Brandschutzeinrichtungen sind ein wichtiger Bestandteil von Reinräumen. Ihre Bedeutung liegt nicht nur darin, dass Prozessausrüstung und Bauprojekte teuer sind, sondern auch darin, dass Reinräume relativ geschlossene Gebäude sind und manche sogar fensterlose Werkstätten sind. Die Reinraumgänge sind eng und verwinkelt, was die Evakuierung von Personal und die Brandbekämpfung erschwert. Um die Sicherheit von Menschenleben und Eigentum zu gewährleisten, sollte bei der Planung der Brandschutzgrundsatz „Prävention zuerst, Prävention und Brandschutz kombinieren“ umgesetzt werden. Neben wirksamen Brandschutzmaßnahmen werden bei der Planung von Reinräumen auch die notwendigen Feuerlöscheinrichtungen eingerichtet. Reinräume zeichnen sich durch folgende Merkmale aus:
(1) Es gibt viele Präzisionsgeräte und -instrumente, und es werden verschiedene brennbare, explosive, ätzende und giftige Gase und Flüssigkeiten verwendet. Die Brandgefahr einiger Produktionsteile gehört zur Kategorie C (wie Oxidationsdiffusion, Fotolithografie, Ionenimplantation, Drucken und Verpacken usw.), und einige gehören zur Kategorie A (wie Einkristallziehen, Epitaxie, chemische Gasphasenabscheidung usw.).
(2) Der Reinraum ist äußerst luftdicht. Sobald ein Feuer ausbricht, ist es schwierig, das Personal zu evakuieren und das Feuer zu löschen.
(3) Die Baukosten für Reinräume sind hoch und die Ausrüstung und Instrumente sind teuer. Sobald ein Feuer ausbricht, sind die wirtschaftlichen Verluste enorm.
Aufgrund der oben genannten Eigenschaften stellen Reinräume sehr hohe Anforderungen an den Brandschutz. Neben dem Brandschutz- und Wasserversorgungssystem sollten auch feste Feuerlöscheinrichtungen installiert werden. Besonders wertvolle Geräte und Instrumente im Reinraum müssen sorgfältig ausgewählt werden.
Veröffentlichungszeit: 11. April 2024