Im Reinraum sollte ein relativ vollständiges automatisches Steuerungssystem bzw. -gerät installiert werden, was für die Sicherstellung der normalen Produktion im Reinraum und die Verbesserung des Betriebs- und Managementniveaus sehr vorteilhaft ist, allerdings müssen die Bauinvestitionen erhöht werden.
Verschiedene Reinraumtypen stellen unterschiedliche Anforderungen an die technischen Parameter. Dazu gehören die Überwachung von Luftreinheit, Temperatur und Luftfeuchtigkeit, die Druckdifferenzüberwachung, die Überwachung von Reinstgasen und Reinstwasser sowie die Überwachung der Gasreinheit und Reinstwasserqualität. Auch die Größe und Fläche von Reinräumen variieren je nach Branche stark. Daher müssen die Funktionen des automatischen Steuerungssystems bzw. der Steuerungseinrichtung an die spezifischen Gegebenheiten des jeweiligen Reinraumprojekts angepasst und in verschiedene Überwachungs- und Steuerungssysteme integriert werden. Nur Reinräume werden mit verteilten computergestützten Steuerungs- und Überwachungssystemen ausgestattet.
Das automatische Steuerungs- und Überwachungssystem eines modernen Hightech-Reinraums, wie beispielsweise eines mikroelektronischen Reinraums, ist ein umfassendes System, das Elektrotechnik, automatisierte Messtechnik, Computertechnik und Netzwerkkommunikation integriert. Nur durch den korrekten und sachgemäßen Einsatz jeder einzelnen Technologie kann das System die erforderlichen Steuerungs- und Überwachungsanforderungen erfüllen.
Um die strengen Anforderungen an die Produktionsumgebungskontrolle in Reinräumen für Elektronikgeräte zu gewährleisten, müssen die Steuerungssysteme für öffentliche Stromversorgungssysteme, Luftreinigungssysteme usw. eine hohe Zuverlässigkeit aufweisen.
Zweitens müssen verschiedene Steuerungseinrichtungen und Instrumente zugänglich sein, um die Anforderungen an die vernetzte Steuerung des gesamten Reinraums zu erfüllen. Die Produktionstechnologie elektronischer Produkte entwickelt sich rasant. Das Design des automatischen Steuerungssystems des elektronischen Reinraums muss flexibel und skalierbar sein, um den sich ändernden Steuerungsanforderungen gerecht zu werden. Die verteilte Netzwerkstruktur bietet eine gute Mensch-Computer-Schnittstelle, die die Erfassung, Überwachung und Steuerung der Produktionsumgebung und verschiedener energienaher Geräte optimiert und mithilfe von Computertechnologie zur Reinraumsteuerung eingesetzt werden kann. Sind die Anforderungen an die Parameterkennwerte des Reinraums nicht sehr streng, können auch konventionelle Instrumente zur Steuerung verwendet werden. Unabhängig von der gewählten Methode muss die Steuerungsgenauigkeit jedoch den Produktionsanforderungen entsprechen, einen stabilen und zuverlässigen Betrieb gewährleisten sowie Energieeinsparungen und Emissionsreduzierungen ermöglichen.
Veröffentlichungsdatum: 23. Februar 2024