IS0 14644-5 erfordert, dass die Installation fester Geräte in sauberen Räumen auf dem Design und der Funktion des sauberen Raums basieren sollte. Die folgenden Details werden unten vorgestellt.
1. Installationsmethode für Geräte: Die ideale Methode besteht darin, den sauberen Raum während der Installationszeit des Geräts zu schließen und eine Tür zu haben, die den Betrachtungswinkel des Geräts erfüllen oder einen Kanal auf der Tafel reservieren kann, damit neue Geräte durchlaufen und sauber eintreten können Raum Um zu verhindern, dass sauberer Raum in der Nähe der Installationszeit verseuchst, sollten Schutzmaßnahmen ergriffen werden, um sicherzustellen, dass der saubere Raum immer noch seine Sauberkeitsanforderungen und die nachfolgenden Arbeiten erfüllt.
2. Wenn die Arbeiten im sauberen Raum während jeder Installationszeit nicht angehalten werden können oder Strukturen abgebaut werden müssen, muss der laufende saubere Raum aus dem Arbeitsbereich effektiv isoliert werden: Temporäre Isolationswände oder Partitionen können verwendet werden. Um die Installationsarbeiten nicht zu behindern, sollte es genügend Platz rund um die Geräte geben. Wenn die Bedingungen dies zulassen, kann der Zugang zum Isolationsbereich über Servicekanäle oder andere nicht kritische Bereiche erfolgen: Wenn dies nicht möglich ist, sollten Maßnahmen ergriffen werden, um die durch die Installationsarbeiten verursachten Umweltverschmutzungsauswirkungen zu minimieren. Die Isolationsfläche sollte den gleichen Druck oder den gleichen Unterdruck aufrechterhalten. Die saubere Luftversorgung sollte im Hochhaus abgeschnitten werden, um einen positiven Druck auf die umliegenden sauberen Räume zu vermeiden. Wenn der Zugang zum Isolationsbereich nur durch einen angrenzenden sauberen Raum erfolgt, sollten Klebrichter verwendet werden, um Schmutz aus Schuhen zu entfernen.
3. Nach dem Eintritt in den Bereich in großer Höhe können Einwegstiefel oder Überschüsse und einteilige Arbeitskleidung verwendet werden, um die sauberen Kleidung zu vermeiden. Diese Einwegartikel sollten vor dem Verlassen des Quarantänebereichs entfernt werden. Methoden zur Überwachung des Bereichs rund um den Isolationsbereich während des Installationsprozesses der Geräte sollten entwickelt werden, und die Überwachungshäufigkeit sollte festgestellt werden, dass eine Verunreinigung, die in den angrenzenden sauberen Raum eindringen kann, erkannt wird. Nachdem die Isolationsmaßnahmen eingerichtet wurden, können verschiedene erforderliche öffentliche Einrichtungen wie Strom, Wasser, Gas, Vakuum, Druckluft und Abwasserleitungen eingerichtet werden. Die Kontrolle und Isolierung der Rauch- und Trümmer, die durch den Betrieb so weit wie möglich erzeugt werden, sollte aufmerksam gemacht werden, um die versehentlichen Ausbreitung auf den umgebenden sauberen Raum zu vermeiden. Es sollte auch eine effektive Reinigung erleichtern, bevor die Isolationsbarriere entfernt wird. Nachdem die Einrichtungen der öffentlichen Dienstleistungen den Nutzungsanforderungen erfüllt haben, sollte der gesamte Isolationsbereich gemäß den vorgeschriebenen Reinigungsverfahren gereinigt und dekontaminiert werden. Alle Oberflächen, einschließlich aller Wände, Geräte (fest und beweglich) und Böden, sollten gereinigt, abgewischt und mopiert werden, wobei besondere Aufmerksamkeit auf die Reinigungsbereiche hinter Ausrüstungswächtern und unter Ausrüstung gelegt wird.
4. Eine vorläufige Prüfung der Ausrüstungsleistung kann basierend auf den tatsächlichen Bedingungen des sauberen Raums und der installierten Geräte durchgeführt werden. Anschließende Akzeptanztests sollten jedoch durchgeführt werden, wenn die sauberen Umgebungsbedingungen vollständig erfüllt sind. Abhängig von den Bedingungen an der Installationsstelle können Sie die Isolationswand sorgfältig abbauen. Wenn die saubere Luftversorgung ausgeschaltet wurde, starten Sie sie neu; Die Zeit für diese Arbeitsphase sollte sorgfältig ausgewählt werden, um die Störung der normalen Arbeit des sauberen Raums zu minimieren. Zu diesem Zeitpunkt kann es erforderlich sein, zu messen, ob die Konzentration der in der Luft befindlichen Partikel den angegebenen Anforderungen entspricht.
5. Die Reinigung und Zubereitung des Innenraums der Geräte und der wichtigsten Prozesskammern sollte unter normalen sauberen Raumbedingungen durchgeführt werden. Alle internen Kammern und alle Oberflächen, die mit dem Produkt in Kontakt kommen oder am Produkttransport beteiligt sind, müssen auf das erforderliche Sauberkeitsniveau abgewischt werden. Die Reinigungssequenz der Ausrüstung sollte von oben nach unten sein. Wenn sich die Partikel ausbreiten, fallen größere Partikel aufgrund der Schwerkraft auf den Boden der Ausrüstung oder auf den Boden. Reinigen Sie die äußere Oberfläche der Geräte von oben nach unten. Bei Bedarf sollte die Erkennung von Oberflächenpartikeln in Bereichen durchgeführt werden, in denen die Anforderungen des Produkt- oder Produktionsprozesses von entscheidender Bedeutung sind.
6. Angesichts der Merkmale von sauberen Räumen, insbesondere der großen Fläche, hohen Investitionen, hohen Produktion und sehr strengen Sauberkeitsanforderungen an High-Tech-saubere Räume, ist die Installation von Produktionsprozessgeräten in dieser Art von sauberer Fabrik ähnlicher wie die der Art von sauberem Fabrik. von gewöhnlichen sauberen Räumen. Zu diesem Zweck hat der 2015 veröffentlichte nationale Standard "Code for Clean Factory Construction and Quality Acceptance" einige Bestimmungen für die Installation von Produktionsprozessgeräten in sauberen Fabriken vorgenommen, hauptsächlich einschließlich der folgenden.
①. Um eine Kontamination oder sogar Schäden am sauberen Raum zu verhindern, der während des Installationsprozesses der Produktionsprozessausrüstung eine "leere" Akzeptanz unterzogen hat, darf der Installationsprozess des Geräts keine übermäßige Vibration oder Neigung haben und nicht geteilt und kontaminierte Geräte Oberflächen.
②. Um die Installation von Produktionsprozessgeräten im Clean Room ordentlich und ohne oder mit weniger sitzend zu gestalten und das Clean Production Management -System in Clean Workshop zu befolgen, stellen Sie sicher, dass der Installationsprozess der Produktionsausrüstung nach den verschiedenen geschützt ist. " Fertige Produkte "und" halbfeindliche Produkte ", die in" leerem Zustand "akzeptiert werden, Materialien, Maschinen usw., die im Installationsprozess verwendet werden müssen Zeit) Schadstoffe, die sind schädlich für die produzierten Produkte. Saubere Materialien, die staubfrei, rostfrei, fettfrei und während der Verwendung keinen Staub erzeugen, sollten verwendet werden.
③. Die Gebäudedekorationsfläche des sauberen Raums sollte mit sauberen, staubfreien Platten, Filmen und anderen Materialien geschützt werden. Die Ausrüstungsunterbrechung sollte gemäß den Anforderungen an die technischen Dokumente aus dem Design oder den technischen Dokumenten ausgerichtet werden. Wenn es keine Anforderungen gibt, sollten Edelstahlplatten oder Plastikplatten verwendet werden. Kohlenstoffstahlprofile, die für unabhängige Fundamente und Bodenverstärkungen verwendet werden, sollten mit Antikorrosion behandelt werden, und die Oberfläche sollte flach und glatt sein. Elastische Versiegelungsmaterialien zum Abdichten.
④. Die Materialien sollten mit Zutaten, Sorten, Herstellungsdatum, Speichergültigkeitsdauer, Baumethodenanweisungen und Produktqualifizierungszertifikaten gekennzeichnet sein. Maschinen und Werkzeuge, die in sauberen Räumen verwendet werden, dürfen nicht zur Verwendung in Nicht-Clean-Räume verlegt werden. Maschinen und Werkzeuge dürfen nicht in den sauberen Raum zur Verwendung verlegt werden. Maschinen und Werkzeuge, die im sauberen Bereich verwendet werden, sollten sicherstellen, dass die freiliegenden Teile der Maschine keinen Staub erzeugen oder Maßnahmen ergreifen, um zu verhindern, dass Staub die Umwelt verschmutzt. Normal verwendete Maschinen und Werkzeuge sollten in der Luftschleuse gereinigt werden, bevor sie in den sauberen Bereich verlegt werden. , sollte den Anforderungen des ölfreien, schmutzfreien, staubfreien und rostfreien und nach dem Bestehen der Inspektion und dem Anteil eines "sauberen" oder "sauberen Bereichs" -Schild erfüllen.
⑤. Die Produktionsprozessgeräte im Reinraum müssen auf "spezifischen Böden" wie angehobenen Böden installiert werden. Die Ausrüstungsfundament sollte in der Regel auf den unteren technischen Mezzaninboden oder auf der porösen Zementplatte eingestellt werden. Die Aktivitäten, die abgebaut werden müssen, um das Fundament der Struktur des Bodens nach einer Hand mit einer handgehaltenen elektrischen Säge zu installieren, sollten verstärkt werden, und die tragende Kapazität sollte nicht niedriger sein als die ursprüngliche Tragfähigkeit. Wenn eine unabhängige Grundlage einer Stahlrahmenkonstruktion verwendet wird, sollte sie aus verzinktem Material oder Edelstahl bestehen, und die freiliegende Oberfläche sollte flach und glatt sein.
⑥. Wenn der Installationsprozess des Produktionsprozesses in sauberem Raum Löcher in Wandpaneele, aufgehängten Decken und erhöhten Böden erfordert, dürfen die Bohrvorgänge die Oberflächen von Wandpaneele und aufgehängten Deckenplatten, die zurückgehalten werden müssen, nicht dividieren oder kontaminieren. Nach der Eröffnung des erhöhten Bodens, wenn das Fundament nicht rechtzeitig installiert werden kann, sollten Sicherheitsleitungen und Gefahrenschilder installiert werden. Nach der Installation der Produktionsausrüstung sollte die Lücke um das Loch versiegelt und die Geräte- und Dichtungskomponenten flexibler Kontakt haben, und die Verbindung zwischen der Dichtungskomponente und der Wandplatte sollte dicht und fest sein. Die Dichtfläche auf einer Seite des Arbeitszimmers sollte flach und glatt sein.
Postzeit: Sep-06-2023