1. Relevante Richtlinien und Vorgaben für die Reinraumplanung
Die Planung von Reinräumen muss den geltenden nationalen Richtlinien und Vorgaben entsprechen und Anforderungen wie technologischen Fortschritt, Wirtschaftlichkeit, Sicherheit, Anwendung, Qualitätssicherung, Ressourcenschonung und Umweltschutz erfüllen. Sie muss die notwendigen Voraussetzungen für Bau, Installation, Prüfung, Instandhaltung und sicheren Betrieb schaffen und den einschlägigen Anforderungen der aktuellen nationalen Normen und Spezifikationen genügen.
2. Gesamtkonzept für Reinräume
(1) Der Standort des Reinraums sollte nach Bedarf, Wirtschaftlichkeit usw. festgelegt werden. Er sollte sich in einem Gebiet mit geringerer atmosphärischer Staubkonzentration und besserer natürlicher Umgebung befinden; er sollte weit entfernt von Eisenbahnstrecken, Häfen, Flughäfen, Verkehrsadern und Gebieten mit starker Luftverschmutzung, Vibrationen oder Lärmbelästigung liegen, wie z. B. Fabriken und Lagerhallen, die große Mengen an Staub und Schadgasen emittieren. Er sollte in Bereichen der Fabrik liegen, in denen die Umgebung sauber ist und in denen der Personen- und Warenverkehr sich nicht oder nur selten kreuzt (spezielle Referenz: Reinraum-Designplan).
(2) Befindet sich auf der windzugewandten Seite des Reinraums ein Schornstein mit der höchsten Windfrequenz, so muss der horizontale Abstand zwischen Reinraum und Schornstein mindestens das Zwölffache der Schornsteinhöhe betragen, und der Abstand zwischen Reinraum und Hauptverkehrsstraße muss mindestens 50 Meter betragen.
(3) Die Umgebung des Reinraumgebäudes sollte begrünt werden. Es können Rasenflächen angelegt und Bäume gepflanzt werden, die die Staubkonzentration in der Luft nicht negativ beeinflussen. Dadurch kann eine Grünfläche entstehen. Die Brandbekämpfung darf jedoch nicht behindert werden.
3. Der Geräuschpegel im Reinraum muss folgende Anforderungen erfüllen:
(1) Bei dynamischen Prüfungen darf der Geräuschpegel in der Reinraumwerkstatt 65 dB(A) nicht überschreiten.
(2) Während der Luftzustandsprüfung darf der Geräuschpegel im Reinraum mit turbulenter Strömung 58 dB(A) nicht überschreiten, und der Geräuschpegel im Reinraum mit laminarer Strömung darf 60 dB(A) nicht überschreiten.
(3.) Die horizontale und die Querschnittsanordnung des Reinraums müssen den Anforderungen an die Schalldämmung entsprechen. Die Gehäusekonstruktion muss eine gute Schalldämmung aufweisen, wobei die Schalldämmung der einzelnen Bauteile vergleichbar sein sollte. Für die verschiedenen Geräte im Reinraum sind geräuscharme Produkte zu verwenden. Für Geräte, deren abgestrahlter Schall den zulässigen Grenzwert für einen Reinraum überschreitet, sind spezielle Schallschutzeinrichtungen (z. B. Schalldämmräume, Schalldämmabdeckungen usw.) zu installieren.
(4) Überschreitet der Geräuschpegel der Reinraum-Klimaanlage den zulässigen Wert, sind Maßnahmen wie Schalldämmung, Geräuschunterdrückung und Schwingungsdämpfung zu ergreifen. Neben der Unfallabsaugung ist die Abluftanlage im Reinraum auf Geräuschreduzierung ausgelegt. Bei der Lärmschutzplanung des Reinraums sind die Anforderungen an die Luftreinheit der Produktionsumgebung zu berücksichtigen; die Reinheitsbedingungen des Reinraums dürfen durch den Lärmschutz nicht beeinträchtigt werden.
4. Vibrationskontrolle im Reinraum
(1) Für Geräte (einschließlich Wasserpumpen usw.), die starken Vibrationen im Reinraum und in den angrenzenden Hilfsstationen sowie in den zum Reinraum führenden Rohrleitungen ausgesetzt sind, sollten aktive Schwingungsisolierungsmaßnahmen getroffen werden.
(2) Verschiedene Vibrationsquellen innerhalb und außerhalb des Reinraums sollten hinsichtlich ihrer Gesamtauswirkungen auf den Reinraum gemessen werden. Falls die Gegebenheiten dies erfordern, kann die Gesamtauswirkung auch auf Basis von Erfahrungswerten abgeschätzt werden. Die Ergebnisse sind mit den zulässigen Umgebungsvibrationswerten für Präzisionsgeräte und -instrumente zu vergleichen, um die notwendigen Schwingungsdämpfungsmaßnahmen zu bestimmen. Bei Schwingungsdämpfungsmaßnahmen für Präzisionsgeräte und -instrumente sind Anforderungen wie die Reduzierung der Vibrationsstärke und die Aufrechterhaltung einer optimalen Luftströmung im Reinraum zu berücksichtigen. Bei Verwendung eines Luftfeder-Schwingungsdämpfungsständers ist die Druckluft so aufzubereiten, dass sie die Reinheitsklasse eines Reinraums erreicht.
5. Anforderungen an den Reinraumbau
(1) Der Bauplan und die räumliche Anordnung des Reinraums müssen ausreichend flexibel sein. Die Hauptkonstruktion des Reinraums darf keine tragenden Innenwände aufweisen. Die Höhe des Reinraums richtet sich nach der Nettohöhe, die auf einem Basismodul von 100 Millimetern basiert. Die Dauerhaftigkeit der Hauptkonstruktion des Reinraums ist auf den Standard der Innenausstattung und -gestaltung abgestimmt und muss Brandschutz, Temperatur- und Verformungsbeständigkeit sowie Eigenschaften zur Aufnahme von Setzungsungleichgewichten aufweisen (in Erdbebengebieten sind die Erdbebenbaunormen zu beachten).
(2) Deformationsfugen in Fabrikgebäuden sollten nicht durch Reinräume verlaufen. Wenn Rückluftkanäle und andere Rohrleitungen verdeckt verlegt werden müssen, sind technische Zwischengeschosse, technische Tunnel oder Gräben einzurichten; für die verdeckte Verlegung vertikaler Rohrleitungen durch die obersten Geschosse sind technische Schächte zu errichten. Bei Fabriken mit konventioneller und Reinraumproduktion muss die Gebäudeplanung und -konstruktion negative Auswirkungen auf die Reinraumproduktion hinsichtlich Personenfluss, Logistik und Brandschutz vermeiden.
6. Reinraum-Personal- und Materialreinigungsanlagen
(1) Räume und Einrichtungen zur Personal- und Materialreinigung sind in Reinräumen einzurichten. Aufenthaltsräume und weitere Räume sind nach Bedarf bereitzustellen. Zu den Personalräumen gehören Regenschutzräume, Besprechungsräume, Schuhumkleideräume, Garderobenräume, Waschräume, Räume für saubere Arbeitskleidung und Duschräume mit Luftzirkulation. Aufenthaltsräume wie Toiletten, Duschräume und Lounges sowie weitere Räume wie Wasch- und Trockenräume für Arbeitskleidung können nach Bedarf eingerichtet werden.
(2) Die Ein- und Ausgänge des Reinraums für Geräte und Materialien müssen entsprechend der Art und Form der Geräte und Materialien mit Materialreinigungsräumen und -einrichtungen ausgestattet sein. Die Anordnung der Materialreinigungsräume muss verhindern, dass die gereinigten Materialien während des Transports kontaminiert werden.
7. Brandverhütung und Evakuierung im Reinraum
(1) Die Feuerwiderstandsklasse des Reinraums darf nicht unter Stufe 2 liegen. Das Deckenmaterial muss nicht brennbar sein und eine Feuerwiderstandsdauer von mindestens 0,25 Stunden aufweisen. Die Brandgefahren in allgemeinen Produktionshallen innerhalb eines Reinraums können klassifiziert werden.
(2) Reinräume sollten in eingeschossigen Fabrikgebäuden errichtet werden. Die maximal zulässige Fläche des Reinraums beträgt 3000 Quadratmeter für eingeschossige und 2000 Quadratmeter für mehrgeschossige Fabrikgebäude. Decken und Wandpaneele (einschließlich der Innenauskleidung) müssen nicht brennbar sein.
(3) In einem Fabrikgebäude in einem Brandschutzbereich ist eine nicht brennbare Trennwand zwischen Reinraum und Produktionsbereich zu errichten. Die Feuerwiderstandsdauer der Trennwände und der zugehörigen Decken muss mindestens eine Stunde, die der Türen und Fenster in den Trennwänden mindestens 0,6 Stunden betragen. Hohlräume um Rohrleitungen, die durch Trennwände oder Decken verlaufen, sind mit nicht brennbaren Materialien dicht zu verschließen.
(4) Die Wände des Technikschachts müssen nicht brennbar sein und eine Feuerwiderstandsdauer von mindestens einer Stunde aufweisen. Die Feuerwiderstandsdauer der Inspektionstür in der Schachtwand muss mindestens 0,6 Stunden betragen. Im Schacht sind auf jeder Etage oder im Abstand von jeweils einer Etage nicht brennbare Bauteile mit der entsprechenden Feuerwiderstandsdauer der jeweiligen Etage als horizontale Brandschutzwände vorzusehen. Die Spalten um die durch diese horizontalen Brandschutzwände verlaufenden Rohrleitungen sind dicht mit nicht brennbaren Materialien zu verschließen.
(5) Die Anzahl der Notausgänge pro Produktionsetage, Brandschutzzone oder Reinraumbereich muss mindestens zwei betragen. Die Farben in Reinräumen sollten hell und sanft sein. Der Lichtreflexionsgrad der Oberflächenmaterialien sollte für Decken und Wände 0,6–0,8 und für den Boden 0,15–0,35 betragen.
Veröffentlichungsdatum: 06.02.2024