Die Installation von Prozessanlagen in Reinräumen sollte sich nach deren Konstruktion und Funktion richten. Im Folgenden werden die Details erläutert.
1. Methode zur Geräteinstallation: Die ideale Methode besteht darin, den Reinraum während der Geräteinstallation zu schließen und eine Tür vorzusehen, die den Sichtwinkel auf das Gerät ermöglicht, oder einen Durchgang vorzusehen, durch den das neue Gerät in den Reinraum transportiert werden kann, um eine Kontamination des Reinraums während der Installationsphase zu verhindern. Es sollten Schutzmaßnahmen getroffen werden, um sicherzustellen, dass der Reinraum weiterhin seine Reinheitsanforderungen erfüllt und die nachfolgenden Arbeiten durchgeführt werden können.
2. Lässt sich der Reinraumbetrieb während der einzelnen Installationsphasen nicht unterbrechen oder müssen Bauteile demontiert werden, muss der laufende Reinraum wirksam vom Arbeitsbereich abgetrennt werden. Hierfür eignen sich temporäre Trennwände oder -wände. Um die Installationsarbeiten nicht zu behindern, muss ausreichend Platz um die Anlagen herum vorhanden sein. Sofern möglich, kann der Zugang zum Isolationsbereich über Wartungskanäle oder andere unkritische Bereiche erfolgen. Ist dies nicht möglich, sind Maßnahmen zu ergreifen, um die durch die Installationsarbeiten verursachte Verschmutzung zu minimieren. Im Isolationsbereich muss ein ausgeglichener oder Unterdruck herrschen. In Hochhäusern ist die Reinluftzufuhr zu unterbrechen, um einen Überdruck im angrenzenden Reinraum zu vermeiden. Ist der Zugang zum Isolationsbereich nur über einen benachbarten Reinraum möglich, sind Klebepads zur Entfernung von Schmutz an den Schuhen zu verwenden.
3. Nach Betreten des Höhenbereichs können Einwegstiefel oder -überschuhe und einteilige Arbeitskleidung verwendet werden, um eine Kontamination des Reinraums zu vermeiden. Diese Einwegartikel sind vor Verlassen des Quarantänebereichs abzulegen. Es sind Methoden zur Überwachung des Bereichs um den Isolationsbereich während der Geräteinstallation zu entwickeln und die Überwachungshäufigkeit festzulegen, um jegliche Kontamination, die in den angrenzenden Reinraum gelangen könnte, zu erkennen. Nach Einrichtung der Isolationsmaßnahmen können die erforderlichen Versorgungseinrichtungen wie Strom-, Wasser-, Gas-, Vakuum-, Druckluft- und Abwasserleitungen installiert werden. Dabei ist darauf zu achten, Rauch und Schmutz, die bei den Arbeiten entstehen, so weit wie möglich zu kontrollieren und abzuschirmen, um eine unbeabsichtigte Ausbreitung in den umliegenden Reinraum zu verhindern. Dies erleichtert zudem eine gründliche Reinigung vor dem Entfernen der Isolationsbarriere. Sobald die Versorgungseinrichtungen betriebsbereit sind, ist der gesamte Isolationsbereich gemäß den vorgeschriebenen Reinigungsverfahren zu reinigen und zu dekontaminieren. Alle Oberflächen, einschließlich Wände, Geräte (fest und beweglich) und Böden, sind zu saugen, abzuwischen und zu wischen. Besonderes Augenmerk ist dabei auf die Reinigung der Bereiche hinter und unter den Geräten zu legen.
4. Ein erster Funktionstest der Geräte kann unter den gegebenen Bedingungen des Reinraums und der installierten Geräte durchgeführt werden. Die anschließende Abnahmeprüfung sollte jedoch erfolgen, sobald die Reinraumbedingungen vollständig erfüllt sind. Je nach den Gegebenheiten am Installationsort kann mit dem vorsichtigen Abbau der Trennwand begonnen werden. Falls die Reinluftzufuhr unterbrochen war, muss sie wieder in Betrieb genommen werden. Der Zeitpunkt für diese Arbeitsphase sollte sorgfältig gewählt werden, um den laufenden Betrieb des Reinraums so wenig wie möglich zu beeinträchtigen. Gegebenenfalls muss in diesem Zuge gemessen werden, ob die Konzentration der luftgetragenen Partikel den vorgegebenen Anforderungen entspricht.
5. Die Reinigung und Vorbereitung des Geräteinnenraums und der wichtigsten Prozesskammern erfolgt unter normalen Reinraumbedingungen. Alle Innenkammern und alle Oberflächen, die mit dem Produkt in Berührung kommen oder am Produkttransport beteiligt sind, müssen bis zum erforderlichen Reinheitsgrad abgewischt werden. Die Reinigung des Geräts erfolgt von oben nach unten. Größere Partikel fallen aufgrund der Schwerkraft zu Boden. Reinigen Sie die Außenfläche des Geräts ebenfalls von oben nach unten. Bei Bedarf ist in Bereichen, in denen die Produkt- oder Produktionsprozessanforderungen kritisch sind, eine Oberflächenpartikelprüfung durchzuführen.
6. Angesichts der Eigenschaften von Reinräumen, insbesondere der großen Fläche, der hohen Investitionskosten, der hohen Produktionsleistung und der sehr strengen Reinheitsanforderungen von Hightech-Reinräumen, ähnelt die Installation von Produktionsprozessanlagen in diesem Reinraumtyp eher derjenigen in herkömmlichen Reinräumen. Es gibt keine spezifischen Anforderungen. Aus diesem Grund enthält die nationale Norm „Richtlinien für den Bau und die Qualitätsabnahme von Reinräumen“ einige Bestimmungen für die Installation von Produktionsprozessanlagen in Reinräumen, die im Wesentlichen Folgendes umfassen.
A. Um eine Kontamination oder gar Beschädigung des Reinraums (Bereichs) zu vermeiden, der während der Installation der Produktionsanlagen einer Leerabnahme unterzogen wurde, darf der Installationsprozess der Anlagen keine übermäßigen Vibrationen oder Neigungen aufweisen und die Anlagenoberflächen dürfen nicht geteilt und verunreinigt werden.
B. Um die Installation der Produktionsanlagen im Reinraum (bzw. Reinraumbereich) geordnet und mit möglichst wenig Sitzplätzen durchzuführen und das Reinraummanagementsystem einzuhalten, ist sicherzustellen, dass der Installationsprozess der Produktionsanlagen gemäß den verschiedenen im Rohzustand akzeptierten Fertig- und Halbfertigprodukten geschützt ist. Die im Installationsprozess verwendeten Materialien, Maschinen usw. dürfen keine Schadstoffe abgeben oder erzeugen (auch nicht im normalen, langfristigen Betrieb des Reinraums), die die hergestellten Produkte schädigen könnten. Es sind staub-, rost- und fettfreie Reinraummaterialien zu verwenden, die während der Verwendung keinen Staub erzeugen.
C. Die Oberflächen der Reinraumkonstruktion sind mit Reinraumplatten, -folien und anderen Materialien zu schützen. Die Rückwand der Geräte ist gemäß den Vorgaben der Konstruktions- oder Gerätedokumentation zu fertigen. Fehlen diese Vorgaben, sind Edelstahl- oder Kunststoffplatten zu verwenden. Kohlenstoffstahlprofile für freistehende Fundamente und Bodenverstärkungen sind korrosionsbeständig zu behandeln und weisen eine ebene und glatte Oberfläche auf. Zum Abdichten sind elastische Dichtungsmassen zu verwenden.
D. Materialien müssen mit Angaben zu Inhaltsstoffen, Sorten, Herstellungsdatum, Haltbarkeitsdatum, Verarbeitungshinweisen und Produktzertifikaten gekennzeichnet sein. Maschinen und Werkzeuge, die in Reinräumen verwendet werden, dürfen nicht in Nicht-Reinräumen eingesetzt werden. Maschinen und Werkzeuge, die in Reinräumen verwendet werden, dürfen nicht in Reinräumen eingesetzt werden. Es muss sichergestellt sein, dass die freiliegenden Teile der Maschinen keinen Staub erzeugen oder dass keine Maßnahmen ergriffen werden, um die Staubbelastung der Umgebung zu verhindern. Häufig verwendete Maschinen und Werkzeuge müssen vor dem Transport in den Reinraum in einer Schleuse gereinigt werden und die Anforderungen an Öl-, Schmutz-, Staub- und Rostfreiheit erfüllen. Der Transport darf erst nach bestandener Prüfung und Anbringung eines „Rein“- oder „Nur für Reinräume“-Schildes erfolgen.
E. Die Anlagen für den Produktionsprozess im Reinraum (Bereich) müssen auf speziellen Böden, wie z. B. Doppelböden, installiert werden. Das Fundament der Anlagen sollte in der Regel auf dem unteren technischen Zwischengeschoss oder auf einer porösen Zementplatte errichtet werden; für die Installation des Fundaments müssen die Anlagen demontiert werden. Die Bodenkonstruktion muss nach dem Zuschnitt mit einer handgeführten Elektrosäge verstärkt werden, und ihre Tragfähigkeit darf nicht geringer sein als die ursprüngliche Tragfähigkeit. Bei Verwendung eines freistehenden Stahlrahmenfundaments muss dieses aus verzinktem Stahl oder Edelstahl bestehen, und die Oberfläche muss eben und glatt sein.
F. Wenn für die Installation von Produktionsanlagen in Reinräumen Bohrungen in Wandpaneelen, abgehängten Decken und Doppelböden erforderlich sind, dürfen die Oberflächen der zu erhaltenden Wand- und Deckenpaneele durch die Bohrarbeiten weder beschädigt noch verunreinigt werden. Kann nach dem Öffnen des Doppelbodens das Fundament nicht rechtzeitig installiert werden, sind Sicherheitsgeländer und Warnschilder anzubringen. Nach der Installation der Produktionsanlagen ist der Spalt um die Bohrung abzudichten. Anlage und Dichtungselemente müssen flexibel aneinanderliegen, die Verbindung zwischen Dichtungselement und Wandpaneel muss dicht und fest sein. Die Dichtungsfläche an einer Seite des Arbeitsbereichs muss eben und glatt sein.
Veröffentlichungsdatum: 16. Januar 2024