erhöht werden und daher kann die Produktionseffizienz verbessert werden.
Zum Beispiel: Es gibt 600 Schritte in der Waferproduktion. Wenn die Ausbeute jedes Prozesses 99%beträgt, wie hoch ist die Gesamtausbeute von 600 Prozessverfahren? Antwort: 0,99600 = 0,24%.
Um einen Prozess wirtschaftlich machbar zu machen, wie hoch muss die Ausbeute jedes Schritts sein?
• 0,999600 = 54,8%
• 0,9999600 = 94,2%
Jede Prozessausbeute muss mehr als 99,99% erreichen, um die endgültige Prozessausbeute von mehr als 90% zu erreichen, und die Kontamination von Mikropartikeln beeinflusst die Prozessausbeute direkt.
2.2 Beschleunigen des Prozesses: Die Arbeit in einer sauberen Umgebung kann unnötige Reinigungs- und Nacharbeitenzeit verkürzen und den Produktionsprozess effizienter gestalten.
3. Gewähren Sie die Gesundheit und Sicherheit des Personals
3.1 Berufsgesundheit: Bei einigen Produktionsprozessen, die schädliche Substanzen freisetzen können, können saubere Räume verhindern, dass schädliche Substanzen sich auf die äußere Umgebung ausbreiten und die Gesundheit der Arbeitnehmer schützen. Seit der Entwicklung der Menschheit haben sich Technologie, Ausrüstung und Wissen verbessert, aber die Luftqualität hat sich zurückgezogen. Eine Person atmet in ihrem Leben etwa 270.000 m3 Luft ein und verbringt 70% bis 90% seiner Zeit in Innenräumen. Winzige Partikel werden vom menschlichen Körper eingeatmet und im Atmungssystem abgelagert. Partikel von 5 bis 30um werden im Nasopharynx abgelagert, Partikel von 1 bis 5um werden in der Luftröhre und Bronchien abgelagert und Partikel unter 1UM werden in der Alveolarwand abgelagert.
Menschen, die sich lange Zeit in einem Raum mit unzureichendem frischem Luftvolumen befinden, sind anfällig für "Innensyndrom", mit Symptomen wie Kopfschmerzen, Brust -Enge und Müdigkeit und auch anfällig für Atem- und Nervensystemkrankheiten. Der nationale Standard-Standard-GB/T18883-2002 meines Landes sieht vor, dass das Frischluftvolumen nicht weniger als 30 m3/h betragen sollte. Person.
Das frische Luftvolumen des sauberen Raums sollte den maximalen Wert der folgenden zwei Artikel annehmen:
A. Die Summe des Luftvolumens, das erforderlich ist, um das Abgasvolumen in Innenräumen auszugleichen und den Innenverteidiger zu gewährleisten.
B. Stellen Sie sicher, dass die frische Luft, die das Personal des sauberen Raums benötigt. Nach den Spezifikationen für Reinraumdesign beträgt das frische Luftvolumen pro Person und Stunde mindestens 40 m3.
3.2 Safe Produktion: Durch die Kontrolle von Umgebungsparametern wie Luftfeuchtigkeit und Temperatur können Sicherheitsrisiken wie elektrostatische Entladung vermieden werden, um die Sicherheit der Produktion zu gewährleisten.
4. Erfüllen Sie die regulatorischen und Standardanforderungen
4.1 Branchenstandards: Viele Branchen haben strenge Sauberkeitsstandards (wie ISO 14644), und die Produktion muss in sauberen Räumen bestimmter Noten durchgeführt werden. Die Einhaltung dieser Standards ist nicht nur eine behördliche Anforderung, sondern auch ein Spiegelbild der Wettbewerbsfähigkeit von Unternehmen.
Für saubere Workbench, sauberer Schuppen, laminarer Flussübertragungsfenster, Lüfterfiltereinheit FFU, saubere Garderobe, Laminar Flow-Kapuze, Waagehaube, sauberen Bildschirm, Produkte der Luftdusche, die Produkte der Luftdusche, müssen die Methoden zur Sauberkeitstest von Sauberkeitsmethoden standardisieren Bestehende Produkte zur Verbesserung der Vertrauenswürdigkeit von Produkten.
4.2 Zertifizierung und Prüfung: Geben Sie die Prüfung von Drittanbieter-Zertifizierungsagenturen ab und erhalten Sie relevante Zertifizierungen (wie GMP, ISO 9001 usw.), um das Vertrauen des Kunden zu verbessern und den Marktzugang zu erweitern.
5. Förderung der technologischen Innovation
5.1 F & E-Unterstützung: saubere Räume bieten eine ideale experimentelle Umgebung für die Entwicklung von High-Tech-Produkten und helfen bei der Entwicklung neuer Produkte.
5.2 Prozessoptimierung: Unter einer streng kontrollierten Umgebung ist es einfacher, die Auswirkungen von Prozessänderungen auf die Produktleistung zu beobachten und zu analysieren, wodurch die Verbesserung der Prozesse gefördert wird.
6. Markenbild verbessern
6.1 Qualitätssicherung: Ein hohes, saubere Produktionsanlagen kann das Markenimage verbessern und das Vertrauen des Kunden in die Produktqualität verbessern.
6.2 Marktwettbewerbsfähigkeit: Produkte, die in einem sauberen Umfeld hergestellt werden können, gelten häufig als Symbol für hohe Qualität und hohe Zuverlässigkeit, was Unternehmen hilft, sich im heftigen Marktwettbewerb abzuheben.
7. Reparatur- und Wartungskosten senken
7.1 Lebensdauer der Geräte: Produktionsausrüstung und -werkzeuge, die unter sauberen Bedingungen betrieben werden, sind weniger anfällig für Korrosion und Verschleiß, wodurch die Lebensdauer und die Verringerung der Wartungsfrequenz und -kosten verlängert werden.
7.2 Energieverbrauch reduzieren: Durch die Optimierung des Designs und Managements von sauberen Räumen, Verbesserung der Energieeffizienz, die Reduzierung des Energieverbrauchs und die Betriebskosten.
Vier Prinzipien des Managements für sauberes Raum:
1. Bring nicht ein:
Der Rahmen des HEPA -Filters kann nicht auslaufen.
Der entworfene Druck muss in Innenräumen gehalten werden.
Die Betreiber müssen sich nach der Luftdusche umziehen und den sauberen Raum betreten.
Alle Materialien, Geräte und Werkzeuge müssen gereinigt werden, bevor sie eingebracht werden können.
2. Erzeugen Sie nicht:
Die Menschen müssen staubfreie Kleidung tragen.
Unnötige Maßnahmen reduzieren.
Verwenden Sie keine Materialien, die leicht Staub erzeugen können.
Unnötige Gegenstände können nicht eingebracht werden.
3. Nicht akkumulieren:
Es sollte keine Ecken und Maschinenperipherien geben, die schwer zu reinigen oder zu reinigen sind.
Versuchen Sie, die exponierten Luftkanäle, Wasserrohre usw. im Innenbereich zu minimieren.
Die Reinigung muss nach Standardmethoden und festgelegten Zeiten durchgeführt werden.
4. Sofort entfernen:
Erhöhen Sie die Anzahl der Luftwechsel.
Abtast in der Nähe des Teils erzeugen.
Verbessern Sie die Luftstromform, um zu verhindern, dass Staub das Produkt haften.
Kurz gesagt, Clean Room Environmental Control ist von großer Bedeutung, um die Produktqualität zu gewährleisten, die Produktionseffizienz zu verbessern, die Gesundheit und Sicherheit des Personals zu schützen, die behördlichen Anforderungen zu erfüllen, technologische Innovationen zu fördern und das Markenimage zu verbessern. Unternehmen sollten diese Faktoren beim Aufbau und Pflegen von sauberen Räumen vollständig berücksichtigen, um sicherzustellen, dass die sauberen Räume den Anforderungen an Produktion und F & E entsprechen können.
Postzeit: Februar-12-2025