Die Installation von Prozessgeräten im Reinraum sollte auf dem Design und der Funktion des sauberen Raums basieren. Die folgenden Details werden vorgestellt.
1. Installationsmethode für Geräte: Die ideale Methode besteht darin, den sauberen Raum während der Installationszeit des Geräts zu schließen und eine Tür zu haben, die den Betrachtungswinkel der Ausrüstung erfüllen oder einen Durchgang reservieren kann, damit neue Geräte durchlaufen und in den sauberen Raum betreten können, um in Ordnung zu kommen, um den sauberen Raum zu betreten Um zu verhindern, dass sauberer Raum in der Nähe des Installationszeitraums kontaminiert wird, sollten Schutzmaßnahmen ergriffen werden, um sicherzustellen, dass der saubere Raum die Sauberkeitsanforderungen und die nachfolgenden Arbeiten erfüllt.
2. Wenn die Arbeiten in sauberem Raum während jeder Installationszeit nicht angehalten werden können oder Strukturen abgebaut werden müssen, muss der laufende saubere Raum aus dem Arbeitsbereich effektiv isoliert werden: Temporäre Isolationswände oder Partitionen können verwendet werden. Um die Installationsarbeiten nicht zu behindern, sollte es genügend Platz rund um die Geräte geben. Wenn die Bedingungen dies zulassen, kann der Zugang zum Isolationsbereich über Servicekanäle oder andere nicht kritische Bereiche erfolgen: Wenn dies nicht möglich ist, sollten Maßnahmen ergriffen werden, um die durch die Installationsarbeiten verursachten Umweltverschmutzungsauswirkungen zu minimieren. Die Isolationsfläche sollte den gleichen Druck oder den gleichen Unterdruck aufrechterhalten. Die saubere Luftversorgung sollte im Hochhaus abgeschnitten werden, um einen positiven Druck auf den umgebenden sauberen Raum zu vermeiden. Wenn der Zugang zum Isolationsbereich nur durch einen angrenzenden sauberen Raum erfolgt, sollten Klebrichter verwendet werden, um Schmutz zu entfernen, die mit Schuhen getragen werden.
3. Nach dem Eintritt in den Bereich in großer Höhe können Einwegstiefel oder Überschüsse und einteilige Arbeitskleidung verwendet werden, um einen kontaminierenden sauberen Raum zu vermeiden. Diese Einwegartikel sollten vor dem Verlassen des Quarantänebereichs entfernt werden. Methoden zur Überwachung des Bereichs rund um den Isolationsbereich während des Installationsprozesses der Geräte sollten entwickelt werden, und die Überwachungshäufigkeit sollte festgestellt werden, dass eine Verunreinigung, die in den angrenzenden sauberen Raum eindringen kann, erkannt wird. Nachdem die Isolationsmaßnahmen eingerichtet wurden, können verschiedene erforderliche öffentliche Dienstleistungen eingerichtet werden, wie z. Viel wie möglich, um versehentlich ausgebreitet in den umliegenden sauberen Raum zu vermeiden. Es sollte auch eine effektive Reinigung erleichtern, bevor die Isolationsbarriere entfernt wird. Nachdem die Einrichtungen der öffentlichen Dienstleistungen den Nutzungsanforderungen erfüllt haben, sollte der gesamte Isolationsbereich gemäß den vorgeschriebenen Reinigungsverfahren gereinigt und dekontaminiert werden. Alle Oberflächen, einschließlich aller Wände, Geräte (fest und beweglich) und Böden, sollten gereinigt, abgewischt und mopiert werden, wobei besondere Aufmerksamkeit auf die Reinigungsbereiche hinter Ausrüstungswächtern und unter Ausrüstung gelegt wird.
4. Eine vorläufige Prüfung der Ausrüstungsleistung kann basierend auf den tatsächlichen Bedingungen des sauberen Raums und der installierten Geräte durchgeführt werden. Anschließende Akzeptanztests sollten jedoch durchgeführt werden, wenn die sauberen Umgebungsbedingungen vollständig erfüllt sind. Abhängig von den Bedingungen an der Installationsstelle können Sie die Isolationswand sorgfältig abbauen. Wenn die saubere Luftversorgung ausgeschaltet wurde, starten Sie sie neu; Die Zeit für diese Arbeitsphase sollte sorgfältig ausgewählt werden, um die Störung der normalen Arbeit des sauberen Raums zu minimieren. Zu diesem Zeitpunkt kann es erforderlich sein, zu messen, ob die Konzentration der in der Luft befindlichen Partikel den angegebenen Anforderungen entspricht.
5. Die Reinigung und Zubereitung des Innenraums der Geräte und der wichtigsten Prozesskammern sollte unter normalen sauberen Raumbedingungen durchgeführt werden. Alle internen Kammern und alle Oberflächen, die mit dem Produkt in Kontakt kommen oder am Produkttransport beteiligt sind, müssen auf das erforderliche Sauberkeitsniveau abgewischt werden. Die Reinigungssequenz der Ausrüstung sollte von oben nach unten sein. Wenn sich die Partikel ausbreiten, fallen größere Partikel aufgrund der Schwerkraft auf den Boden der Ausrüstung oder auf den Boden. Reinigen Sie die äußere Oberfläche der Geräte von oben nach unten. Bei Bedarf sollte die Erkennung von Oberflächenpartikeln in Bereichen durchgeführt werden, in denen die Anforderungen des Produkt- oder Produktionsprozesses von entscheidender Bedeutung sind.
6. Angesichts der Eigenschaften des sauberen Raums, insbesondere des großen Bereichs, der hohen Investition, der hohen Produktion und der sehr strengen Sauberkeitsanforderungen für den High-Tech-Reinraum ist die Installation von Produktionsprozessgeräten in dieser Art von sauberem Raum ähnlicher der Art dem ähnlicher des gewöhnlichen sauberen Raums. Es gibt keine spezifischen Anforderungen. Zu diesem Zweck hat der nationale Standard "Code for Clean Room Construction and Quality Acceptance" einige Bestimmungen für die Installation von Produktionsprozessgeräten in sauberem Raum vorgenommen, hauptsächlich einschließlich der folgenden.
AN Teilen und kontaminierte Geräteflächen.
B. Um die Installation von Produktionsprozessgeräten in sauberem Raum (Bereich) ordentlich und ohne oder mit weniger Sitzung zu machen, und um das Clean Production Management -System im sauberen Raum zu befolgen, stellen Sie sicher, dass der Installationsprozess der Produktionsausrüstung nach geschützt ist Zu den verschiedenen "fertigen Produkten" und "halbfeindlichen Produkten", die in "leerem Zustand" akzeptiert werden, müssen Materialien, Maschinen usw. verwendet werden, die im Installationsprozess verwendet werden müssen Raum für lange Zeit) Schadstoffe, die sind schädlich für die produzierten Produkte. Saubere Zimmermaterialien, die staubfrei, rostfrei, fettfrei sind und während des Gebrauchs keinen Staub erzeugen, sollten verwendet werden.
C. Die Gebäudedekorationsfläche des sauberen Raums (Bereich) sollte mit sauberen Raumpaneele, Filmen und anderen Materialien geschützt werden. Die Ausrüstungsunterbrechung sollte gemäß den Anforderungen an die technischen Dokumente aus dem Design oder den technischen Dokumenten ausgerichtet werden. Wenn es keine Anforderungen gibt, sollten Edelstahlplatten oder Plastikplatten verwendet werden. Kohlenstoffstahlprofile, die für unabhängige Fundamente und Bodenverstärkungen verwendet werden, sollten mit Antikorrosion behandelt werden, und die Oberfläche sollte flach und glatt sein. Elastische Versiegelungsmaterialien sollten zum Abdichten verwendet werden.
D. Materialien sollten mit Zutaten, Sorten, Herstellungsdatum, Speichergültigkeitsdauer, Baumethodenanweisungen und Produktzertifikaten gekennzeichnet sein. Maschinen und Werkzeuge, die in sauberem Raum (Bereiche) verwendet werden, dürfen nicht in den Nicht-Clean-Raum (Bereiche) zur Verwendung verlegt werden. Maschinen und Werkzeuge dürfen nicht zur Verwendung in den sauberen Raum (Bereich) verlegt werden. Maschinen und Werkzeuge, die im sauberen Bereich verwendet werden, sollten sicherstellen, dass die freiliegenden Teile der Maschine keinen Staub erzeugen oder Maßnahmen ergreifen, um zu verhindern, dass Staub die Umwelt verschmutzt. Häufig verwendete Maschinen und Werkzeuge sollten in der Luftschleuse gereinigt werden ein "sauberes" oder "nur sauberes Bereich" -Schild.
E. Die Produktionsprozessgeräte in Clean Room (Bereich) müssen auf "spezifischen Böden" wie angehobenen Böden installiert werden. Die Ausrüstungsfundament sollte in der Regel auf den unteren technischen Mezzaninboden oder auf der porösen Zementplatte eingestellt werden. Die Aktivitäten, die abgebaut werden müssen, um das Fundament zu installieren. Die Struktur des Bodens, nachdem sie mit einer handgehaltenen elektrischen Säge geschnitten wurde, sollte verstärkt werden, und die tragende Kapazität sollte nicht niedriger sein als die ursprüngliche Tragfähigkeit. Wenn eine unabhängige Grundlage einer Stahlrahmenkonstruktion verwendet wird, sollte sie aus verzinktem Material oder Edelstahl bestehen, und die freiliegende Oberfläche sollte flach und glatt sein.
F. Wenn der Installationsprozess von Produktionsprozessgeräten in Clean Room (Bereich) Öffnungslöcher in Wandpaneele, Schwebendecken und erhöhten Böden erfordert, dürfen die Bohrvorgänge die Oberflächen von Wandpaneelen und aufgehängten Deckenplatten, die sein müssen, nicht dividieren oder kontaminieren. zurückgehalten. Nach der Eröffnung des erhöhten Bodens, wenn das Fundament nicht rechtzeitig installiert werden kann, sollten Sicherheitsleitungen und Gefahrenschilder installiert werden. Nach der Installation der Produktionsausrüstung sollte die Lücke um das Loch versiegelt und die Geräte- und Dichtungskomponenten flexibler Kontakt haben, und die Verbindung zwischen der Dichtungskomponente und der Wandtafel sollte dicht und fest sein. Die Dichtfläche auf einer Seite des Arbeitszimmers sollte flach und glatt sein.
Postzeit: Jan-16-2024