Die Installation von Prozessgeräten im Reinraum sollte auf dem Design und der Funktion des Reinraums basieren. Die folgenden Details werden vorgestellt.
1. Methode zur Geräteinstallation: Die ideale Methode besteht darin, den Reinraum während der Geräteinstallationsphase zu schließen und eine Tür vorzusehen, die den Blickwinkel auf die Geräte ermöglicht, oder einen Durchgang freizuhalten, durch den neue Geräte hindurch und in den Reinraum gelangen können, um zu verhindern, dass der Reinraum während der Installationsphase kontaminiert wird. Es sollten Schutzmaßnahmen ergriffen werden, um sicherzustellen, dass der Reinraum weiterhin seinen Sauberkeitsanforderungen und den anschließend erforderlichen Arbeiten entspricht.
2. Können die Arbeiten im Reinraum während der Installationsphase nicht unterbrochen werden oder müssen Strukturen abgebaut werden, muss der laufende Reinraum wirksam vom Arbeitsbereich isoliert werden. Hierzu können temporäre Isolierwände oder Trennwände verwendet werden. Um die Installationsarbeiten nicht zu behindern, muss um die Geräte herum ausreichend Platz vorhanden sein. Sofern die Bedingungen es erlauben, kann der Zugang zum Isolationsbereich über Servicekanäle oder andere unkritische Bereiche erfolgen. Ist dies nicht möglich, müssen Maßnahmen ergriffen werden, um die durch die Installationsarbeiten verursachte Umweltverschmutzung zu minimieren. Im Isolationsbereich muss ein gleichmäßiger Druck oder Unterdruck aufrechterhalten werden. Die Frischluftzufuhr muss in Hochhäusern unterbrochen werden, um einen Überdruck im umgebenden Reinraum zu vermeiden. Ist der Zugang zum Isolationsbereich nur über einen angrenzenden Reinraum möglich, müssen Klebepads verwendet werden, um Schmutz von den Schuhen zu entfernen.
3. Nach Betreten des Höhenbereichs können Einwegstiefel oder Überschuhe sowie einteilige Arbeitskleidung getragen werden, um eine Kontamination des Reinraums zu vermeiden. Diese Einwegartikel sollten vor Verlassen des Quarantänebereichs abgelegt werden. Es sollten Methoden zur Überwachung des Bereichs um den Isolationsbereich während der Geräteinstallation entwickelt und die Überwachungshäufigkeit festgelegt werden, um sicherzustellen, dass jegliche Kontamination, die in den angrenzenden Reinraum gelangen könnte, erkannt wird. Nach der Einrichtung der Isolationsmaßnahmen können verschiedene erforderliche öffentliche Versorgungseinrichtungen wie Strom-, Wasser-, Gas-, Vakuum-, Druckluft- und Abwasserleitungen installiert werden. Dabei ist darauf zu achten, dass der durch den Betrieb entstehende Rauch und Schmutz so weit wie möglich kontrolliert und isoliert wird, um eine unbeabsichtigte Ausbreitung in den umgebenden Reinraum zu verhindern. Vor dem Entfernen der Isolationsbarriere sollte außerdem eine effektive Reinigung durchgeführt werden. Nachdem die öffentlichen Versorgungseinrichtungen die Nutzungsanforderungen erfüllt haben, sollte der gesamte Isolationsbereich gemäß den vorgeschriebenen Reinigungsverfahren gereinigt und dekontaminiert werden. Alle Oberflächen, einschließlich aller Wände, Geräte (fest und beweglich) und Böden, sollten abgesaugt, gewischt und gewischt werden. Besonderes Augenmerk sollte auf die Reinigung der Bereiche hinter Geräteschutzvorrichtungen und unter Geräten gelegt werden.
4. Ein vorläufiger Leistungstest der Geräte kann anhand der tatsächlichen Bedingungen des Reinraums und der installierten Geräte durchgeführt werden. Die anschließende Abnahmeprüfung sollte jedoch erst erfolgen, wenn die Bedingungen der Reinraumumgebung vollständig erfüllt sind. Abhängig von den Bedingungen am Aufstellungsort kann mit dem vorsichtigen Abbau der Trennwand begonnen werden. Falls die Reinluftzufuhr abgeschaltet wurde, muss diese wieder in Betrieb genommen werden. Der Zeitpunkt für diese Arbeitsphase sollte sorgfältig gewählt werden, um Störungen des normalen Betriebs des Reinraums zu minimieren. Zu diesem Zeitpunkt kann es erforderlich sein, zu messen, ob die Konzentration der in der Luft befindlichen Partikel den angegebenen Anforderungen entspricht.
5. Die Reinigung und Vorbereitung des Geräteinneren und der wichtigsten Prozesskammern sollte unter normalen Reinraumbedingungen erfolgen. Alle Innenräume und alle Oberflächen, die mit dem Produkt in Berührung kommen oder am Produkttransport beteiligt sind, müssen bis zur erforderlichen Sauberkeit abgewischt werden. Die Reinigung der Geräte sollte von oben nach unten erfolgen. Bei verteilten Partikeln fallen größere Partikel aufgrund der Schwerkraft auf den Geräteboden oder auf den Boden. Reinigen Sie die Außenflächen der Geräte von oben nach unten. Bei Bedarf sollte eine Oberflächenpartikelerkennung in Bereichen durchgeführt werden, in denen die Produkt- oder Produktionsprozessanforderungen kritisch sind.
6. Angesichts der Eigenschaften von Reinräumen, insbesondere der großen Fläche, der hohen Investitionen, der hohen Leistung und der sehr strengen Sauberkeitsanforderungen von Hightech-Reinräumen, ähnelt die Installation von Produktionsanlagen in diesem Reinraumtyp eher der in gewöhnlichen Reinräumen. Es gibt keine spezifischen Anforderungen. Zu diesem Zweck wurden in der nationalen Norm „Code für den Bau und die Qualitätsabnahme von Reinräumen“ einige Bestimmungen für die Installation von Produktionsanlagen in Reinräumen festgelegt, darunter im Wesentlichen die folgenden.
A. Um eine Kontamination oder gar Beschädigung des Reinraums (Bereichs) zu verhindern, der während des Installationsprozesses der Produktionsausrüstung einer „leeren“ Abnahme unterzogen wurde, darf der Installationsprozess der Ausrüstung keine übermäßigen Vibrationen oder Neigungen aufweisen und darf nicht geteilt werden und die Ausrüstungsoberflächen verunreinigen.
B. Um die Installation der Produktionsausrüstung im Reinraum (Bereich) ordnungsgemäß und ohne oder mit möglichst wenig Sitzen zu ermöglichen und um das Reinraum-Produktionsmanagementsystem im Reinraum einzuhalten, ist sicherzustellen, dass der Installationsprozess der Produktionsausrüstung entsprechend den verschiedenen im „leeren Zustand“ angenommenen „Fertigprodukten“ und „Halbfertigprodukten“ geschützt ist. Die im Installationsprozess zu verwendenden Materialien, Maschinen usw. dürfen keine Schadstoffe ausstoßen oder produzieren (auch nicht im normalen Betrieb des Reinraums über einen längeren Zeitraum), die für die hergestellten Produkte schädlich sind. Es sollten Reinraummaterialien verwendet werden, die staubfrei, rostfrei und fettfrei sind und während des Gebrauchs keinen Staub produzieren.
C. Die Gebäudedekorationsoberfläche des Reinraums (Bereichs) sollte mit Reinraumplatten, Folien und anderen Materialien geschützt werden. Die Geräteträgerplatte sollte gemäß den Konstruktions- oder technischen Gerätedokumentationsanforderungen hergestellt werden. Falls keine Anforderungen bestehen, sollten Edelstahl- oder Kunststoffplatten verwendet werden. Kohlenstoffstahlprofile, die für unabhängige Fundamente und Bodenverstärkungen verwendet werden, sollten mit Korrosionsschutz behandelt werden und die Oberfläche sollte flach und glatt sein. Zum Verstemmen sollten elastische Dichtungsmaterialien verwendet werden.
D. Materialien sollten mit Inhaltsstoffen, Sorten, Herstellungsdatum, Lagerfähigkeitsdauer, Anweisungen zur Bauweise und Produktzertifikaten gekennzeichnet sein. Maschinen und Werkzeuge, die in Reinräumen (-bereichen) verwendet werden, dürfen zur Verwendung nicht in nicht reine Räume (-bereiche) verbracht werden. Maschinen und Werkzeuge dürfen zur Verwendung nicht in Reinräume (-bereiche) verbracht werden. Bei Maschinen und Werkzeugen, die in Reinräumen verwendet werden, muss sichergestellt werden, dass die freiliegenden Teile der Maschine keinen Staub produzieren, oder es müssen Maßnahmen ergriffen werden, um zu verhindern, dass Staub die Umwelt verschmutzt. Häufig verwendete Maschinen und Werkzeuge sollten in einer Schleuse gereinigt werden, bevor sie in Reinräume verbracht werden, und müssen die Anforderungen erfüllen, ölfrei, schmutzfrei, staubfrei und rostfrei zu sein. Sie sollten nach bestandener Inspektion und Anbringen eines „Sauber“- oder „Nur Reinraum“-Schildes verbracht werden.
E. Die Produktionsanlagen im Reinraum (Bereich) müssen auf speziellen Böden, wie z. B. Doppelböden, installiert werden. Das Fundament der Anlagen sollte in der Regel auf dem unteren technischen Zwischengeschoss oder auf einer porösen Zementplatte errichtet werden. Für die Installation des Fundaments müssen die Anlagen demontiert werden. Die Bodenstruktur muss nach dem Zuschneiden mit einer elektrischen Handsäge verstärkt werden, und ihre Tragfähigkeit darf nicht geringer sein als die ursprüngliche Tragfähigkeit. Bei Verwendung eines eigenständigen Fundaments mit Stahlrahmenkonstruktion sollte dieses aus verzinktem Material oder Edelstahl bestehen und die freiliegende Oberfläche sollte eben und glatt sein.
F. Wenn für die Installation von Produktionsanlagen in Reinräumen (Bereichen) Löcher in Wandpaneelen, abgehängten Decken und Doppelböden gebohrt werden müssen, dürfen die Oberflächen der zu sichernden Wand- und Deckenpaneele durch die Bohrarbeiten nicht beschädigt oder verunreinigt werden. Nach dem Bohren des Doppelbodens, wenn das Fundament nicht rechtzeitig installiert werden kann, sind Sicherheitsgeländer und Gefahrenschilder anzubringen. Nach der Installation der Produktionsanlagen ist der Spalt um das Loch abzudichten. Anlage und Dichtungskomponenten müssen flexibel aneinanderliegen, und die Verbindung zwischen Dichtungskomponente und Wandpaneel muss dicht und fest sein. Die Dichtungsfläche auf einer Seite des Arbeitsraums muss eben und glatt sein.
Veröffentlichungszeit: 16. Januar 2024