Brandschutzeinrichtungen sind ein wichtiger Bestandteil von Reinräumen. Ihre Bedeutung ergibt sich nicht nur aus den hohen Kosten der Prozessanlagen und Bauprojekte, sondern auch daraus, dass Reinräume relativ geschlossene Gebäude sind, manche sogar fensterlose Werkstätten. Die Gänge in Reinräumen sind eng und verwinkelt, was die Evakuierung von Personal und die Brandbekämpfung erschwert. Um die Sicherheit von Menschenleben und Sachwerten zu gewährleisten, muss bei der Planung der Brandschutzgrundsatz „Prävention zuerst, kombiniert mit Brandschutz“ umgesetzt werden. Neben wirksamen Brandschutzmaßnahmen bei der Planung von Reinräumen werden auch die notwendigen Brandschutzeinrichtungen installiert. Die Produktionsmerkmale von Reinräumen sind:
(1) Es gibt zahlreiche Präzisionsgeräte und -instrumente, und es werden verschiedene brennbare, explosive, korrosive und giftige Gase und Flüssigkeiten verwendet. Die Brandgefahr einiger Produktionsprozesse fällt in die Kategorie C (z. B. Oxidationsdiffusion, Fotolithografie, Ionenimplantation, Drucken und Verpacken usw.), andere in die Kategorie A (z. B. Einkristallziehen, Epitaxie, chemische Gasphasenabscheidung usw.).
(2) Der Reinraum ist hochgradig luftdicht. Im Brandfall wird es schwierig sein, das Personal zu evakuieren und den Brand zu löschen.
(3) Die Baukosten für Reinräume sind hoch, und die Ausrüstung und Instrumente sind teuer. Im Brandfall wären die wirtschaftlichen Verluste enorm.
Aufgrund der oben genannten Eigenschaften stellen Reinräume sehr hohe Anforderungen an den Brandschutz. Neben der Brandschutz- und Wasserversorgungsanlage müssen auch fest installierte Feuerlöscheinrichtungen vorhanden sein; insbesondere wertvolle Geräte und Instrumente im Reinraum müssen sorgfältig identifiziert werden.
Veröffentlichungsdatum: 11. April 2024