Weisen HEPA-Filter oder deren Installation Mängel auf, wie beispielsweise kleine Löcher im Filter selbst oder durch unsachgemäße Montage verursachte Risse, wird die gewünschte Reinigungswirkung nicht erzielt. Daher muss nach der Installation oder dem Austausch eines HEPA-Filters unbedingt eine Dichtigkeitsprüfung des Filters und der Installationsanschlüsse durchgeführt werden.
1. Zweck und Umfang der Lecksuche:
Zweck der Fehlererkennung: Durch die Prüfung auf Undichtigkeiten des HEPA-Filters sollen Mängel am HEPA-Filter und seiner Installation festgestellt werden, um Abhilfemaßnahmen ergreifen zu können.
Erfassungsbereich: Reinraum, Laminarströmung am Arbeitsplatz und HEPA-Filter an Geräten usw.
2. Leckageerkennungsverfahren:
Die am häufigsten angewandte Methode zur Lecksuche ist die DOP-Methode (d. h. die Verwendung von DOP-Lösungsmittel als Staubquelle und die Lecksuche mit einem Aerosolphotometer). Alternativ kann auch die Staubpartikelzähler-Scanmethode zur Lecksuche eingesetzt werden (d. h. die Verwendung von atmosphärischem Staub als Staubquelle und die Lecksuche mit einem Partikelzähler).
Da die Partikelzählermessung jedoch einen kumulativen Wert liefert, ist sie für das Scannen ungeeignet und die Inspektionsgeschwindigkeit gering. Zudem ist die atmosphärische Staubkonzentration auf der Anströmseite des zu prüfenden HEPA-Filters oft niedrig, sodass zusätzlicher Rauch zur Leckageerkennung erforderlich ist. Die Partikelzählermethode wird zur Leckageerkennung eingesetzt. Die DOP-Methode kann diese Nachteile ausgleichen und wird daher heute häufig zur Leckageerkennung verwendet.
3. Funktionsprinzip der Leckageerkennungsmethode mit der DOP-Methode:
Das DOP-Aerosol wird als Staubquelle auf der Luvseite des zu testenden Hocheffizienzfilters emittiert (DOP ist Dioctylphthalat, Molekulargewicht 390,57, und die Partikel sind nach dem Versprühen kugelförmig).
Zur Probenahme auf der windabgewandten Seite wird ein Aerosolphotometer eingesetzt. Die gesammelten Luftproben durchströmen die Diffusionskammer des Photometers. Das vom staubhaltigen Gas beim Durchströmen des Photometers erzeugte Streulicht wird durch den photoelektrischen Effekt und lineare Verstärkung in elektrisches Licht umgewandelt und von einem Mikroamperemeter schnell angezeigt. So lässt sich die relative Aerosolkonzentration messen. Der DOP-Test misst im Wesentlichen die Durchdringungsrate des HEPA-Filters.
Der DOP-Generator ist ein Gerät, das Rauch erzeugt. Nachdem das DOP-Lösungsmittel in den Generatorbehälter gefüllt wurde, wird unter bestimmten Druck- oder Heizbedingungen Aerosolrauch erzeugt und auf die Anströmseite des Hocheffizienzfilters geleitet (die DOP-Flüssigkeit wird erhitzt, um DOP-Dampf zu bilden, und der Dampf wird unter bestimmten Bedingungen in einem speziellen Kondensat zu winzigen Tröpfchen erhitzt, wobei die zu großen und zu kleinen Tröpfchen entfernt werden, sodass nur noch etwa 0,3 µm große Partikel übrig bleiben, und der nebelartige DOP-Rauch gelangt in den Luftkanal);
Aerosolphotometer (Instrumente zur Messung und Anzeige von Aerosolkonzentrationen sollten die Gültigkeitsdauer der Kalibrierung angeben und dürfen nur verwendet werden, wenn sie die Kalibrierung bestanden haben und sich innerhalb der Gültigkeitsdauer befinden);
4. Arbeitsablauf der Leckageprüfung:
(1) Vorbereitung der Lecksuche
Bereiten Sie die für die Lecksuche benötigte Ausrüstung sowie den Grundriss des Luftzufuhrkanals der Reinigungs- und Klimaanlage in dem zu prüfenden Bereich vor und benachrichtigen Sie die Firma, die die Reinigungs- und Klimaanlagenanlage herstellt, damit diese am Tag der Lecksuche vor Ort Arbeiten wie das Auftragen von Klebstoff und den Austausch von HEPA-Filtern durchführt.
(2). Leckageerkennungsbetrieb
①Prüfen Sie, ob der Flüssigkeitsstand des DOP-Lösungsmittels im Aerosolgenerator über dem unteren Füllstand liegt; falls er nicht ausreicht, muss es nachgefüllt werden.
② Schließen Sie die Stickstoffflasche an den Aerosolgenerator an, schalten Sie den Temperaturschalter des Aerosolgenerators ein und warten Sie, bis die rote Leuchte auf Grün wechselt, was bedeutet, dass die Temperatur erreicht ist (ca. 390~420℃).
③ Verbinden Sie ein Ende des Testschlauchs mit dem Konzentrationsmessanschluss des Aerosolphotometers und platzieren Sie das andere Ende auf der Lufteinlassseite (stromaufwärts) des zu testenden HEPA-Filters. Schalten Sie das Photometer ein und stellen Sie den Testwert auf „100“ ein.
④ Stickstoffzufuhr einschalten, Druck auf 0,05–0,15 MPa einstellen, Ölventil des Aerosolgenerators langsam öffnen, Messwert des Photometers auf 10–20 einstellen und die vorgelagerte Konzentration nach Stabilisierung des Messwerts eingeben. Anschließend die Scan- und Prüfvorgänge durchführen.
⑤ Verbinden Sie ein Ende des Testschlauchs mit dem nachgeschalteten Konzentrationsmessanschluss des Aerosolphotometers. Scannen Sie mit dem anderen Ende, dem Probenahmekopf, die Luftauslassseite des Filters und die Halterung ab. Der Abstand zwischen Probenahmekopf und Filter beträgt etwa 3 bis 5 cm. Führen Sie den Probenahmekopf entlang des inneren Filterrahmens hin und her. Die Messgeschwindigkeit sollte unter 5 cm/s liegen.
Der Prüfumfang umfasst das Filtermaterial, die Verbindung zwischen dem Filtermaterial und seinem Rahmen, die Verbindung zwischen der Dichtung des Filterrahmens und dem Trägerrahmen der Filtergruppe, die Verbindung zwischen dem Trägerrahmen und der Wand oder Decke, um das Filtermedium auf kleine Nadellöcher und andere Beschädigungen im Filter, die Rahmendichtungen, die Dichtungsdichtungen und Undichtigkeiten im Filterrahmen zu überprüfen.
Die routinemäßige Lecksuche von HEPA-Filtern in Reinräumen oberhalb der Klasse 10000 erfolgt in der Regel einmal jährlich (in sterilen Bereichen halbjährlich); wenn bei der täglichen Überwachung von Reinräumen signifikante Abweichungen in der Anzahl der Staubpartikel, der sedimentierten Bakterien und der Luftgeschwindigkeit festgestellt werden, sollte ebenfalls eine Lecksuche durchgeführt werden.
Veröffentlichungsdatum: 07.09.2023