Die Regelung des Luftvolumens bei Differenzdruck ist entscheidend, um die Sauberkeit im Reinraum zu gewährleisten und die Ausbreitung von Verunreinigungen zu verhindern. Im Folgenden finden Sie klare Schritte und Methoden zur Regelung des Luftvolumens bei Druckdifferenz.
1. Der grundlegende Zweck der Druckdifferenz-Luftvolumenregelung
Der Hauptzweck der Druckdifferenz-Luftvolumenregelung besteht darin, einen bestimmten statischen Druckunterschied zwischen Reinraum und Umgebung aufrechtzuerhalten, um die Sauberkeit des Reinraums zu gewährleisten und die Ausbreitung von Schadstoffen zu verhindern.
2. Strategie zur Regelung des Luftvolumenstroms bei Druckdifferenzen
(1). Bestimmen Sie den Druckdifferenzbedarf
Bestimmen Sie anhand der Konstruktionsspezifikationen und der Anforderungen des Produktionsprozesses des Reinraums, ob der Druckunterschied zwischen Reinraum und Umgebung positiv oder negativ sein soll. Der Druckunterschied zwischen Reinräumen unterschiedlicher Qualität sowie zwischen Reinräumen und nicht-reinen Bereichen sollte nicht weniger als 5 Pa betragen, und der Druckunterschied zwischen Reinraum und Außenbereich sollte nicht weniger als 10 Pa betragen.
(2). Berechnen Sie das Differenzdruck-Luftvolumen
Das Leckluftvolumen kann durch Abschätzung der Anzahl der Raumluftwechsel oder mithilfe der Spaltmethode berechnet werden. Die Spaltmethode ist sinnvoller und genauer und berücksichtigt die Luftdichtheit und den Spaltbereich der Gehäusestruktur.
Berechnungsformel: LC = µP × AP × ΔP × ρ oder LC = α × q × l, wobei LC das Druckdifferenz-Luftvolumen ist, das erforderlich ist, um den Druckdifferenzwert des Reinraums aufrechtzuerhalten, µP der Durchflusskoeffizient, AP die Spaltfläche, ΔP die statische Druckdifferenz, ρ die Luftdichte, α der Sicherheitsfaktor, q das Leckluftvolumen pro Längeneinheit des Spalts und l die Spaltlänge.
Angewandte Kontrollmethode:
① Methode zur konstanten Luftmengenregelung (CAV): Bestimmen Sie zunächst die Referenzbetriebsfrequenz der Klimaanlage, um sicherzustellen, dass die Zuluftmenge der geplanten Luftmenge entspricht. Bestimmen Sie das Frischluftverhältnis und passen Sie es an den Sollwert an. Passen Sie den Winkel der Rückluftklappe des sauberen Korridors an, um sicherzustellen, dass der Korridordruckunterschied innerhalb des angemessenen Bereichs liegt, der als Referenz für die Anpassung des Druckunterschieds in anderen Räumen dient.
② Variable Luftmengenregelung (VAV): Passen Sie die Zuluftmenge oder Abluftmenge kontinuierlich über eine elektrische Luftklappe an, um den gewünschten Druck aufrechtzuerhalten. Bei der reinen Differenzdruckregelung (OP) misst ein Differenzdrucksensor die Druckdifferenz zwischen Raum und Referenzbereich, vergleicht sie mit dem Sollwert und regelt die Zuluftmenge oder Abluftmenge über den PID-Einstellalgorithmus.
Anlageninbetriebnahme und Wartung:
Nach der Installation des Systems wird eine Luftbilanzprüfung durchgeführt, um sicherzustellen, dass das Differenzdruck-Luftvolumen den Konstruktionsanforderungen entspricht. Überprüfen und warten Sie das System regelmäßig, einschließlich Filter, Lüfter, Luftklappen usw., um eine stabile Systemleistung zu gewährleisten.
3. Zusammenfassung
Die Differenzdruck-Luftvolumenregelung ist ein wichtiges Bindeglied bei der Gestaltung und Verwaltung von Reinräumen. Durch die Ermittlung des Druckdifferenzbedarfs, die Berechnung des Druckdifferenz-Luftvolumens, die Anwendung geeigneter Regelungsmethoden sowie die Inbetriebnahme und Wartung des Systems können die Sauberkeit und Sicherheit des Reinraums gewährleistet und die Verbreitung von Schadstoffen verhindert werden.
Veröffentlichungszeit: 29. Juli 2025