WIE ORGANISIERT MAN DIE LAGERUNG VON CHEMIKALIEN IN EINEM REINRAUM?

1. Innerhalb des Reinraums sind je nach Produktproduktionsprozess und den physikalischen und chemischen Eigenschaften der Chemikalien unterschiedliche Arten von Chemikalienlager- und -verteilungsräumen einzurichten. Die benötigten Chemikalien werden über Rohrleitungen zu den Produktionsanlagen transportiert. Chemikalienlager- und -verteilungsräume befinden sich im Reinraum typischerweise in einem Nebenproduktionsbereich, meist im Erdgeschoss eines ein- oder mehrgeschossigen Gebäudes, in der Nähe einer Außenwand. Chemikalien sind entsprechend ihren physikalischen und chemischen Eigenschaften getrennt zu lagern. Inkompatible Chemikalien sind in separaten, durch feste Trennwände abgetrennten Chemikalienlager- und -verteilungsräumen zu lagern. Gefährliche Chemikalien sind in separaten Lager- oder Verteilungsräumen mit einer Feuerwiderstandsdauer von mindestens 2,0 Stunden zwischen angrenzenden Räumen zu lagern. Diese Räume befinden sich im Erdgeschoss des Produktionsgebäudes, in der Nähe einer Außenwand.

2. Reinräume in der Elektronikindustrie verfügen häufig über Lager- und Verteilungsräume für Säuren und Laugen sowie für brennbare Lösungsmittel. Säurelager- und -verteilungsräume beherbergen typischerweise Lager- und Verteilungssysteme für Schwefelsäure, Phosphorsäure, Fluorwasserstoffsäure und Salzsäure. Laugenlager- und -verteilungsräume beherbergen typischerweise Lager- und Verteilungssysteme für Natriumhydroxid, Hydroxidkuchen, Ammoniumhydroxid und Tetramethylammoniumhydroxid. Lager- und Verteilungsräume für brennbare Lösungsmittel beherbergen typischerweise Lager- und Verteilungssysteme für organische Lösungsmittel wie Isopropylalkohol (IPA). Reinräume in Waferfertigungsanlagen für integrierte Schaltungen verfügen außerdem über Lager- und Verteilungsräume für Poliersuspensionen. Chemikalienlager- und -verteilungsräume befinden sich typischerweise in Hilfsproduktions- oder Unterstützungsbereichen in der Nähe oder angrenzend an Reinraumbereiche, in der Regel im Erdgeschoss mit direktem Zugang ins Freie.

3. Chemikalienlager- und -verteilungsräume sind mit Lagerfässern oder -tanks unterschiedlicher Kapazität ausgestattet, die sich nach Art, Menge und Verwendungseigenschaften der für die Produktherstellung benötigten Chemikalien richten. Gemäß Normen und Vorschriften müssen Chemikalien getrennt gelagert und klassifiziert werden. Die Kapazität der verwendeten Fässer oder Tanks muss für den Verbrauch der Chemikalien über sieben Tage ausreichen. Zusätzlich sind Tagesfässer oder -tanks mit einer Kapazität bereitzustellen, die den 24-Stunden-Verbrauch der für die Produktherstellung benötigten Chemikalien abdeckt. Lager- und Verteilungsräume für brennbare Lösungsmittel und oxidierende Chemikalien müssen von angrenzenden Räumen durch massive, feuerbeständige Wände mit einer Feuerwiderstandsdauer von 3,0 Stunden getrennt sein. Befinden sie sich im Erdgeschoss eines mehrgeschossigen Gebäudes, müssen sie durch nicht brennbare Fußböden mit einer Feuerwiderstandsdauer von mindestens 1,5 Stunden von anderen Bereichen getrennt sein. Der zentrale Kontrollraum für das Chemikaliensicherheits- und Überwachungssystem im Reinraum muss sich in einem separaten Raum befinden.

4. Die Höhe von Chemikalienlager- und -verteilungsräumen innerhalb des Reinraums ist anhand der Anforderungen an die Anlagen- und Rohrleitungsanordnung zu bestimmen und sollte im Allgemeinen mindestens 4,5 Meter betragen. Befindet sich der Chemikalienlager- und -verteilungsraum im Hilfsproduktionsbereich des Reinraums, muss seine Höhe der Gebäudehöhe entsprechen.