Die Installation von Prozessgeräten in Reinräumen sollte auf der Gestaltung und Funktion des Reinraums basieren. Die folgenden Details werden vorgestellt.
1. Methode zur Installation der Ausrüstung: Die ideale Methode besteht darin, den Reinraum während der Installationszeit der Ausrüstung zu schließen und eine Tür zu haben, die dem Blickwinkel der Ausrüstung entspricht, oder einen Durchgang zu reservieren, damit neue Ausrüstung in der richtigen Reihenfolge hindurch und in den Reinraum gelangen kann Um zu verhindern, dass der Reinraum in der Nähe der Installationszeit kontaminiert wird, sollten Schutzmaßnahmen ergriffen werden, um sicherzustellen, dass der Reinraum weiterhin seinen Sauberkeitsanforderungen und den erforderlichen Folgearbeiten entspricht.
2. Wenn die Arbeit im Reinraum nicht während jeder Installationsphase unterbrochen werden kann oder wenn Strukturen abgebaut werden müssen, muss der laufende Reinraum wirksam vom Arbeitsbereich isoliert werden: Es können temporäre Isolierwände oder Trennwände verwendet werden. Um die Installationsarbeiten nicht zu behindern, sollte rund um das Gerät ausreichend Platz vorhanden sein. Wenn die Bedingungen es zulassen, kann der Zugang zum Isolierbereich über Versorgungskanäle oder andere unkritische Bereiche erfolgen: Ist dies nicht möglich, müssen Maßnahmen ergriffen werden, um die durch die Installationsarbeiten verursachten Verschmutzungsauswirkungen zu minimieren. Der Isolationsbereich sollte den gleichen Druck oder Unterdruck aufrechterhalten. Die Reinluftzufuhr sollte im Hochhausbereich unterbrochen werden, um einen Überdruck auf den umgebenden Reinraum zu vermeiden. Wenn der Zugang zum Isolationsbereich nur über einen angrenzenden Reinraum erfolgt, sollten Klebepads verwendet werden, um den von den Schuhen getragenen Schmutz zu entfernen.
3. Nach dem Betreten des hochgelegenen Bereichs können Einwegstiefel oder -überschuhe und einteilige Arbeitskleidung getragen werden, um eine Kontamination des Reinraums zu vermeiden. Diese Einwegartikel sollten vor dem Verlassen des Quarantänebereichs entfernt werden. Es sollten Methoden zur Überwachung des Bereichs um den Isolationsbereich während des Geräteinstallationsprozesses entwickelt und die Häufigkeit der Überwachung festgelegt werden, um sicherzustellen, dass jegliche Kontamination, die in den angrenzenden Reinraum gelangen kann, erkannt wird. Nachdem die Isolationsmaßnahmen eingerichtet wurden, können verschiedene erforderliche öffentliche Einrichtungen wie Strom-, Wasser-, Gas-, Vakuum-, Druckluft- und Abwasserleitungen eingerichtet werden. Dabei sollte auf die Kontrolle und Isolierung des durch den Betrieb erzeugten Rauchs und Schmutzes geachtet werden soweit möglich, um eine unbeabsichtigte Ausbreitung auf den umliegenden Reinraum zu vermeiden. Es sollte auch eine wirksame Reinigung vor dem Entfernen der Isolationsbarriere ermöglichen. Nachdem die öffentlichen Einrichtungen die Nutzungsanforderungen erfüllt haben, sollte der gesamte Isolationsbereich gemäß den vorgeschriebenen Reinigungsverfahren gereinigt und dekontaminiert werden. Alle Oberflächen, einschließlich aller Wände, Geräte (fest und beweglich) und Böden, sollten gesaugt, abgewischt und gewischt werden, wobei besonderes Augenmerk auf die Reinigung der Bereiche hinter den Geräteschutzvorrichtungen und unter den Geräten gelegt werden sollte.
4. Ein vorläufiger Test der Geräteleistung kann auf der Grundlage der tatsächlichen Bedingungen des Reinraums und der installierten Geräte durchgeführt werden. Anschließende Abnahmetests sollten jedoch durchgeführt werden, wenn die Bedingungen der sauberen Umgebung vollständig erfüllt sind. Abhängig von den Gegebenheiten am Aufstellort kann mit der vorsichtigen Demontage der Isolierwand begonnen werden; Wenn die Frischluftzufuhr unterbrochen wurde, starten Sie sie erneut. Die Zeit für diese Arbeitsphase sollte sorgfältig ausgewählt werden, um Störungen des normalen Betriebs des Reinraums so gering wie möglich zu halten. Zu diesem Zeitpunkt muss möglicherweise gemessen werden, ob die Konzentration der in der Luft befindlichen Partikel den festgelegten Anforderungen entspricht.
5. Die Reinigung und Vorbereitung des Inneren der Ausrüstung und der wichtigsten Prozesskammern sollte unter normalen Reinraumbedingungen durchgeführt werden. Alle Innenräume und alle Oberflächen, die mit dem Produkt in Berührung kommen oder am Produkttransport beteiligt sind, müssen auf den erforderlichen Sauberkeitsgrad abgewischt werden. Die Reinigungsreihenfolge der Geräte sollte von oben nach unten erfolgen. Wenn Partikel verteilt werden, fallen größere Partikel aufgrund der Schwerkraft auf den Boden des Geräts oder auf den Boden. Reinigen Sie die Außenfläche des Geräts von oben bis unten. Bei Bedarf sollte die Erkennung von Oberflächenpartikeln in Bereichen durchgeführt werden, in denen die Produkt- oder Produktionsprozessanforderungen kritisch sind.
6. Angesichts der Eigenschaften von Reinräumen, insbesondere der großen Fläche, der hohen Investitionen, der hohen Leistung und der sehr strengen Sauberkeitsanforderungen von High-Tech-Reinräumen, ähnelt die Installation von Produktionsprozessgeräten in dieser Art von Reinräumen eher dieser eines gewöhnlichen Reinraums. Es gibt keine besonderen Anforderungen. Zu diesem Zweck wurden in der veröffentlichten nationalen Norm „Code for Clean Room Construction and Quality Acceptance“ einige Bestimmungen für die Installation von Produktionsprozessgeräten in Reinräumen festgelegt, darunter hauptsächlich die folgenden.
A. Um eine Kontamination oder sogar Beschädigung des Reinraums (Bereichs) zu verhindern, der während des Installationsprozesses von Produktionsanlagen „leer“ angenommen wurde, darf der Installationsprozess der Ausrüstung keine übermäßigen Vibrationen oder Neigungen aufweisen und darf nicht sein geteilt werden und Geräteoberflächen verunreinigen.
B. Um die Installation der Produktionsprozessausrüstung im Reinraum (Bereich) ordnungsgemäß und ohne oder mit weniger Sitzen zu gestalten und das Managementsystem für saubere Produktion im Reinraum zu befolgen, stellen Sie sicher, dass der Installationsprozess der Produktionsausrüstung entsprechend geschützt ist Zu den verschiedenen „Fertigprodukten“ und „Halbfertigprodukten“, die im „leeren Zustand“ akzeptiert werden, dürfen Materialien, Maschinen usw., die im Installationsprozess verwendet werden müssen, keine Emissionen abgeben oder erzeugen (auch nicht im normalen Betrieb der Reinigung). Raum für längere Zeit) Schadstoffe, die schädlich für den Raum sind Produkte produziert. Es sollten Reinraummaterialien verwendet werden, die staubfrei, rostfrei und fettfrei sind und bei der Nutzung keinen Staub erzeugen.
C. Die Gebäudedekorationsoberfläche des Reinraums (Bereichs) sollte mit Reinraumplatten, Folien und anderen Materialien geschützt werden; Die Trägerplatte des Geräts sollte gemäß den Anforderungen des Designs oder des technischen Dokuments des Geräts hergestellt werden. Wenn keine Anforderungen bestehen, sollten Edelstahlplatten oder Kunststoffplatten verwendet werden. Kohlenstoffstahlprofile, die für unabhängige Fundamente und Bodenverstärkungen verwendet werden, sollten mit einem Korrosionsschutz behandelt werden und die Oberfläche sollte flach und glatt sein; Zum Abdichten sollten elastische Dichtungsmaterialien verwendet werden.
D. Materialien sollten mit Inhaltsstoffen, Sorten, Herstellungsdatum, Haltbarkeitsdauer der Lagerung, Anweisungen zur Bauweise und Produktzertifikaten gekennzeichnet sein. Maschinen und Werkzeuge, die in Reinräumen verwendet werden, dürfen zur Verwendung nicht in Nicht-Reinräume verbracht werden. Maschinen und Werkzeuge dürfen zur Verwendung nicht in einen Reinraum (Bereich) verbracht werden. Maschinen und Werkzeuge, die in sauberen Bereichen verwendet werden, sollten sicherstellen, dass die freiliegenden Teile der Maschine keinen Staub erzeugen, oder Maßnahmen ergreifen, um zu verhindern, dass Staub die Umwelt verschmutzt. Häufig verwendete Maschinen und Werkzeuge sollten in einer Schleuse gereinigt werden, bevor sie in einen sauberen Bereich gebracht werden. Sie sollten die Anforderungen erfüllen, dass sie ölfrei, schmutzfrei, staubfrei und rostfrei sind, und nach bestandener Inspektion und Befestigung bewegt werden ein „Clean“- oder „Clean Area Only“-Schild.
E. Die Ausrüstung für den Produktionsprozess im Reinraum (Bereich) muss auf „bestimmten Böden“ wie z. B. Doppelböden installiert werden. Das Gerätefundament sollte im Allgemeinen auf dem unteren technischen Zwischengeschoss oder auf der porösen Zementplatte errichtet werden; die Tätigkeiten, die zur Installation des Fundaments abgebaut werden müssen. Die Struktur des Bodens sollte nach dem Schneiden mit einer handgeführten Elektrosäge verstärkt werden und seine Tragfähigkeit sollte nicht geringer sein als die ursprüngliche Tragfähigkeit. Wenn ein unabhängiges Fundament aus einer Stahlrahmenkonstruktion verwendet wird, sollte es aus verzinktem Material oder Edelstahl bestehen und die freiliegende Oberfläche sollte flach und glatt sein.
F. Wenn der Installationsprozess von Produktionsanlagen in einem Reinraum (Bereich) das Öffnen von Löchern in Wandpaneelen, abgehängten Decken und Doppelböden erfordert, dürfen die Bohrarbeiten die Oberflächen der zu öffnenden Wandpaneele und abgehängten Deckenpaneele nicht zerteilen oder verunreinigen beibehalten. Wenn nach der Öffnung des Doppelbodens das Fundament nicht rechtzeitig installiert werden kann, sollten Sicherheitsgeländer und Gefahrenschilder angebracht werden; Nach der Installation der Produktionsausrüstung sollte der Spalt um das Loch abgedichtet werden, die Ausrüstung und die Dichtungskomponenten sollten in flexiblem Kontakt stehen und die Verbindung zwischen der Dichtungskomponente und dem Wandpaneel sollte dicht und fest sein. Die Dichtfläche auf einer Seite des Arbeitsraumes sollte eben und glatt sein.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 16. Januar 2024