Nach der Inbetriebnahme vor Ort mit dem Klasse-10000-Standard entsprechen Parameter wie Luftvolumen (Anzahl der Luftwechsel), Druckdifferenz und Sedimentationsbakterien alle den Designanforderungen (GMP), und nur ein Punkt der Staubpartikelerkennung ist nicht qualifiziert (Klasse 100000). Die Ergebnisse der Gegenmessung zeigten, dass große Partikel den Standard übertrafen, hauptsächlich Partikel mit 5 μm und 10 μm.
1. Fehleranalyse
Der Grund dafür, dass große Partikel den Standard überschreiten, liegt im Allgemeinen in Reinräumen mit hoher Reinheit. Wenn die Reinigungswirkung des Reinraums nicht gut ist, wirkt sich dies direkt auf die Testergebnisse aus; Durch die Analyse der Luftvolumendaten und früherer technischer Erfahrungen sollten die theoretischen Testergebnisse einiger Räume der Klasse 1000 entsprechen; Die vorläufige Analyse wird wie folgt eingeleitet:
①. Die Reinigungsarbeiten entsprechen nicht dem Standard.
②. Am Rahmen des Hepa-Filters tritt Luft aus.
③. Der Hepa-Filter ist undicht.
④. Unterdruck im Reinraum.
⑤. Die Luftmenge reicht nicht aus.
⑥. Der Filter der Klimaanlage ist verstopft.
⑦. Der Frischluftfilter ist verstopft.
Basierend auf der obigen Analyse stellte die Organisation Personal zusammen, um den Zustand des Reinraums erneut zu testen und stellte fest, dass Luftvolumen, Druckunterschied usw. den Designanforderungen entsprachen. Die Sauberkeit aller Reinräume entsprach der Klasse 100.000 und die Staubpartikel mit einer Größe von 5 μm und 10 μm übertrafen den Standard und erfüllten nicht die Designanforderungen der Klasse 10.000.
2. Mögliche Fehler einzeln analysieren und beseitigen
In früheren Projekten kam es zu Situationen, in denen aufgrund einer primären oder mittleren Verstopfung des Frischluftfilters oder des Geräts eine unzureichende Druckdifferenz und ein verringertes Luftzufuhrvolumen auftraten. Bei der Inspektion des Geräts und der Messung des Luftvolumens im Raum wurde festgestellt, dass die Punkte ④⑤⑥⑦ nicht zutrafen; Der verbleibende Nächste ist die Frage der Sauberkeit und Effizienz in Innenräumen; Es wurde tatsächlich keine Reinigung vor Ort durchgeführt. Für die Untersuchung und Analyse des Problems hatten die Mitarbeiter einen Reinraum speziell gereinigt. Die Messergebnisse zeigten immer noch, dass große Partikel den Standard übertrafen, und öffneten dann die Hepa-Box nacheinander, um sie zu scannen und zu filtern. Die Scan-Ergebnisse zeigten, dass ein Hepa-Filter in der Mitte beschädigt war und die Partikelzahl-Messwerte des Rahmens zwischen allen anderen Filtern und der Hepa-Box plötzlich anstiegen, insbesondere bei 5 μm- und 10 μm-Partikeln.
3. Lösung
Da die Ursache des Problems gefunden wurde, ist es leicht zu lösen. Bei den in diesem Projekt verwendeten Hepa-Boxen handelt es sich ausschließlich um bolzengepresste und verriegelte Filterstrukturen. Zwischen dem Filterrahmen und der Innenwand der Hepa-Box besteht ein Spalt von 1-2 cm. Nach dem Ausfüllen der Fugen mit Dichtstreifen und der Versiegelung mit neutralem Dichtstoff beträgt die Sauberkeit des Raumes immer noch Klasse 100.000.
4. Fehler-Neuanalyse
Nachdem nun der Rahmen der Hepa-Box versiegelt und der Filter gescannt wurde, gibt es keine Leckstelle im Filter, sodass das Problem immer noch am Rahmen der Innenwand des Lüftungsschlitzes auftritt. Dann haben wir den Rahmen erneut gescannt: Die Erkennungsergebnisse des Innenwandrahmens der Hepa-Box. Überprüfen Sie nach dem Passieren der Versiegelung erneut den Spalt in der Innenwand der Hepa-Box und stellen Sie fest, dass die großen Partikel immer noch den Standard überschreiten. Zuerst dachten wir, es handele sich um das Wirbelstromphänomen im Winkel zwischen Filter und Innenwand. Wir bereiteten das Aufhängen einer 1 m langen Folie entlang des Hepa-Filterrahmens vor. Die linke und rechte Folie werden als Abschirmung verwendet und anschließend wird der Sauberkeitstest unter einem Hepa-Filter durchgeführt. Bei der Vorbereitung zum Einkleben der Folie wurde festgestellt, dass an der Innenwand die Farbe abblättert und dass in der Innenwand eine ganze Lücke vorhanden ist.
5. Behandeln Sie den Staub aus der Hepa-Box
Kleben Sie Aluminiumfolienband an die Innenwand der Hepa-Box, um Staub an der Innenwand des Luftanschlusses selbst zu reduzieren. Ermitteln Sie nach dem Anbringen von Aluminiumfolienband die Anzahl der Staubpartikel entlang des Hepa-Filterrahmens. Nach der Verarbeitung der Rahmenerkennung kann durch Vergleich der Ergebnisse der Partikelzählererkennung vor und nach der Verarbeitung eindeutig festgestellt werden, dass der Grund dafür, dass die großen Partikel den Standard überschreiten, durch den von der Hepa-Box selbst verstreuten Staub verursacht wird. Nach der Installation der Diffusorabdeckung wurde der Reinraum erneut getestet.
6. Zusammenfassung
Dass große Partikel den Standard überschreiten, kommt bei Reinraumprojekten selten vor und kann vollständig vermieden werden. Durch die Zusammenfassung der Probleme in diesem Reinraumprojekt muss das Projektmanagement in Zukunft gestärkt werden; Dieses Problem ist auf die laxe Kontrolle der Rohstoffbeschaffung zurückzuführen, die zu verstreutem Staub in der Hepa-Box führt. Darüber hinaus gab es während des Installationsprozesses keine Lücken in der Hepa-Box oder abblätternde Farbe. Darüber hinaus fand vor dem Einbau des Filters keine Sichtprüfung statt und einige Schrauben waren beim Einbau des Filters nicht fest verriegelt, was allesamt Schwachstellen im Management aufwies. Obwohl der Hauptgrund der Staub aus der Hepa-Box ist, darf die Konstruktion des Reinraums nicht schlampig sein. Nur durch die Durchführung eines Qualitätsmanagements und einer Qualitätskontrolle während des gesamten Prozesses vom Baubeginn bis zum Ende der Fertigstellung können die erwarteten Ergebnisse in der Inbetriebnahmephase erzielt werden.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 01.09.2023