1. Staubpartikel Entfernen im staubfreien sauberen Raum
Die Hauptfunktion des sauberen Raums besteht darin, die Sauberkeit, Temperatur und Luftfeuchtigkeit der Atmosphäre zu kontrollieren, dass Produkte (wie Siliziumchips usw.) ausgesetzt sind, damit die Produkte in einem guten Umgebungsraum hergestellt und hergestellt werden können. Wir nennen diesen Raum als sauberer Raum. Laut internationaler Praxis wird das Sauberkeitsniveau hauptsächlich durch die Anzahl der Partikel pro Kubikmeter Luft mit einem Durchmesser von größerem Durchmesser als der Klassifizierungsstandard bestimmt. Mit anderen Worten, der sogenannte staubfreie ist nicht 100% staubfrei, sondern in einer sehr kleinen Einheit kontrolliert. Natürlich sind die Partikel, die den Staubstandard in diesem Standard entsprechen In der Herstellung von optischen Strukturprodukten.
Die Steuerung der Anzahl der Staubpartikel mit einer Partikelgröße von mehr oder gleich 0,5 Mikrometern pro Kubikmeter bis zu weniger als 3520/Kubikmeter erreicht die Klasse A des internationalen staubfreien Standards der Klasse A. Der staubfreie Standard, der in der Produktion und Verarbeitung von Chip-Ebene verwendet wird, hat höhere Anforderungen an Staub als Klasse A, und ein solch hoher Standard wird hauptsächlich bei der Herstellung einiger höherer Pommeserichte verwendet. Die Anzahl der Staubpartikel wird streng mit 35.200 pro Kubikmeter kontrolliert, was allgemein als Klasse B in der sauberen Raumindustrie bekannt ist.
2. Drei Arten von sauberen Raumstaaten
Leerer sauberer Raum: Eine Einrichtung für sauberes Zimmer, die gebaut wurde und in Gebrauch gebracht werden kann. Es verfügt über alle relevanten Dienste und Funktionen. Es gibt jedoch keine Geräte, die von Betreibern in der Einrichtung betrieben werden.
Statische saubere Raum: Eine Einrichtung für sauberes Zimmer mit vollständigen Funktionen, ordnungsgemäßen Einstellungen und Installation, die gemäß den Einstellungen verwendet werden können oder verwendet werden. Es gibt jedoch keine Betreiber in der Einrichtung.
Dynamischer sauberer Raum: Ein sauberer Raum im normalen Gebrauch mit vollständigen Servicefunktionen, Ausrüstung und Personal; Bei Bedarf kann normale Arbeiten durchgeführt werden.
3.. Steuerelemente
(1). Kann Staubpartikel entfernen, die in der Luft schweben.
(2). Kann die Erzeugung von Staubpartikeln verhindern.
(3). Kontrolle von Temperatur und Luftfeuchtigkeit.
(4). Druckregulierung.
(5). Beseitigung schädlicher Gase.
(6). Luftdichtheit von Strukturen und Fächern.
(7). Prävention von statischer Elektrizität.
(8). Prävention elektromagnetischer Störungen.
(9). Berücksichtigung von Sicherheitsfaktoren.
(10). Berücksichtigung der Energieeinsparung.
4. Klassifizierung
Turbulenter Flusstyp
Die Luft tritt aus dem Klimaanlagenkasten durch den Luftkanal und den Luftfilter (HEPA) im sauberen Raum ein und wird von den Trennwandplatten oder erhöhten Böden auf beiden Seiten des sauberen Raums zurückgegeben. Der Luftstrom bewegt sich nicht linear, sondern zeigt einen unregelmäßigen turbulenten oder Wirbelstaat. Dieser Typ eignet sich für die Klasse von 1.000 bis 100.000 sauberem sauberem Raum.
Definition: Ein sauberer Raum, in dem der Luftstrom mit ungleichmäßiger Geschwindigkeit fließt und nicht parallel ist, begleitet von Rückfluss oder Wirbelstrom.
Prinzip: Turbulente saubere Räume verlassen sich auf den Luftstromluftstrom, um die Innenluft kontinuierlich zu verdünnen und die verschmutzte Luft allmählich zu verdünnen, um Sauberkeit zu erreichen (turbulente saubere Räume sind im Allgemeinen auf Sauberkeitsniveaus von über 1.000 bis 300.000).
Merkmale: Turbulente saubere Räume sind auf mehreren Belüftungen angewiesen, um Sauberkeit und Sauberkeit zu erreichen. Die Anzahl der Belüftungsänderungen bestimmt das Reinigungsniveau in der Definition (je mehr Belüftungsänderungen, desto höher ist das Sauberkeitsniveau).
(1) Selbstbekundungszeit: Bezieht sich auf die Zeit, in der der saubere Raum nach der entworfenen Belüftungsnummer Luft lief als 20 Minuten (15 Minuten können für die Berechnung verwendet werden) Die Klasse 10.000 wird voraussichtlich nicht mehr als 30 Minuten betragen (25 Minuten können zur Berechnung verwendet werden). Berechnung)
. ) Klasse 100.000: 14,4-19.2-mal/Stunde (Standard: 15-mal/Stunde)
Vorteile: Einfache Struktur, niedrige Systemkonstruktionskosten, einfach zu erweiternem sauberem Raum, an einigen speziellen Zwecken können staubfreie saubere Bank-Bank verwendet werden, um die Grade für saubere Raum zu verbessern.
Nachteile: Staubpartikel, die durch Turbulenzen verursacht werden, schweben im Innenraum und sind schwer entladen zu werden, was problemlos Prozessprodukte kontaminieren kann. Wenn das System gestoppt und dann aktiviert wird, dauert es häufig lange, bis die erforderliche Sauberkeit erreicht wird.
Laminarer Fluss
Die laminare Strömungsluft bewegt sich in einer gleichmäßigen geraden Linie. Luft tritt durch einen Filter mit einer 100% igen Deckungsrate in den Raum ein und wird durch den erhöhten Boden oder die Partitionsbretter auf beiden Seiten zurückgegeben. Dieser Typ eignet sich für den Einsatz in sauberen Raumumgebungen mit höheren Reinraumstufen, in der Regel Klasse 1 ~ 100. Es gibt zwei Arten:
(1) Horizontaler laminarer Strömung: Die horizontale Luft wird aus dem Filter in eine Richtung ausgeblasen und durch das Rückkehrluftsystem an der gegenüberliegenden Wand zurückgegeben. Staub wird im Freien mit Luftrichtung entlassen. Im Allgemeinen ist die Verschmutzung auf der stromabwärts gelegenen Seite schwerwiegender.
Vorteile: Einfache Struktur kann in kurzer Zeit nach dem Betrieb stabil werden.
Nachteile: Die Baukosten sind höher als der turbulente Fluss, und der Innenraum ist nicht einfach zu erweitern.
. Der während des Prozesses oder durch das Personal erzeugte Staub kann schnell im Freien entlassen werden, ohne andere Arbeitsbereiche zu beeinträchtigen.
Vorteile: Einfach zu verwaltetes, stabiler Zustand kann innerhalb kurzer Zeit nach dem Start des Betriebs erreicht werden und nicht leicht vom Betriebsstatus oder den Betreibern beeinflusst werden.
Nachteile: Hohe Baukosten, schwierig, flexibel Platz zu nutzen, Deckenbügel belegen viel Platz und problematisch, um Filter zu reparieren und zu ersetzen.
Zusammengesetzter Typ
Der zusammengesetzte Typ besteht darin, turbulente Durchflussart und laminarer Fließtyp zu kombinieren oder zu verwenden, wodurch lokale ultralrische Luft liefern kann.
(1) Clean Tunnel: Verwenden Sie HEPA- oder ULPA -Filter, um 100% des Prozessbereichs oder Arbeitsbereichs abzudecken, um das Sauberkeitsniveau auf über der Klasse 10 zu erhöhen, wodurch die Installations- und Betriebskosten einsparen können.
Für diesen Typ muss der Arbeitsbereich des Bedieners aus dem Produkt und der Maschinenwartung isoliert werden, um die Arbeit und Qualität während der Maschinenwartung zu vermeiden.
Saubere Tunnel haben zwei weitere Vorteile: A. Einfach zu erweitern, flexibel zu erweitern; B. Die Wartung der Ausrüstung kann im Wartungsbereich leicht durchgeführt werden.
. Die Luftversorgung kann eine gute Sauberkeit erzielen, die Energie sparen kann und für automatisierte Produktionsleitungen am besten geeignet ist, für die keine manuelle Arbeit erforderlich ist. Es gilt für die Pharma-, Lebensmittel- und Halbleiterindustrie.
(3) sauberer Ort: Das Sauberkeitsniveau des Produktprozessbereichs im turbulenten sauberen Raum mit einem sauberen Raum von 10.000 ~ 100.000 wird für Produktionszwecke auf 10 ~ 1000 oder höher erhöht. Saubere Werkbänke, saubere Schuppen, vorgefertigte saubere Räume und saubere Kleiderschränke gehören zu dieser Kategorie.
Saubere Bank: Klasse 1 ~ 100.
Clean Booth: Ein kleiner Raum, der von antistatischen transparenten Plastik-Tuch im turbulenten sauberen Raum umgeben ist und unabhängige HEPA- oder ULPA- und Klimaanlagen mit einem übergeordneten sauberen Raum mit einem Niveau von 10 ~ 1000 wird, eine Höhe von ungefähr 2,5 Meter und eine Abdeckungsfläche von ca. 10 m2 oder weniger. Es hat vier Säulen und ist mit beweglichen Rädern ausgestattet, um einen flexiblen Gebrauch zu erhalten.
5. Luftstromfluss
Bedeutung des Luftstroms
Die Sauberkeit eines sauberen Raums wird oft vom Luftstrom betroffen. Mit anderen Worten, die Bewegung und Verbreitung von Staub, die von Menschen, Maschinenabteilungen, Gebäudestrukturen usw. erzeugt werden, werden durch den Luftstrom gesteuert.
Der saubere Raum verwendet HEPA und ULPA, um die Luft zu filtern, und seine Staubansammlungsrate beträgt bis zu 99,97 ~ 99,99995%, sodass die durch diesen Filter filtrierten Luft als sehr sauber bezeichnet werden kann. Neben Menschen gibt es jedoch auch Staubquellen wie Maschinen im sauberen Raum. Sobald sich diese erzeugten Stäube ausbreiten, ist es unmöglich, einen sauberen Raum aufrechtzuerhalten, sodass der Luftstrom verwendet werden muss, um den erzeugten Staub im Freien schnell zu entladen.
Einflussfaktoren
Es gibt viele Faktoren, die den Luftstrom eines sauberen Raums beeinflussen, z. Rücksichtnahme.
Der Luftstromumleitungspunkt auf der Oberfläche eines allgemeinen Operationstischs oder einer Produktionsausrüstung sollte auf 2/3 des Abstands zwischen dem sauberen Raum und dem Trennwand eingestellt werden. Auf diese Weise kann der Luftstrom, wenn der Bediener arbeitet, von der Innenseite des Prozessbereichs zum Betriebsbereich fließen und den Staub wegnehmen. Wenn der Umleitungspunkt vor dem Prozessbereich konfiguriert ist, wird er zu einer unsachgemäßen Ablenkung des Luftstroms. Zu diesem Zeitpunkt fließt der größte Teil des Luftstroms in den hinteren Teil des Prozessbereichs, und der durch den Betrieb des Bedieners verursachte Staub wird auf die Rückseite der Geräte übertragen, und die Workbench wird kontaminiert, und die Ausbeute nimmt unweigerlich ab.
Hindernisse wie Arbeitstische in sauberen Räumen haben Wirbelströme an der Kreuzung, und die Sauberkeit in ihrer Nähe wird relativ schlecht sein. Durch das Bohren eines Rücklaufluftlochs auf dem Arbeitstisch minimiert das Wirbelstromphänomen. Ob die Auswahl der Montagematerialien angemessen ist und ob das Ausrüstungslayout perfekt ist, ist auch wichtige Faktoren dafür, ob der Luftstrom zu einem Wirbelstromphänomen wird.
6. Zusammensetzung des sauberen Raums
Die Zusammensetzung des sauberen Raums besteht aus den folgenden Systemen (von denen keiner in den Systemmolekülen unverzichtbar ist), ansonsten ist es nicht möglich, einen vollständigen und qualitativ hochwertigen sauberen Raum zu bilden:
(1) Deckensystem: einschließlich Deckenstab, I-Strahl oder U-Strahl, Deckengitter oder Deckenrahmen.
(2) Klimaanlage: einschließlich Luftkabine, Filtersystem, Windmühle usw.
(3) Partitionelle Wand: einschließlich Fenster und Türen.
(4) Boden: einschließlich erhöhter Boden oder antistatischer Boden.
(5) Beleuchtungskörper: LED -Reinigung flache Lampe.
Die Hauptstruktur des sauberen Raums besteht im Allgemeinen aus Stahlstäben oder Knochenzement, aber egal in welcher Art von Struktur es die folgenden Bedingungen erfüllen muss:
A. Aufgrund von Temperaturänderungen und Schwingungen treten keine Risse auf;
B. Es ist nicht einfach, Staubpartikel zu produzieren, und es ist schwierig für Partikel, sich zu befestigen.
C. geringe Hygroskopizität;
D. Um die Luftfeuchtigkeitsbedingungen im Reinraum aufrechtzuerhalten, muss die Wärmeisolierung hoch sein.
7. Klassifizierung durch Verwendung
Industrial Clean Room
Die Kontrolle von leblosen Partikeln ist das Objekt. Es steuert hauptsächlich die Verschmutzung von Luftstaubpartikeln auf das Arbeitsobjekt, und der Innenraum behält im Allgemeinen einen positiven Druckzustand aufrecht. Es eignet sich für die Präzisionsmaschinerieindustrie, die Elektronikindustrie (Halbleiter, integrierte Schaltkreise usw.), die Luft- und Raumfahrtindustrie, die chemische Industrie mit hoher Purity-Chemikalien, Atomergieindustrie, optische und magnetische Produktindustrie (CD, Film, Bandproduktion) LCD (Flüssigkristall Glas), Computerfestplatte, Computerkopfproduktion und andere Branchen.
Biologischer sauberer Raum
Steuert hauptsächlich die Verschmutzung lebender Partikel (Bakterien) und leblose Partikel (Staub) mit dem Arbeitsobjekt. Es kann unterteilt werden in;
A. Allgemeiner biologischer sauberer Raum: Steuert hauptsächlich die Verschmutzung von mikrobiellen (bakteriellen) Objekten. Gleichzeitig müssen seine inneren Materialien der Erosion verschiedener Sterilisationsmittel standhalten, und das Innenraum garantiert im Allgemeinen einen positiven Druck. Im Wesentlichen müssen die internen Materialien in der Lage sein, verschiedenen Sterilisationsbehandlungen des industriellen sauberen Raums standzuhalten. Beispiele: Pharmaindustrie, Krankenhäuser (Operationssäle, sterile Stationen), Lebensmittel, Kosmetik, Produktion von Getränken, Tierlabors, Labors für physikalische und chemische Tests, Blutstationen usw.
B. Reinraum des biologischen Sicherheitsraums: Hauptsächlich kontrolliert die Verschmutzung lebender Teilchen des Arbeitsobjekts in der Außenwelt und den Menschen. Der Innendruck muss mit der Atmosphäre negativ gehalten werden. Beispiele: Bakteriologie, Biologie, saubere Laboratorien, Physikalisches Engineering (rekombinante Gene, Impfstoffpräparat)
Postzeit: Februar 07-2025