Brandschutzeinrichtungen sind ein wichtiger Bestandteil des Reinraums. Ihre Bedeutung liegt nicht nur darin, dass die Prozessausrüstung und Bauprojekte teuer sind, sondern auch darin, dass Reinräume relativ geschlossene Gebäude sind und einige sogar fensterlose Werkstätten sind. Die Durchgänge im Reinraum sind eng und gewunden, was die Evakuierung des Personals und die Brandbekämpfung erschwert. Um die Sicherheit von Leben und Eigentum von Menschen zu gewährleisten, sollte bei der Planung die Brandschutzrichtlinie „Vorbeugung an erster Stelle, Vorbeugung und Feuer kombinieren“ umgesetzt werden. Neben der Ergreifung wirksamer Brandschutzmaßnahmen bei der Gestaltung des Reinraums werden auch die notwendigen Einrichtungen zur Brandbekämpfung eingerichtet. Die Produktionsmerkmale von Reinräumen sind:
(1) Es gibt viele Präzisionsgeräte und -instrumente und es werden verschiedene brennbare, explosive, korrosive und giftige Gase und Flüssigkeiten verwendet. Die Brandgefahr einiger Produktionsteile fällt in die Kategorie C (z. B. Oxidationsdiffusion, Fotolithografie, Ionenimplantation, Drucken und Verpacken usw.) und einige in die Kategorie A (z. B. Einkristallziehen, Epitaxie, chemische Gasphasenabscheidung usw.). .).
(2) Der Reinraum ist sehr luftdicht. Sobald ein Feuer ausbricht, wird es schwierig, das Personal zu evakuieren und das Feuer zu löschen.
(3) Die Baukosten für Reinräume sind hoch und die Ausrüstung und Instrumente sind teuer. Sobald ein Feuer ausbricht, sind die wirtschaftlichen Verluste enorm.
Aufgrund der oben genannten Eigenschaften stellen Reinräume sehr hohe Anforderungen an den Brandschutz. Neben dem Brandschutz- und Wasserversorgungssystem sollten auch ortsfeste Feuerlöscheinrichtungen installiert werden, insbesondere wertvolle Geräte und Instrumente im Reinraum müssen sorgfältig bestimmt werden.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 11. April 2024