ISO 14644-5 verlangt, dass die Installation fester Geräte in Reinräumen auf der Gestaltung und Funktion von Reinräumen basieren sollte. Die folgenden Details werden im Folgenden vorgestellt.
1. Methode zur Installation der Ausrüstung: Die ideale Methode besteht darin, den Reinraum während der Installationszeit der Ausrüstung zu schließen und eine Tür zu haben, die dem Blickwinkel der Ausrüstung entspricht, oder einen Kanal auf der Platine zu reservieren, damit neue Ausrüstung sauber passieren und hineingehen kann Um zu verhindern, dass der Reinraum in der Nähe des Installationszeitraums kontaminiert wird, sollten Schutzmaßnahmen ergriffen werden, um sicherzustellen, dass der Reinraum weiterhin seinen Sauberkeitsanforderungen und den erforderlichen Folgearbeiten entspricht.
2. Wenn die Arbeit im Reinraum nicht während jeder Installationsphase unterbrochen werden kann oder wenn Strukturen abgebaut werden müssen, muss der laufende Reinraum wirksam vom Arbeitsbereich isoliert werden: Es können temporäre Isolierwände oder Trennwände verwendet werden. Um die Installationsarbeiten nicht zu behindern, sollte rund um das Gerät ausreichend Platz vorhanden sein. Wenn die Bedingungen es zulassen, kann der Zugang zum Isolierbereich über Versorgungskanäle oder andere unkritische Bereiche erfolgen: Ist dies nicht möglich, müssen Maßnahmen ergriffen werden, um die durch die Installationsarbeiten verursachten Verschmutzungsauswirkungen zu minimieren. Der Isolationsbereich sollte den gleichen Druck oder Unterdruck aufrechterhalten. Im Hochhausbereich sollte die Reinluftzufuhr unterbrochen werden, um einen Überdruck auf die umliegenden Reinräume zu vermeiden. Erfolgt der Zugang zum Isolationsbereich nur über einen angrenzenden Reinraum, sollten Klebepads verwendet werden, um Schmutz von den Schuhen zu entfernen.
3. Nach dem Betreten des Höhenbereichs können Einwegstiefel oder -überschuhe und einteilige Arbeitskleidung getragen werden, um eine Kontamination der sauberen Kleidung zu vermeiden. Diese Einwegartikel sollten vor dem Verlassen des Quarantänebereichs entfernt werden. Es sollten Methoden zur Überwachung des Bereichs um den Isolationsbereich während des Geräteinstallationsprozesses entwickelt und die Häufigkeit der Überwachung festgelegt werden, um sicherzustellen, dass jegliche Kontamination, die in den angrenzenden Reinraum gelangen kann, erkannt wird. Nach der Einrichtung der Isolationsmaßnahmen können verschiedene erforderliche öffentliche Einrichtungen wie Strom-, Wasser-, Gas-, Vakuum-, Druckluft- und Abwasserleitungen eingerichtet werden. Es sollte darauf geachtet werden, den durch den Betrieb entstehenden Rauch und Schmutz so gut wie möglich zu kontrollieren und zu isolieren, um eine unbeabsichtigte Ausbreitung auf den umliegenden Reinraum zu verhindern. Es sollte auch eine wirksame Reinigung vor dem Entfernen der Isolationsbarriere ermöglichen. Nachdem die öffentlichen Einrichtungen die Nutzungsanforderungen erfüllt haben, sollte der gesamte Isolationsbereich gemäß den vorgeschriebenen Reinigungsverfahren gereinigt und dekontaminiert werden. Alle Oberflächen, einschließlich aller Wände, Geräte (fest und beweglich) und Böden, sollten gesaugt, abgewischt und gewischt werden, wobei besonderes Augenmerk auf die Reinigung der Bereiche hinter den Geräteschutzvorrichtungen und unter den Geräten gelegt werden sollte.
4. Ein vorläufiger Test der Geräteleistung kann auf der Grundlage der tatsächlichen Bedingungen des Reinraums und der installierten Geräte durchgeführt werden. Anschließende Abnahmetests sollten jedoch durchgeführt werden, wenn die Bedingungen der sauberen Umgebung vollständig erfüllt sind. Abhängig von den Gegebenheiten am Aufstellort kann mit der vorsichtigen Demontage der Isolierwand begonnen werden; Wenn die Frischluftzufuhr unterbrochen wurde, starten Sie sie erneut. Der Zeitpunkt für diese Arbeitsphase sollte sorgfältig ausgewählt werden, um Störungen der normalen Arbeit im Reinraum so gering wie möglich zu halten. Zu diesem Zeitpunkt muss möglicherweise gemessen werden, ob die Konzentration der in der Luft befindlichen Partikel den festgelegten Anforderungen entspricht.
5. Die Reinigung und Vorbereitung des Inneren der Ausrüstung und der wichtigsten Prozesskammern sollte unter normalen Reinraumbedingungen durchgeführt werden. Alle Innenräume und alle Oberflächen, die mit dem Produkt in Berührung kommen oder am Produkttransport beteiligt sind, müssen auf den erforderlichen Sauberkeitsgrad abgewischt werden. Die Reinigungsreihenfolge der Geräte sollte von oben nach unten erfolgen. Wenn Partikel verteilt werden, fallen größere Partikel aufgrund der Schwerkraft auf den Boden des Geräts oder auf den Boden. Reinigen Sie die Außenfläche des Geräts von oben bis unten. Bei Bedarf sollte die Erkennung von Oberflächenpartikeln in Bereichen durchgeführt werden, in denen die Produkt- oder Produktionsprozessanforderungen kritisch sind.
6. Angesichts der Eigenschaften von Reinräumen, insbesondere der großen Fläche, der hohen Investitionen, der hohen Leistung und der sehr strengen Sauberkeitsanforderungen von High-Tech-Reinräumen, ähnelt die Installation von Produktionsprozessgeräten in dieser Art von Reinräumen eher diesem von gewöhnlichen Reinräumen. Zu diesem Zweck wurden in der 2015 veröffentlichten nationalen Norm „Code for Clean Factory Construction and Quality Acceptance“ einige Bestimmungen für die Installation von Produktionsprozessgeräten in sauberen Fabriken festgelegt, darunter hauptsächlich die folgenden.
①. Um eine Kontamination oder sogar Beschädigung des Reinraums zu verhindern, der während des Installationsprozesses von Produktionsanlagen „leer“ angenommen wurde, darf der Installationsprozess der Anlage keine übermäßigen Vibrationen oder Neigungen aufweisen und darf nicht geteilt werden und die Anlage verunreinigen Oberflächen.
②. Um die Installation der Produktionsprozessausrüstung im Reinraum ordnungsgemäß und ohne oder mit weniger Sitzen zu gestalten und das Managementsystem für saubere Produktion in der Reinraumwerkstatt zu befolgen, stellen Sie sicher, dass der Installationsprozess der Produktionsausrüstung gemäß den verschiedenen „geschützt“ ist. „Fertigprodukte“ und „Halbfertigprodukte“, die im „leeren Zustand“ angenommen werden, Materialien, Maschinen usw., die im Installationsprozess verwendet werden müssen, dürfen nicht emittieren oder dürfen (auch im normalen Betrieb des Reinraums über längere Zeit) produzieren Zeit) Schadstoffe, die schädlich für die hergestellten Produkte sind. Es sollten saubere Materialien verwendet werden, die staubfrei, rostfrei und fettfrei sind und bei der Verwendung keinen Staub erzeugen.
③. Die Gebäudedekorationsoberfläche des Reinraums sollte mit sauberen, staubfreien Platten, Folien und anderen Materialien geschützt werden; Die Trägerplatte des Geräts sollte gemäß den Anforderungen des Designs oder des technischen Dokuments des Geräts hergestellt werden. Wenn keine Anforderungen bestehen, sollten Edelstahlplatten oder Kunststoffplatten verwendet werden. Kohlenstoffstahlprofile, die für unabhängige Fundamente und Bodenverstärkungen verwendet werden, sollten mit einem Korrosionsschutz behandelt werden und die Oberfläche sollte flach und glatt sein; elastische Dichtungsmaterialien zum Abdichten.
④. Materialien sollten mit Inhaltsstoffen, Sorten, Herstellungsdatum, Lagergültigkeitsdauer, Anweisungen zur Bauweise und Produktqualifikationszertifikaten gekennzeichnet sein. Maschinen und Werkzeuge, die in Reinräumen verwendet werden, dürfen nicht zur Verwendung in nichtreine Räume verbracht werden. Maschinen und Werkzeuge dürfen zur Nutzung nicht in den Reinraum gebracht werden. Maschinen und Werkzeuge, die im Reinraum eingesetzt werden, sollten sicherstellen, dass die freiliegenden Teile der Maschine keinen Staub erzeugen, oder Maßnahmen ergreifen, um zu verhindern, dass Staub die Umwelt verschmutzt. Häufig genutzte Maschinen und Werkzeuge sollten in der Schleuse gereinigt werden, bevor sie in den Reinraum verbracht werden. , sollte die Anforderungen erfüllen, ölfrei, schmutzfrei, staubfrei und rostfrei zu sein, und sollte nach bestandener Inspektion und Anbringen eines „Clean“- oder „Clean Area Only“-Schilds bewegt werden.
⑤. Die Produktionsanlagen im Reinraum müssen auf „bestimmten Böden“ wie z. B. Doppelböden installiert werden. Das Gerätefundament sollte im Allgemeinen auf dem unteren technischen Zwischengeschoss oder auf der porösen Zementplatte errichtet werden; die Aktivitäten, die zur Installation des Fundaments abgebaut werden müssen. Die Struktur des Bodens sollte nach dem Schneiden mit einer handgeführten Elektrosäge verstärkt werden und seine Tragfähigkeit sollte nicht geringer sein als die ursprüngliche Tragfähigkeit. Wenn ein unabhängiges Fundament aus einer Stahlrahmenkonstruktion verwendet wird, sollte es aus verzinktem Material oder Edelstahl bestehen und die freiliegende Oberfläche sollte flach und glatt sein.
⑥. Wenn der Installationsprozess von Produktionsanlagen in Reinräumen das Öffnen von Löchern in Wandpaneelen, abgehängten Decken und Doppelböden erfordert, dürfen die Bohrarbeiten die zu erhaltenden Oberflächen von Wandpaneelen und abgehängten Deckenpaneelen nicht zerteilen oder verunreinigen. Wenn nach der Öffnung des Doppelbodens das Fundament nicht rechtzeitig installiert werden kann, sollten Sicherheitsgeländer und Gefahrenschilder angebracht werden; Nach der Installation der Produktionsausrüstung sollte der Spalt um das Loch abgedichtet werden, die Ausrüstung und die Dichtungskomponenten sollten in flexiblem Kontakt stehen und die Verbindung zwischen der Dichtungskomponente und der Wandplatte sollte dicht und fest sein. Die Dichtfläche auf einer Seite des Arbeitsraumes sollte eben und glatt sein.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 06.09.2023