Je nach Luftstromführung und Verlegung der verschiedenen Rohrleitungen sowie den Anforderungen an die Anordnung der Zu- und Abluftöffnungen der Reinraum-Klimaanlage, der Beleuchtungskörper, der Alarmdetektoren usw. wird der Reinraum üblicherweise im oberen technischen Zwischengeschoss, im unteren technischen Zwischengeschoss, im technischen Zwischengeschoss oder im technischen Schacht eingerichtet.
Technisches Zwischengeschoss
Elektrische Leitungen in Reinräumen sollten in technischen Zwischengeschossen oder Tunneln verlegt werden. Es sind raucharme, halogenfreie Kabel zu verwenden. Die Leitungsrohre müssen aus nicht brennbaren Materialien bestehen. Elektrische Leitungen in Reinraum-Produktionsbereichen sind verdeckt zu verlegen, und die Verbindungen zwischen den Leitungsöffnungen und den an der Wand installierten elektrischen Geräten sind zuverlässig abzudichten. Die Stromverteilung in Reinräumen erfolgt üblicherweise auf zwei Arten: Entweder wird eine Kabelbrücke zum Verteilerkasten und von dort zu den elektrischen Geräten verlegt, oder es werden geschlossene Stromschienen mit zehn Steckdosen (die im Ruhezustand blockiert sind) verwendet, die vom Verteilerkasten zum Schaltschrank der Produktionsanlage oder -linie führen. Letztere Methode wird nur in Elektronik-, Kommunikations-, Elektrogeräte- und Maschinenbauunternehmen mit geringen Reinheitsanforderungen eingesetzt. Sie ermöglicht flexible Änderungen an Produktionsprodukten, Aktualisierungen und Umstrukturierungen von Produktionslinien sowie Verschiebungen, Ergänzungen und Demontagen von Produktionsanlagen. Sie ist äußerst komfortabel. Die Stromverteilungsanlage und die Kabel in der Werkstatt müssen nicht verändert werden. Sie müssen lediglich den Verteilerkasten der Stromschiene versetzen oder den Ersatzverteilerkasten verwenden, um das Stromkabel nach außen zu führen.
Mezzanine-Verkabelung
Technische Zwischengeschossverkabelung im Reinraum: Sie ist erforderlich, wenn sich über dem Reinraum ein technisches Zwischengeschoss oder eine abgehängte Decke befindet. Abgehängte Decken können in verschiedenen Bauformen wie Stahlbeton-Sandwichkonstruktionen oder Metallwandpaneelen ausgeführt sein. Metallwandpaneele und abgehängte Decken werden häufig in Reinräumen eingesetzt.
Versiegelungsbehandlung
Die Verkabelung des technischen Zwischengeschosses in Reinräumen unterscheidet sich kaum von der oben beschriebenen Stromverteilung. Es ist jedoch wichtig zu betonen, dass Kabel und Leitungen, die durch die Decke geführt werden, abgedichtet werden müssen, um das Eindringen von Staub und Bakterien aus der Decke in den Reinraum zu verhindern und den Überdruck (Unterdruck) aufrechtzuerhalten. Im oberen Zwischengeschoss eines nicht-unidirektionalen Reinraums mit ausschließlich einem technischen Zwischengeschoss verlaufen üblicherweise Klimaanlagen-, Gas- und Wasserleitungen sowie Strom- und Kommunikationsleitungen (stark und schwach), Brücken, Stromschienen usw. Die Leitungen kreuzen sich häufig. Dies führt zu einer hohen Komplexität. Eine umfassende Planung ist daher unerlässlich. Es werden „Verkehrsregeln“ formuliert und detaillierte Querschnittszeichnungen der Leitungen benötigt, um die verschiedenen Leitungen übersichtlich zu verlegen und so die Montage und Wartung zu erleichtern. Im Normalfall sollten Starkstromkabelkanäle von Klimaanlagenkanälen und andere Leitungen von geschlossenen Stromschienen ferngehalten werden. Bei hohen Zwischendecken im Reinraum (z. B. 2 m und höher) müssen Beleuchtungs- und Wartungssteckdosen in der Decke installiert werden. Außerdem müssen gemäß den Vorschriften Brandmelder angebracht werden.
Oberes und unteres technisches Zwischengeschoss
Verkabelung im unteren technischen Zwischengeschoss des Reinraums: In den letzten Jahren wurden für die Herstellung von großflächigen integrierten Schaltkreisen und LCD-Panels in der Regel mehrschichtige Reinräume mit mehrschichtigem Layout verwendet. Dabei wurden obere technische Zwischengeschosse über und unter der Reinraumebene eingerichtet, wobei die Geschosshöhe des unteren technischen Zwischengeschosses über 4,0 m liegt.
Rückluftkammer
Das untere technische Zwischengeschoss dient üblicherweise als Rückluftkammer der Reinraum-Klimaanlage. Je nach Bedarf können hier elektrische Leitungen, Kabelrinnen und geschlossene Stromschienen verlegt werden. Die Niederspannungs-Stromverteilung unterscheidet sich kaum von der vorherigen Methode, außer dass die Rückluftkammer integraler Bestandteil des Reinraumsystems ist. Die im statischen Zwischengeschoss verlegten Leitungen, Kabel und Stromschienen müssen vor der Installation gereinigt werden, um die tägliche Reinigung zu erleichtern. Die elektrische Verkabelung im Zwischengeschoss versorgt die elektrischen Geräte im Reinraum mit Strom. Die Übertragungswege sind kurz, und es gibt nur wenige oder gar keine freiliegenden Leitungen im Reinraum, was die Reinheit verbessert.
Reinraum vom Tunneltyp
Das untere Zwischengeschoss des Reinraums und die elektrische Verkabelung der oberen und unteren Etagen eines mehrgeschossigen Reinraums befinden sich in einer Reinraumwerkstatt, die als Tunnelreinraum oder als Reinraumwerkstatt mit technischen Gängen und Schächten ausgeführt ist. Da der Tunnelreinraum in einen Reinraumbereich für die Produktion und einen Bereich für die Hilfseinrichtungen unterteilt ist, befinden sich die meisten Hilfseinrichtungen wie Vakuumpumpen, Schaltschränke, Stromleitungen, elektrische Leitungen, Kabelrinnen, geschlossene Stromschienen und Verteilerkästen im Bereich für die Hilfseinrichtungen. Dadurch können die Strom- und Steuerleitungen der Hilfseinrichtungen einfacher mit den elektrischen Anlagen im Reinraumbereich für die Produktion verbunden werden.
Technischer Schacht
Wenn der Reinraum mit Technikgängen oder -schächten ausgestattet ist, können die elektrischen Leitungen entsprechend dem Produktionsprozess in den jeweiligen Technikgängen oder -schächten verlegt werden. Dabei ist darauf zu achten, dass ausreichend Platz für Installation und Wartung vorhanden ist. Die Anordnung, der Installations- und Wartungsraum für andere Rohrleitungen und deren Zubehör im selben Technikgang oder -schacht muss sorgfältig geplant werden. Eine umfassende Planung und Abstimmung ist unerlässlich.
Veröffentlichungsdatum: 01.11.2023