WIE IST DIE LAGERUNG VON CHEMIKALIEN IM REINRAUM ZU ORDNEN?

1. Innerhalb eines Reinraums sollten unterschiedliche Arten von Lager- und Vertriebsräumen für Chemikalien eingerichtet werden, basierend auf den Anforderungen des Produktproduktionsprozesses und den physikalischen und chemischen Eigenschaften der Chemikalien. Die benötigten Chemikalien sollten über Rohrleitungen an die Produktionsanlagen geliefert werden. Lager- und Vertriebsräume für Chemikalien befinden sich innerhalb eines Reinraums normalerweise in zusätzlichen Produktionsbereichen, normalerweise im Erdgeschoss eines ein- oder mehrstöckigen Gebäudes, in der Nähe einer Außenwand. Chemikalien sollten entsprechend ihrer physikalischen und chemischen Eigenschaften getrennt gelagert werden. Inkompatible Chemikalien sollten in separaten Lager- und Vertriebsräumen für Chemikalien untergebracht werden, die durch feste Trennwände voneinander getrennt sind. Gefährliche Chemikalien sollten in separaten Lager- oder Vertriebsräumen gelagert werden, wobei die Feuerwiderstandsdauer zwischen benachbarten Räumen mindestens 2 Stunden betragen muss. Diese Räume sollten sich in einem Raum im ersten Stock des Produktionsgebäudes in der Nähe einer Außenwand befinden.

2. Reinräume in der Elektronikindustrie verfügen häufig über Lager- und Verteilungsräume für Säuren und Laugen sowie für brennbare Lösungsmittel. Lager- und Verteilungsräume für Säuren beherbergen typischerweise Lager- und Verteilungssysteme für Schwefelsäure, Phosphorsäure, Flusssäure und Salzsäure. Lager- und Verteilungsräume für Laugen beherbergen typischerweise Lager- und Verteilungssysteme für Natriumhydroxid, Hydroxidkuchen, Ammoniumhydroxid und Tetramethylammoniumhydroxid. Lager- und Verteilungsräume für brennbare Lösungsmittel beherbergen typischerweise Lager- und Verteilungssysteme für organische Lösungsmittel wie Isopropylalkohol (IPA). Reinräume in Fabriken zur Herstellung von Wafern für integrierte Schaltkreise verfügen außerdem über Lager- und Verteilungsräume für Polierschlamm. Lager- und Verteilungsräume für Chemikalien befinden sich typischerweise in Nebenproduktions- oder Supportbereichen in der Nähe oder angrenzend an reine Produktionsbereiche, normalerweise im Erdgeschoss mit direktem Zugang ins Freie.

3. Lager- und Vertriebsräume für Chemikalien sind mit Fässern oder Tanks unterschiedlichen Fassungsvermögens ausgestattet, je nach Art, Menge und Verwendungseigenschaften der für die Produktherstellung benötigten Chemikalien. Chemikalien sind gemäß den geltenden Normen und Vorschriften getrennt zu lagern und zu klassifizieren. Das Fassungsvermögen der verwendeten Fässer oder Tanks sollte für einen siebentägigen Chemikalienverbrauch ausreichen. Zusätzlich sind Fässer oder Tanks für den täglichen Bedarf bereitzustellen, deren Fassungsvermögen den 24-stündigen Bedarf an für die Produktherstellung benötigten Chemikalien deckt. Lager- und Vertriebsräume für brennbare Lösungsmittel und oxidierende Chemikalien sollten separat und durch massive, feuerbeständige Wände mit einer Feuerwiderstandsdauer von 3,0 Stunden von angrenzenden Räumen getrennt sein. Befinden sie sich im Erdgeschoss eines mehrstöckigen Gebäudes, sollten sie durch nicht brennbare Böden mit einer Feuerwiderstandsdauer von mindestens 1,5 Stunden von anderen Bereichen getrennt sein. Der zentrale Kontrollraum für das chemische Sicherheits- und Überwachungssystem innerhalb des Reinraums sollte sich in einem separaten Raum befinden.

4. Die Höhe von Lager- und Verteilungsräumen für Chemikalien innerhalb eines Reinraums sollte anhand der Anforderungen an die Ausrüstung und die Rohrleitungsführung bestimmt werden und im Allgemeinen nicht weniger als 4,5 Meter betragen. Befindet sich der Lager- und Verteilungsraum im Nebenproduktionsbereich des Reinraums, sollte die Höhe des Lager- und Verteilungsraums für Chemikalien der Gebäudehöhe entsprechen.