Gemäß ISO 14644-5 muss die Installation von fest installierten Geräten in Reinräumen auf deren Design und Funktion basieren. Die folgenden Details werden im Folgenden erläutert.
1. Methode zur Geräteinstallation: Die ideale Methode besteht darin, den Reinraum während der Geräteinstallationsphase zu schließen und eine Tür vorzusehen, die dem Blickwinkel der Geräte entspricht, oder einen Kanal auf der Platine freizuhalten, durch den neue Geräte hindurch und in den Reinraum gelangen können, um zu verhindern, dass der Reinraum während der Installationsphase kontaminiert wird. Es sollten Schutzmaßnahmen ergriffen werden, um sicherzustellen, dass der Reinraum weiterhin seinen Sauberkeitsanforderungen und den anschließend erforderlichen Arbeiten entspricht.
2. Können die Arbeiten im Reinraum während der Installationsphase nicht unterbrochen werden oder müssen Strukturen abgebaut werden, muss der laufende Reinraum effektiv vom Arbeitsbereich isoliert werden. Hierzu können temporäre Trennwände oder Abtrennungen verwendet werden. Um die Installationsarbeiten nicht zu behindern, sollte um die Geräte herum ausreichend Platz vorhanden sein. Sofern die Bedingungen es erlauben, kann der Zugang zum Isolationsbereich über Servicekanäle oder andere unkritische Bereiche erfolgen. Ist dies nicht möglich, müssen Maßnahmen ergriffen werden, um die durch die Installationsarbeiten verursachte Umweltverschmutzung zu minimieren. Im Isolationsbereich muss ein gleichmäßiger Druck oder Unterdruck herrschen. Die Frischluftzufuhr sollte in Hochhäusern unterbrochen werden, um einen Überdruck in den umliegenden Reinräumen zu vermeiden. Ist der Zugang zum Isolationsbereich nur über einen angrenzenden Reinraum möglich, sollten Klebepads verwendet werden, um Schmutz von den Schuhen zu entfernen.
3. Nach Betreten des Höhenbereichs können Einwegstiefel oder Überschuhe sowie einteilige Arbeitskleidung getragen werden, um eine Kontamination der sauberen Kleidung zu vermeiden. Diese Einwegartikel sollten vor dem Verlassen des Quarantänebereichs abgelegt werden. Es sollten Methoden zur Überwachung des Bereichs um den Isolationsbereich während der Geräteinstallation entwickelt und die Überwachungshäufigkeit festgelegt werden, um sicherzustellen, dass jegliche Kontamination, die in den angrenzenden Reinraum gelangen könnte, erkannt wird. Nach der Einrichtung der Isolationsmaßnahmen können verschiedene erforderliche öffentliche Versorgungseinrichtungen wie Strom-, Wasser-, Gas-, Vakuum-, Druckluft- und Abwasserleitungen installiert werden. Es ist darauf zu achten, den durch den Betrieb entstehenden Rauch und Schmutz so weit wie möglich zu kontrollieren und zu isolieren, um eine unbeabsichtigte Ausbreitung in den umgebenden Reinraum zu vermeiden. Außerdem sollte eine effektive Reinigung vor dem Entfernen der Isolationsbarriere gewährleistet sein. Sobald die öffentlichen Versorgungseinrichtungen die Nutzungsanforderungen erfüllen, sollte der gesamte Isolationsbereich gemäß den vorgeschriebenen Reinigungsverfahren gereinigt und dekontaminiert werden. Alle Oberflächen, einschließlich aller Wände, Geräte (fest und beweglich) und Böden, sollten gesaugt, abgewischt und gewischt werden, wobei der Reinigung der Bereiche hinter Geräteschutzvorrichtungen und unter Geräten besondere Aufmerksamkeit gewidmet werden sollte.
4. Ein vorläufiger Leistungstest der Geräte kann anhand der tatsächlichen Bedingungen des Reinraums und der installierten Geräte durchgeführt werden. Die anschließende Abnahmeprüfung sollte jedoch erst erfolgen, wenn die Bedingungen der Reinraumumgebung vollständig erfüllt sind. Abhängig von den Bedingungen am Aufstellungsort kann mit dem vorsichtigen Abbau der Trennwand begonnen werden. Falls die Reinluftzufuhr abgeschaltet wurde, muss sie wieder in Betrieb genommen werden. Der Zeitpunkt für diesen Arbeitsschritt sollte sorgfältig gewählt werden, um Störungen des normalen Betriebs des Reinraums zu minimieren. Zu diesem Zeitpunkt kann es erforderlich sein, zu messen, ob die Konzentration der in der Luft befindlichen Partikel den angegebenen Anforderungen entspricht.
5. Die Reinigung und Vorbereitung des Geräteinneren und der wichtigsten Prozesskammern sollte unter normalen Reinraumbedingungen erfolgen. Alle Innenräume und alle Oberflächen, die mit dem Produkt in Berührung kommen oder am Produkttransport beteiligt sind, müssen bis zur erforderlichen Sauberkeit abgewischt werden. Die Reinigung der Geräte sollte von oben nach unten erfolgen. Bei verteilten Partikeln fallen größere Partikel aufgrund der Schwerkraft auf den Geräteboden oder auf den Boden. Reinigen Sie die Außenflächen der Geräte von oben nach unten. Bei Bedarf sollte eine Oberflächenpartikelerkennung in Bereichen durchgeführt werden, in denen die Produkt- oder Produktionsprozessanforderungen kritisch sind.
6. Angesichts der Eigenschaften von Reinräumen, insbesondere der großen Fläche, der hohen Investitionen, der hohen Leistung und der sehr strengen Sauberkeitsanforderungen von Hightech-Reinräumen, ähnelt die Installation von Produktionsprozessausrüstung in dieser Art von Reinfabriken eher der von gewöhnlichen Reinräumen. Zu diesem Zweck wurden im 2015 veröffentlichten nationalen Standard „Code for Clean Factory Construction and Quality Acceptance“ einige Bestimmungen für die Installation von Produktionsprozessausrüstungen in Reinfabriken festgelegt, darunter hauptsächlich die folgenden.
①. Um eine Kontamination oder gar Beschädigung des Reinraums zu verhindern, der während der Installation der Produktionsausrüstung einer „leeren“ Abnahme unterzogen wurde, darf es während der Installation der Ausrüstung nicht zu übermäßigen Vibrationen oder Neigungen kommen und die Ausrüstungsoberflächen dürfen nicht geteilt werden und verunreinigen.
2. Um die Installation der Produktionsausrüstung im Reinraum ordnungsgemäß und ohne oder mit möglichst wenig Sitzen zu ermöglichen und das Managementsystem für saubere Produktion in einer Reinraumwerkstatt einzuhalten, muss sichergestellt werden, dass der Installationsprozess der Produktionsausrüstung entsprechend den verschiedenen „Fertigprodukten“ und „Halbfertigprodukten“, die im „leeren Zustand“ angenommen werden, geschützt ist. Die im Installationsprozess zu verwendenden Materialien, Maschinen usw. dürfen keine Schadstoffe abgeben oder produzieren (auch nicht im normalen Betrieb des Reinraums über einen längeren Zeitraum), die für die hergestellten Produkte schädlich sind. Es sollten saubere Materialien verwendet werden, die staubfrei, rostfrei und fettfrei sind und bei der Verwendung keinen Staub erzeugen.
③. Die Gebäudedekorationsoberfläche des Reinraums sollte mit sauberen, staubfreien Platten, Folien und anderen Materialien geschützt werden. Die Geräteträgerplatte sollte gemäß den Konstruktions- oder technischen Gerätedokumentationsanforderungen hergestellt werden. Falls keine Anforderungen bestehen, sollten Edelstahlplatten oder Kunststoffplatten verwendet werden. Kohlenstoffstahlprofile, die für unabhängige Fundamente und Bodenverstärkungen verwendet werden, sollten mit Korrosionsschutz behandelt werden und die Oberfläche sollte flach und glatt sein. Zum Verstemmen werden elastische Dichtungsmaterialien verwendet.
④. Materialien sollten mit Zutaten, Sorten, Herstellungsdatum, Haltbarkeitsdauer, Anweisungen zur Bauweise und Produktqualifizierungszertifikaten gekennzeichnet sein. In Reinräumen verwendete Maschinen und Werkzeuge dürfen nicht zur Verwendung in nicht reine Räume verbracht werden. Maschinen und Werkzeuge dürfen nicht zur Verwendung in Reinräume verbracht werden. Bei in Reinräumen verwendeten Maschinen und Werkzeugen muss sichergestellt werden, dass die freiliegenden Teile der Maschine keinen Staub produzieren, oder es müssen Maßnahmen ergriffen werden, um zu verhindern, dass Staub die Umwelt verschmutzt. Häufig verwendete Maschinen und Werkzeuge müssen in der Luftschleuse gereinigt werden, bevor sie in den Reinraum verbracht werden. Sie müssen die Anforderungen erfüllen, ölfrei, schmutzfrei, staubfrei und rostfrei zu sein, und nach bestandener Inspektion und Anbringen eines „Sauber“- oder „Nur Reinraum“-Schildes verbracht werden.
⑤. Die Produktionsanlagen im Reinraum müssen auf speziellen Böden, wie beispielsweise Doppelböden, installiert werden. Das Fundament der Anlagen sollte in der Regel auf dem unteren technischen Zwischengeschoss oder auf einer porösen Zementplatte errichtet werden. Die für die Fundamentinstallation erforderlichen Arbeiten müssen demontiert werden. Die Bodenstruktur muss nach dem Zuschneiden mit einer Handkreissäge verstärkt werden, und ihre Tragfähigkeit darf nicht geringer sein als die ursprüngliche Tragfähigkeit. Bei Verwendung eines eigenständigen Fundaments mit Stahlrahmenkonstruktion sollte dieses aus verzinktem Material oder Edelstahl bestehen und die freiliegende Oberfläche sollte eben und glatt sein.
⑥. Wenn für die Installation von Produktionsanlagen in Reinräumen Löcher in Wandpaneelen, abgehängten Decken und Doppelböden gebohrt werden müssen, dürfen die zu sichernden Oberflächen der Wand- und Deckenpaneele durch die Bohrarbeiten nicht beschädigt oder verunreinigt werden. Nach dem Öffnen des Doppelbodens, wenn das Fundament nicht rechtzeitig installiert werden kann, sind Sicherheitsgeländer und Gefahrenschilder anzubringen. Nach der Installation der Produktionsanlagen ist der Spalt um die Löcher abzudichten. Anlage und Dichtungskomponenten müssen flexibel aneinanderliegen, und die Verbindung zwischen Dichtungskomponenten und Wandplatten muss dicht und fest sein. Die Dichtfläche auf einer Seite des Arbeitsraums muss eben und glatt sein.
Beitragszeit: 06.09.2023