ISO 14644-5 schreibt vor, dass die Installation fest installierter Anlagen in Reinräumen auf deren Konstruktion und Funktion abgestimmt sein muss. Im Folgenden werden die Details erläutert.
1. Methode zur Geräteinstallation: Die ideale Methode besteht darin, den Reinraum während der Geräteinstallation zu schließen und eine Tür vorzusehen, die den Sichtwinkel auf das Gerät ermöglicht, oder einen Kanal in der Wand vorzusehen, durch den neue Geräte in den Reinraum gelangen können, um eine Kontamination des Reinraums während der Installationsphase zu verhindern. Es sollten Schutzmaßnahmen getroffen werden, um sicherzustellen, dass der Reinraum weiterhin seine Reinheitsanforderungen erfüllt und die nachfolgenden Arbeiten durchgeführt werden können.
2. Lässt sich der Reinraumbetrieb während der einzelnen Installationsphasen nicht unterbrechen oder müssen Bauteile demontiert werden, muss der laufende Reinraum wirksam vom Arbeitsbereich abgetrennt werden. Hierfür eignen sich temporäre Trennwände oder -wände. Um die Installationsarbeiten nicht zu behindern, muss ausreichend Platz um die Anlagen herum vorhanden sein. Sofern möglich, kann der Zugang zum Isolationsbereich über Wartungskanäle oder andere unkritische Bereiche erfolgen. Ist dies nicht möglich, sind Maßnahmen zu ergreifen, um die durch die Installationsarbeiten verursachte Verschmutzung zu minimieren. Im Isolationsbereich muss ein ausgeglichener oder Unterdruck herrschen. Die Reinluftzufuhr im Hochhausbereich ist zu unterbrechen, um einen Überdruck in den angrenzenden Reinräumen zu vermeiden. Ist der Zugang zum Isolationsbereich nur über einen benachbarten Reinraum möglich, sind Schmutzfangmatten an den Schuhen zu verwenden.
3. Nach Betreten des Höhenbereichs können Einwegstiefel oder -überschuhe und einteilige Arbeitskleidung verwendet werden, um eine Kontamination der Reinkleidung zu vermeiden. Diese Einwegartikel sind vor Verlassen des Quarantänebereichs abzulegen. Es sind Methoden zur Überwachung des Bereichs um den Isolationsbereich während der Geräteinstallation zu entwickeln und die Überwachungshäufigkeit festzulegen, um jegliche Kontamination, die in den angrenzenden Reinraum gelangen könnte, zu erkennen. Nach Einrichtung der Isolationsmaßnahmen können die erforderlichen Versorgungsleitungen (Strom, Wasser, Gas, Vakuum, Druckluft und Abwasser) installiert werden. Rauch und Staub, die bei den Arbeiten entstehen, sind so weit wie möglich zu kontrollieren und abzufangen, um eine unbeabsichtigte Ausbreitung in den angrenzenden Reinraum zu verhindern. Dies erleichtert zudem eine gründliche Reinigung vor dem Entfernen der Isolationsbarriere. Sobald die Versorgungsleitungen den Nutzungsanforderungen entsprechen, ist der gesamte Isolationsbereich gemäß den vorgeschriebenen Reinigungsverfahren zu reinigen und zu dekontaminieren. Alle Oberflächen, einschließlich aller Wände, Geräte (fest installiert und beweglich) und Böden, sollten gesaugt, abgewischt und gewischt werden, wobei besonderes Augenmerk auf die Reinigung der Bereiche hinter den Geräteschutzvorrichtungen und unter den Geräten gelegt werden sollte.
4. Ein erster Funktionstest der Geräte kann unter den gegebenen Bedingungen des Reinraums und der installierten Geräte durchgeführt werden. Die anschließende Abnahmeprüfung sollte jedoch erfolgen, sobald die Reinraumbedingungen vollständig erfüllt sind. Je nach den Gegebenheiten am Installationsort kann mit dem vorsichtigen Abbau der Trennwand begonnen werden. Falls die Reinluftzufuhr unterbrochen war, muss sie wieder in Betrieb genommen werden. Der Zeitpunkt für diese Arbeitsschritte sollte sorgfältig gewählt werden, um den laufenden Betrieb des Reinraums so wenig wie möglich zu beeinträchtigen. Gegebenenfalls muss in diesem Zuge gemessen werden, ob die Konzentration der luftgetragenen Partikel den vorgegebenen Anforderungen entspricht.
5. Die Reinigung und Vorbereitung des Geräteinnenraums und der wichtigsten Prozesskammern erfolgt unter normalen Reinraumbedingungen. Alle Innenkammern und alle Oberflächen, die mit dem Produkt in Berührung kommen oder am Produkttransport beteiligt sind, müssen bis zum erforderlichen Reinheitsgrad abgewischt werden. Die Reinigung des Geräts erfolgt von oben nach unten. Größere Partikel fallen aufgrund der Schwerkraft zu Boden. Reinigen Sie die Außenfläche des Geräts ebenfalls von oben nach unten. Bei Bedarf ist in Bereichen, in denen die Produkt- oder Produktionsprozessanforderungen kritisch sind, eine Oberflächenpartikelprüfung durchzuführen.
6. Angesichts der Eigenschaften von Reinräumen, insbesondere der großen Fläche, der hohen Investitionskosten, der hohen Produktionsleistung und der sehr strengen Reinheitsanforderungen von Hightech-Reinräumen, ähnelt die Installation von Produktionsanlagen in dieser Art von Reinraumfabrik eher derjenigen in herkömmlichen Reinräumen. Aus diesem Grund enthält die 2015 veröffentlichte nationale Norm „Richtlinien für den Bau und die Qualitätsabnahme von Reinraumfabriken“ einige Bestimmungen für die Installation von Produktionsanlagen in Reinraumfabriken, die im Wesentlichen Folgendes umfassen.
① Um eine Kontamination oder gar Beschädigung des Reinraums, der während der Installation der Produktionsanlagen einer „leeren“ Abnahme unterzogen wurde, zu vermeiden, darf der Installationsprozess der Anlagen keine übermäßigen Vibrationen oder Neigungen aufweisen und die Anlagenoberflächen dürfen nicht beschädigt oder verunreinigt werden.
②. Um die Installation der Produktionsanlagen im Reinraum geordnet und möglichst störungsfrei zu gestalten und das Reinraummanagementsystem einzuhalten, ist sicherzustellen, dass der Installationsprozess der Produktionsanlagen gemäß den verschiedenen im Rohzustand akzeptierten Fertig- und Halbfertigprodukten geschützt ist. Die im Installationsprozess verwendeten Materialien, Maschinen usw. dürfen keine Schadstoffe abgeben oder erzeugen (auch nicht im normalen, langfristigen Betrieb des Reinraums), die die hergestellten Produkte schädigen könnten. Es sind staub-, rost- und fettfreie Materialien zu verwenden, die bei der Verwendung keinen Staub erzeugen.
③. Die Oberflächen der Reinraumkonstruktion sind mit sauberen, staubfreien Platten, Folien oder anderen Materialien zu schützen. Die Rückwand der Geräte ist gemäß den Vorgaben der Konstruktions- oder Gerätedokumentation zu fertigen. Fehlen diese Vorgaben, sind Edelstahl- oder Kunststoffplatten zu verwenden. Kohlenstoffstahlprofile für freistehende Fundamente und Bodenverstärkungen sind korrosionsbeständig zu behandeln und weisen eine ebene und glatte Oberfläche auf. Zum Abdichten sind elastische Dichtungsmassen zu verwenden.
④. Materialien müssen mit Inhaltsstoffen, Sorten, Herstellungsdatum, Haltbarkeitsdatum, Montageanleitung und Produktzertifikaten gekennzeichnet sein. Maschinen und Werkzeuge aus Reinräumen dürfen nicht in Nicht-Reinräumen verwendet werden. Ebenso dürfen sie nicht in Reinräumen verwendet werden. Bei Maschinen und Werkzeugen im Reinraum muss sichergestellt sein, dass die freiliegenden Teile keinen Staub erzeugen oder dass keine Staubbelastung der Umgebung entsteht. Häufig verwendete Maschinen und Werkzeuge müssen vor dem Transport in den Reinraum in der Schleuse gereinigt werden. Sie müssen öl-, schmutz-, staub- und rostfrei sein und dürfen erst nach bestandener Prüfung und Anbringung eines „Rein“- oder „Nur Reinraum“-Schildes transportiert werden.
⑤. Die Anlagen für den Produktionsprozess im Reinraum müssen auf speziellen Böden, wie z. B. Doppelböden, installiert werden. Das Fundament der Anlagen sollte in der Regel auf dem unteren technischen Zwischengeschoss oder auf einer porösen Zementplatte errichtet werden. Die für die Fundamentinstallation erforderlichen Demontagearbeiten am Boden müssen durchgeführt werden. Die Bodenkonstruktion muss nach dem Zuschnitt mit einer handgeführten Elektrosäge verstärkt werden, und ihre Tragfähigkeit darf die ursprüngliche Tragfähigkeit nicht unterschreiten. Bei Verwendung eines freistehenden Stahlrahmenfundaments muss dieses aus verzinktem Stahl oder Edelstahl bestehen, und die Oberfläche muss eben und glatt sein.
⑥. Wenn für die Installation von Produktionsanlagen im Reinraum Bohrungen in Wandpaneelen, abgehängten Decken und Doppelböden erforderlich sind, dürfen die Oberflächen der zu erhaltenden Wand- und Deckenpaneele durch die Bohrarbeiten weder beschädigt noch verunreinigt werden. Kann nach dem Öffnen des Doppelbodens das Fundament nicht rechtzeitig installiert werden, sind Sicherheitsgeländer und Warnschilder anzubringen. Nach der Installation der Produktionsanlagen ist der Spalt um die Bohrung abzudichten. Anlage und Dichtungselemente müssen flexibel aneinanderliegen, die Verbindung zwischen Dichtungselement und Wandplatte muss dicht und fest sein. Die Dichtungsfläche an einer Seite des Arbeitsbereichs muss eben und glatt sein.
Veröffentlichungsdatum: 06.09.2023