Entsprechend der Luftströmungsorganisation und der Verlegung verschiedener Rohrleitungen sowie den Anordnungsanforderungen des Zu- und Abluftauslasses der Reinigungsklimaanlage, Beleuchtungskörpern, Alarmmeldern usw. wird der Reinraum in der Regel im Obergeschoss eingerichtet technisches Zwischengeschoss, das untere technische Zwischengeschoss, das technische Zwischengeschoss oder der Technikschacht.
Technisches Zwischengeschoss
Elektrische Rohrleitungen in Reinräumen sollten in technischen Zwischengeschossen oder Tunneln verlegt werden. Es sollten raucharme, halogenfreie Kabel verwendet werden. Die Einfädelkanäle sollten aus nicht brennbaren Materialien bestehen. Elektrische Rohrleitungen in sauberen Produktionsbereichen sollten verdeckt verlegt werden und an den Verbindungsstellen zwischen elektrischen Rohrleitungsöffnungen und verschiedenen an der Wand installierten elektrischen Geräten sollten zuverlässige Abdichtungsmaßnahmen getroffen werden. Die obere Stromverteilungsmethode in Reinräumen: Niederspannungs-Stromübertragungs- und -verteilungsleitungen verwenden im Allgemeinen zwei Methoden, nämlich die Kabelbrücke zum Verteilerkasten und der Verteilerkasten zur elektrischen Ausrüstung; oder die geschlossene Buskanal-Zehn-Steckdose (die Buchse ist blockiert, wenn sie nicht verwendet wird), von der Steckdose zum elektrischen Steuerkasten der Produktionsanlage oder Produktionslinie. Die letztgenannte Stromverteilungsmethode wird nur in Elektronik-, Kommunikations-, Elektroanlagen- und kompletten Maschinenfabriken mit geringen Sauberkeitsanforderungen eingesetzt. Es kann Änderungen an Produktionsprodukten, Aktualisierungen und Änderungen an Produktionslinien sowie Verschiebungen, Hinzufügungen und Entfernungen von Produktionsanlagen mit sich bringen. Es ist äußerst praktisch. Es besteht keine Notwendigkeit, die Stromverteilungsausrüstung und -kabel in der Werkstatt zu ändern. Sie müssen lediglich den Sammelschienen-Einschubkasten verschieben oder den Ersatz-Einschubkasten zum Herausführen des Stromkabels verwenden.
Mezzanine-Verkabelung
Technische Mezzanine-Verkabelung im Reinraum: Sie sollte verwendet werden, wenn über dem Reinraum ein technisches Mezzanin oder über dem Reinraum abgehängte Decken vorhanden sind. Abgehängte Decken können in Strukturformen wie Stahlbeton-Sandwich- und Metallwandpaneele unterteilt werden. Metallwandpaneele und abgehängte Decken werden häufig in Reinräumen verwendet.
Versiegelungsbehandlung
Die Verkabelungsmethode des technischen Zwischengeschosses im Reinraum unterscheidet sich nicht wesentlich von der oben genannten Stromverteilungsmethode. Es sollte jedoch betont werden, dass Drähte und Kabelleitungen, wenn sie durch die Decke verlaufen, abgedichtet werden sollten, um Staub und Bakterien in der Decke zu verhindern davon abzuhalten, in den Reinraum zu gelangen und den positiven (negativen) Druck im Reinraum aufrechtzuerhalten. Für das obere Zwischengeschoss eines Reinraums mit nicht unidirektionaler Strömung, der nur über ein oberes technisches Zwischengeschoss verfügt, werden normalerweise Klimatisierungs-Lüftungskanäle, Gasstromkanäle, Wasserversorgungskanäle, Elektro- und Kommunikationsleitungen mit starkem und schwachem Strom, Brücken usw. verlegt. Sammelschienen usw. und die Kanäle sind oft kreuz und quer verlaufen. Es ist sehr komplex. Während des Entwurfs ist eine umfassende Planung erforderlich, es werden „Verkehrsregeln“ formuliert und umfassende Querschnittszeichnungen von Rohrleitungen sind erforderlich, um verschiedene Rohrleitungen in einer geordneten Weise anzuordnen, um Bau und Wartung zu erleichtern. Unter normalen Umständen sollten Starkstromkabelrinnen Klimaanlagenkanäle und andere Rohrleitungen geschlossene Sammelschienen meiden. Wenn das Zwischengeschoss an der Decke des Reinraums hoch ist (z. B. 2 m und mehr), müssen Beleuchtungs- und Wartungssteckdosen in der Decke installiert werden, und es müssen auch Brandmelder gemäß den Vorschriften installiert werden.
Oberes und unteres technisches Zwischengeschoss
Verkabelung im unteren technischen Zwischengeschoss des Reinraums: In den letzten Jahren werden in Reinräumen für die Herstellung von Chips für integrierte Schaltkreise und LCD-Panels in der Regel mehrschichtige Reinräume mit mehrschichtigem Layout verwendet, und obere technische Zwischengeschosse werden darauf eingerichtet oberer und unterer Teil der sauberen Produktionsebene, unteres technisches Zwischengeschoss, die Bodenhöhe liegt über 4,0 m.
Rückluftplenum
Das untere technische Zwischengeschoss wird üblicherweise als Rückluftplenum der gereinigten Klimaanlage genutzt. Je nach technischem Designbedarf können im Abluftplenum elektrische Rohrleitungen, Kabelrinnen und geschlossene Sammelschienen verlegt werden. Die Niederspannungs-Stromverteilungsmethode unterscheidet sich nicht wesentlich von der vorherigen Methode, außer dass das Rückluftplenum ein integraler Bestandteil des Reinraumsystems ist. Die im statischen Plenum verlegten Rohrleitungen, Kabel und Stromschienen müssen vor der Installation und Verlegung vorab gereinigt werden, um die tägliche Reinigung zu erleichtern. Die Low-Tech-Methode der elektrischen Mezzanine-Verkabelung überträgt Strom an die elektrischen Geräte im Reinraum. Die Übertragungsentfernung ist kurz und im Reinraum gibt es nur wenige oder gar keine freiliegenden Rohrleitungen, was sich positiv auf die Verbesserung der Sauberkeit auswirkt.
Reinraum vom Tunneltyp
Das untere Zwischengeschoss des Reinraums und die elektrischen Leitungen im Ober- und Untergeschoss eines mehrstöckigen Reinraums befinden sich in einer Reinraumwerkstatt, die einen tunnelartigen Reinraum oder eine Reinraumwerkstatt mit Technikgängen und Technikschächten übernimmt. Da der tunnelartige Reinraum mit einem sauberen Produktionsbereich und einem Bereich für Hilfsgeräte sowie den meisten Hilfsgeräten wie Vakuumpumpen, Schaltkästen (Schränken), öffentlichen Stromleitungen, elektrischen Rohrleitungen, Kabeltrassen, geschlossenen Sammelschienen und Verteilung ausgestattet ist Kästen (Schränke) befinden sich im Bereich der Zusatzgeräte. Die Zusatzausrüstung kann Stromleitungen und Steuerleitungen einfacher an elektrische Geräte in einem sauberen Produktionsbereich anschließen.
Technischer Schacht
Wenn der Reinraum mit Technikgängen oder Technikschächten ausgestattet ist, kann die elektrische Verkabelung entsprechend der Gestaltung des Produktionsprozesses in entsprechenden Technikgängen oder Technikschächten verlegt werden, es sollte jedoch darauf geachtet werden, den notwendigen Platz für Installation und Wartung zu lassen. Die Anordnung, der Installations- und Wartungsraum anderer Rohrleitungen und ihrer Zubehörteile, die sich im selben technischen Tunnel oder Schacht befinden, sollten vollständig berücksichtigt werden. Es sollte eine Gesamtplanung und eine umfassende Koordination erfolgen.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 01.11.2023