Der menschliche Körper selbst ist leitfähig. Sobald Personen beim Gehen Kleidung, Schuhe, Hüte usw. tragen, sammeln sie durch Reibung statische Elektrizität an, die mitunter Hunderte oder sogar Tausende von Volt erreichen kann. Obwohl die Energie gering ist, induziert der menschliche Körper eine elektrische Aufladung und wird so zu einer hochgefährlichen statischen Stromquelle.
Um die Ansammlung statischer Elektrizität in der Reinraumkleidung (einschließlich Arbeitskleidung, Schuhen, Hüten usw.) zu verhindern, sollten verschiedene antistatische Materialien verwendet werden, darunter Arbeitskleidung, Schuhe, Hüte, Socken, Masken, Armbänder, Handschuhe, Fingerlinge, Überschuhe usw. Je nach den Anforderungen des jeweiligen Arbeitsbereichs und den Anforderungen an die statische Aufladung sollten unterschiedliche antistatische Materialien zum Einsatz kommen.
① Reinraumkleidung für Bediener mit ESD-Schutz ist staubfrei gereinigt und wird im Reinraum verwendet. Sie muss antistatisch und reinigungsbeständig sein. ESD-Kleidung besteht aus antistatischem Gewebe und ist so gefertigt, dass sich keine statische Aufladung auf der Kleidung bilden kann. Es gibt zwei Arten von ESD-Kleidung: zweiteilige und einteilige. Reinraumkleidung sollte antistatisch sein und aus langfaserigen, staubunempfindlichen Geweben bestehen. Das Gewebe sollte zudem atmungsaktiv und feuchtigkeitsdurchlässig sein.
② Mitarbeiter in Reinräumen oder antistatischen Arbeitsbereichen müssen gemäß den Sicherheitsvorschriften antistatische Schutzausrüstung tragen, darunter Handgelenk-, Fuß- und Schuhbänder. Das Handgelenkband besteht aus einem Erdungsband, einem Kabel und einem Kontakt (Schnalle). Es wird am Handgelenk angelegt und muss direkten Hautkontakt haben. Das Handgelenkband sollte angenehm sitzen. Seine Funktion besteht darin, die vom Personal erzeugte statische Elektrizität schnell und sicher abzuleiten und zu erden, um das gleiche elektrostatische Potenzial wie die Arbeitsfläche zu gewährleisten. Das Handgelenkband sollte über eine leicht zugängliche Auslösevorrichtung verfügen, die beim Verlassen des Arbeitsplatzes einfach gelöst werden kann. Der Erdungspunkt (Schnalle) wird mit der Werkbank oder der Arbeitsfläche verbunden. Handgelenkbänder sollten regelmäßig geprüft werden. Das Fußband (Beinband) ist eine Erdungsvorrichtung, die die vom Körper getragene statische Elektrizität in die elektrostatische Ableitungsfläche ableitet. Die Art des Hautkontakts des Fußbandes ist ähnlich wie beim Handgelenkband, nur dass das Fußband am Unterschenkel oder Knöchel getragen wird. Der Erdungspunkt des Fußriemens befindet sich an der Unterseite des Fußschutzes. Um jederzeit eine sichere Erdung zu gewährleisten, müssen beide Füße mit Fußriemen ausgestattet sein. Beim Betreten des Kontrollbereichs ist es generell erforderlich, den Fußriemen zu überprüfen. Ein Schnürsenkel (Ferse oder Spitze) ähnelt einem Fußriemen, nur dass der Teil, der mit dem Träger verbunden ist, ein Riemen oder ein anderes Element ist, das in den Schuh eingeführt wird. Der Erdungspunkt des Schnürsenkels befindet sich, ähnlich wie beim Schnürsenkel, an der Unterseite der Ferse oder Spitze des Schuhs.
③ Antistatische Handschuhe und Fingerlinge mit elektrostatischer Ableitung schützen Produkte und Prozesse vor statischer Elektrizität und Kontamination durch Bediener in trockenen und nassen Prozessen. Da Bediener mit Handschuhen oder Fingerlingen unter Umständen nicht geerdet sind, sollten die elektrischen Speichereigenschaften der antistatischen Handschuhe und die Entladungsrate nach der Erdung überprüft werden. Beispielsweise kann der Erdungspfad über ESD-empfindliche Bauteile verlaufen. Daher sollten beim Kontakt mit solchen Bauteilen antistatische Materialien, die statische Elektrizität langsam ableiten, anstelle von leitfähigen Materialien verwendet werden.
Veröffentlichungsdatum: 30. Mai 2023